ប៊ែររិងខ្យល់សម្រេចបាននូវអ្វីដែលប៊ែររិងដែលគ្មានទំនាក់ទំនងអាចធ្វើបាន៖ ចលនាដោយគ្មានការពាក់ ដោយគ្មានការរអិលជាប់ និងដោយគ្មានការរំអិល នៅកម្រិតត្រង់អនុមីក្រូន។ ប៉ុន្តែប៊ែររិងខ្យល់គឺល្អលុះត្រាតែផ្ទៃដែលវាអណ្តែតលើ។ អត្ថបទនេះពន្យល់អំពីរូបវិទ្យានៃខ្សែភាពយន្តខ្យល់ ហេតុអ្វីបានជាថ្មក្រានីតធម្មជាតិដែលមានគ្រាប់ល្អិតល្អន់ជាសម្ភារៈផ្គូផ្គងដ៏ល្អ ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃដែលផ្លូវណែនាំទាមទារ និងកន្លែងដែលដំណាក់កាលប៊ែររិងខ្យល់ថ្មក្រានីតផ្តល់តម្លៃច្រើនបំផុត - ចាប់ពីវេទិកាម៉ូទ័រលីនេអ៊ែររហូតដល់ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអុបទិក។
១. របៀបដែលប៊ែរីងខ្យល់ដំណើរការ៖ ជិះលើខ្សែភាពយន្តមីក្រូទស្សន៍នៃខ្យល់
ទ្រនាប់ខ្យល់ទ្រទ្រង់បន្ទុករបស់វានៅលើខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយដែលមានសម្ពាធ ជាធម្មតាមានកម្រាស់ 3–15 µm។ គោលការណ៍ផ្គត់ផ្គង់ពីរត្រូវបានគ្របដណ្ដប់៖
- សំណងសម្រាប់រន្ធគូថ។ខ្យល់ហូរតាមរន្ធដែលមានទំហំជាក់លាក់ចូលទៅក្នុងហោប៉ៅរាក់ ឬចង្អូរមួយ។ សម្ពាធលៃតម្រូវដោយខ្លួនឯងនៅពេលដែលគម្លាតផ្លាស់ប្តូរ។ សាមញ្ញ និងរឹងមាំ ប៉ុន្តែសមត្ថភាពផ្ទុកគឺមធ្យម ហើយខ្សែភាពយន្តនេះងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់ដោយកំហុសលើផ្ទៃក្នុងតំបន់។
- សំណងសម្រាប់ប្រហោង។ខ្យល់ហូរចូលស្មើៗគ្នាតាមរយៈវត្ថុធាតុដែលមានរន្ធញើស (ជាញឹកញាប់កាបូន) ដោយបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តដែលមានស្ថេរភាព និងធន់នឹងការផ្អៀងជាពិសេស ជាមួយនឹងសំណើមខ្ពស់ជាង។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ រូបវិទ្យាគ្រប់គ្រងគឺដូចគ្នា៖ ភាពរឹងរបស់ខ្សែភាពយន្តអាស្រ័យលើការ៉េនៃឯកសណ្ឋានគម្លាត។ ប្រសិនបើផ្ទៃផ្លូវនាំផ្លូវមានភាពរលកដែលអាចប្រៀបធៀបទៅនឹងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ឆាកនឹងជួបប្រទះនឹងការកែប្រែសម្ពាធ - ដែលអាចមើលឃើញជាកំហុសត្រង់ ការរមៀល ឬអាក្រក់ជាងនេះទៅទៀត ញញួរខ្យល់ (លំយោលដែលរំភើបដោយខ្លួនឯង)។ផ្លូវណែនាំ មិនមែនផ្លូវទ្រទ្រង់ទេ កំណត់កម្រិតគុណភាពខ្ពស់បំផុតរបស់ប្រព័ន្ធ។
2. ហេតុអ្វីបានជាថ្មក្រានីតជាសម្ភារៈផ្លូវណែនាំដ៏ល្អ
ពេលខ្លះវិស្វករសួរថាហេតុអ្វីបានជាដំណាក់កាលដែលមានខ្យល់ទ្រទ្រង់ច្រើនតែដំណើរការលើថ្មក្រានីតជាជាងផ្លូវដែកដែក ឬសេរ៉ាមិច។ ហេតុផលគឺរូបវិទ្យាសម្ភារៈ មិនមែនប្រពៃណីទេ៖
- រចនាសម្ព័ន្ធគ្រាប់ធញ្ញជាតិល្អិតល្អន់ និងឯកសណ្ឋាន។ថ្មក្រានីតខ្មៅដែលមានភ្នំភ្លើងរឹងពីការរលាយតែមួយ។ មិនមានការបំបែកចេញពីគ្នាដោយដង់ឌ្រីត ការរួមបញ្ចូល ឬម៉ាទ្រីសទន់ដូចនៅក្នុងដែកវណ្ណះទេ។ ការលាបស្រទាប់បង្ហាញផ្ទៃដូចគ្នា ដូច្នេះគម្លាតខ្យល់នៅតែឯកសណ្ឋានពេញមួយការធ្វើដំណើរ — កត្តាសំខាន់បំផុតតែមួយគត់សម្រាប់ស្ថេរភាពនៃខ្សែភាពយន្ត។
- ការពង្រីកកម្ដៅទាប (≈5–8 µm/m·°C)។ចន្លោះខ្យល់មានទំហំត្រឹមតែពីរបីមីក្រូនប៉ុណ្ណោះ។ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពពាក់កណ្តាលដឺក្រេអាចធ្វើឱ្យរនាំងដែកផ្លាស់ប្តូរច្រើនជាងចន្លោះខ្យល់។ ស្ថេរភាពរបស់ថ្មក្រានីតរក្សារូបរាងខ្សែភាពយន្តឱ្យនៅដដែលពេញមួយវដ្តថ្ងៃ-យប់។
- គ្មានការច្រេះ គ្មានប្រេង។ថ្មក្រានីតទទេមិនត្រូវការថ្នាំកូត និងគ្មានប្រេងរំអិលទេ — វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត ដែលការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ និងការបង្កើតភាគល្អិតធ្វើឱ្យផ្លូវដែកដែលមានប្រេងរំអិលមិនមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់។
- ការស្រូបយកសំណើមខ្ពស់។ការសម្ងួតខាងក្នុងរបស់ថ្មក្រានីតទប់ស្កាត់ការបញ្ជូនរំញ័រពីកម្រាលឥដ្ឋ និងដ្រាយ ដែលធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវឥរិយាបថថាមវន្តនៃឆាកអណ្តែតទឹក។
- អាចប៉ះបានដល់កម្រិតសំប៉ែតមីក្រូនលើម៉ែត្រ។រនាំងថ្មក្រានីតវែងៗអាចត្រូវបានគៀបដោយដៃ និងផ្ទៀងផ្ទាត់ទៅនឹងកម្រាស់ពីរបីមីក្រូលើចម្ងាយជាច្រើនម៉ែត្រ — ដែលជាអ្វីដែលការកែច្នៃតែម្នាក់ឯងមិនអាចសម្រេចបានឡើយ។
៣. តើផ្លូវនាំផ្លូវដែលមានខ្យល់ទ្រទ្រង់ត្រូវការភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃប៉ុន្មាន?
លក្ខណៈបច្ចេកទេសអាស្រ័យលើប្រភេទទ្រនាប់ និងគុណភាពចលនាគោលដៅ ប៉ុន្តែតម្រូវការធម្មតាសម្រាប់ភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីតទ្រទ្រង់ខ្យល់ប្រព័ន្ធគឺ៖
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | តម្រូវការធម្មតា | ហេតុអ្វីបានជាវាសំខាន់ |
|---|---|---|
| ភាពរាបស្មើរួមនៃផ្ទៃទ្រនាប់ | ១-៥ មីក្រូម៉ែត្រលើប្រវែងធ្វើដំណើរ | ឯកសណ្ឋាននៃគម្លាតខ្សែភាពយន្តមូលដ្ឋាន |
| ភាពរាបស្មើ / រលកក្នុងស្រុក | ≤ ០.៥–១ មីក្រូម៉ែត្រ ក្នុង ២៥ មីលីម៉ែត្រ | កំហុសរលកខ្លីធ្វើឱ្យសម្ពាធប្រែប្រួលដោយផ្ទាល់ |
| ភាពត្រង់លើការធ្វើដំណើរពេញលេញ | ០.៥–២ មីក្រូម៉ែត្រ (ផ្ដេក និង បញ្ឈរ) | ដោយផ្ទាល់ក្លាយជាកំហុសត្រង់ឆាក |
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | លាបរួច, Ra ≤ 0.4 µm ជាធម្មតា | ការបញ្ចប់ប៉ះពាល់ដល់ការលេចធ្លាយគម្លាត និងស្ថេរភាពលំហូរ |
| ភាពស្របគ្នានៃផ្លូវដែកផ្ទុយគ្នា | ប្រវែង ១–៣ មីក្រូម៉ែត្រ | គ្រប់គ្រងការរមៀល និងការ yaw នៃរទេះ |
ការផ្ទៀងផ្ទាត់គឺមិនអាចកាត់ផ្តាច់ចេញពីលេខទាំងនេះបានទេ៖ ការវាស់ស្ទង់ភាពត្រង់លើផ្លូវដែកប្រវែង 2 ម៉ែត្រជាមួយនឹងភាពមិនប្រាកដប្រជានៃអនុមីក្រូតម្រូវឱ្យមានកម្រិតអេឡិចត្រូនិច ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ស្វ័យប្រវត្តិ ឬអន្តរាគមន៍ឡាស៊ែរនៅក្នុងបន្ទប់ដែលគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព។ នេះជាមូលហេតុដែលសមត្ថភាពវាស់វែងរបស់អ្នកផ្គត់ផ្គង់ផ្លូវនាំផ្លូវមានសារៈសំខាន់ដូចកៅអីសម្រាប់ដាក់លើផ្ទៃរបស់ពួកគេដែរ — យើងពិពណ៌នាអំពីវិធីសាស្រ្តរបស់យើងនៅក្នុង...ការត្រួតពិនិត្យ និងការក្រិតតាមខ្នាតថ្មក្រានីតដំណើរការ។
៤. កម្មវិធីធម្មតា
- វេទិកាម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ។ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរគ្មានជាតិដែកផ្តល់កម្លាំងរលោងដោយគ្មានកម្លាំងបង្វិលជុំ។ រួមផ្សំជាមួយផ្លូវខ្យល់ថ្មក្រានីត ដំណាក់កាលនានាសម្រេចបានភាពត្រង់ក្រោមមីក្រូនក្នុងល្បឿន 1–2 ម៉ែត្រ/វិនាទី — ដែលជាស្ថាបត្យកម្មស្តង់ដារសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យបន្ទះ wafer និងការស្កេនឡាស៊ែរ។
- ដំណាក់កាលភាពជាក់លាក់ XY។ដំណាក់កាលទ្រទ្រង់ខ្យល់ដែលដាក់ជាជង់ ឬរាបស្មើនៅលើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតសម្រេចបាននូវភាពអាចធ្វើម្តងទៀតបានកម្រិតណាណូម៉ែត្រសម្រាប់ម៉ែត្រូឡូស៊ីដែលជាប់នឹងលីតូក្រាហ្វី កាតស៊ើបអង្កេត និងការត្រួតពិនិត្យអេក្រង់។
- ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអុបទិក។ប្រព័ន្ធឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា Confocal, interferometric និង chromatic ត្រូវការចលនាស្កេនដែលគ្មានរំញ័រ និងគ្មានការពាក់; ខ្សែភាពយន្តមិនប៉ះមិនបន្ថែមភាគល្អិត និងមិនបន្ថែម hysteresis ទេ។
- ឧបករណ៍ប្រៀបធៀបម៉ាស់ និងមន្ទីរពិសោធន៍វាស់វែង។រទេះរុញខ្យល់នៅលើផ្លូវដែកថ្មក្រានីតបម្រើកន្លែងដែលទាំងអនាម័យ និងភាពល្អឥតខ្ចោះខាងធរណីមាត្រគឺចាំបាច់។
ក្នុងករណីទាំងអស់នេះ ថ្មក្រានីតដើរតួនាទីពីរក្នុងពេលតែមួយ៖ មូលដ្ឋានរចនាសម្ព័ន្ធ និងផ្លូវណែនាំដែលមានភាពជាក់លាក់។ ការរួមបញ្ចូលទាំងពីរនៅក្នុងសម្ភារៈតែមួយ — ដំណើរការកិនមួយ ឥរិយាបថកម្ដៅមួយ វិញ្ញាបនបត្រមួយ — លុបបំបាត់ចំណុចប្រទាក់ដែលបើមិនដូច្នោះទេនឹងបញ្ចូលកំហុស។ ព័ត៌មានលម្អិតបន្ថែមអំពីកម្មវិធីអាចរកបាននៅក្នុងរបស់យើងឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រដំណោះស្រាយ។
៥. កំណត់ចំណាំរចនាមុនពេលអ្នកបញ្ជាក់
- កំណត់និយមន័យនៃការធ្វើដំណើរ ទម្ងន់ផ្ទុក និងចំណុចកណ្តាលទំនាញ— ភាពរឹងរបស់ខ្សែភាពយន្ត និងបន្ទុកផ្ទុកជាមុនរបស់ទ្រនាប់ ត្រូវបានកំណត់ទំហំជុំវិញពួកវា។
- បញ្ជាក់គុណភាពខ្យល់— ជាធម្មតាខ្យល់ស្អាត ស្ងួត ជាមួយនឹងការច្រោះដល់ 0.01 µm; ខ្សែភាពយន្តនេះស្អាតដូចខ្យល់ផ្គត់ផ្គង់ដែរ។
- សម្រេចចិត្តលើកាលបរិច្ឆេទវាស់វែង— តើអ្នកណាជាម្ចាស់ឯកសារយោងត្រង់៖ ក្រុមហ៊ុនផលិតប្រដាប់ទ្រទ្រង់ ក្រុមហ៊ុនផលិតមូលដ្ឋាន ឬប្រព័ន្ធដែលបានផ្គុំរួច?
- រៀបចំផែនការបរិស្ថាន— 20 ± 0.5 °C និងគ្រឹះដែលញែកដោយរំញ័រ រក្សាបាននូវរូបរាងធរណីមាត្រដែលមានការបញ្ជាក់។
- ស្នើសុំរបាយការណ៍ត្រួតពិនិត្យជាមួយផ្នែក— បានវាស់តម្លៃត្រង់/រាបស្មើជាមួយនឹងការកំណត់អត្តសញ្ញាណឧបករណ៍ និងការតាមដាន មិនមែនគ្រាន់តែជាអក្សរចំណាត់ថ្នាក់នោះទេ។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ប៊ែររិងខ្យល់ និងថ្មក្រានីត គឺជាគូដែលត្រូវគ្នា៖ ប៊ែររិងផ្តល់នូវចលនាគ្មានការកកិត ហើយថ្មក្រានីតផ្តល់នូវផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាពខាងធរណីមាត្រ ស្ងប់ស្ងាត់ខាងកម្ដៅ និងគ្មានភាគល្អិត ដែលធ្វើឱ្យខ្សែភាពយន្តដំណើរការ។ នៅពេលដែលទាំងពីរត្រូវបានរចនា និងផ្ទៀងផ្ទាត់ជាមួយគ្នា លទ្ធផលគឺគុណភាពចលនាដែលប្រព័ន្ធទំនាក់ទំនងមិនអាចទៅដល់។
កំពុងអភិវឌ្ឍវេទិកាទ្រទ្រង់ខ្យល់ ឬវេទិកាចលនា? សូមផ្ញើមកយើងនូវជួរធ្វើដំណើរ បន្ទុកផ្ទុក ភាពត្រង់ដែលត្រូវការ និងគំនូរចំណុចប្រទាក់ — ZHHIMG® នឹងរចនា និងបញ្ជាក់គ្រឿងបន្លាស់ផ្លូវនាំផ្លូវថ្មក្រានីតសម្រាប់ប្រព័ន្ធរបស់អ្នក ជាមួយនឹងរបាយការណ៍ត្រួតពិនិត្យដែលអាចតាមដានបាន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៤ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៦