នៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ច្បាស់លាស់នៃការផលិត semiconductor ប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer គឺដូចជា "ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មបន្ទះឈីប" ហើយស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវរបស់វាកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវអត្រាទិន្នផលនៃបន្ទះសៀគ្វី។ ជំនាន់ថ្មីនៃប្រព័ន្ធផ្ទេរប្រាក់ wafer បដិវត្តរួមបញ្ចូលគ្នានូវម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរជាមួយនឹងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ហើយគុណសម្បត្តិពិសេសនៃសម្ភារៈថ្មក្រានីតគឺច្បាស់ណាស់កូដស្នូលដើម្បីដោះសោការបញ្ជូនដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
ន
មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត: ការកសាង "គ្រឹះថ្ម-រឹង" សម្រាប់ការបញ្ជូនមានស្ថេរភាព
ថ្មក្រានីតបានឆ្លងកាត់ការកែលំអភូគព្ភសាស្ត្ររាប់រយលានឆ្នាំ មានលក្ខណៈពិសេសដូចជាគ្រីស្តាល់រ៉ែខាងក្នុងក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាន។ លក្ខណៈធម្មជាតិនេះធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈមូលដ្ឋានដ៏ល្អសម្រាប់ប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ។ នៅក្នុងបរិយាកាសស្មុគ្រស្មាញនៃបន្ទប់សម្អាត semiconductor ថ្មក្រានីតជាមួយនឹងមេគុណទាបបំផុតនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់វា (ត្រឹមតែ 5-7 ×10⁻⁶/℃) អាចទប់ទល់នឹងកំដៅដែលបានបង្កើតកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ និងឥទ្ធិពលនៃការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពបរិស្ថាន ដោយធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃទំហំមូលដ្ឋាន និងជៀសវាងការបង្វែរផ្លូវបញ្ជូនដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ។ សមត្ថភាពរំញ័រដ៏អស្ចារ្យរបស់វាអាចស្រូបយករំញ័រមេកានិចដែលបង្កើតបានយ៉ាងឆាប់រហ័សក្នុងអំឡុងពេលចាប់ផ្តើម ការបិទ និងការបង្កើនល្បឿននៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ក៏ដូចជាការជ្រៀតជ្រែកពីខាងក្រៅដែលនាំមកដោយប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍ផ្សេងទៀតនៅក្នុងសិក្ខាសាលា ដោយផ្តល់នូវវេទិកាដែលមានស្ថេរភាពជាមួយនឹង "សូន្យ shake" សម្រាប់ការបញ្ជូន wafer ។ ន
ទន្ទឹមនឹងនេះ ស្ថេរភាពគីមីនៃថ្មក្រានីតធានាថាវាមិនរលួយ ឬច្រេះនៅក្នុងសិក្ខាសាលា semiconductor ដែលសារធាតុអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងងាយនឹងបង្កជាហេតុ និងភាពស្អាតស្អំខ្ពស់ត្រូវបានទាមទារ ដូច្នេះជៀសវាងផលប៉ះពាល់លើភាពត្រឹមត្រូវនៃការបញ្ជូនដោយសារភាពចាស់នៃសម្ភារៈ ឬការស្រូបយកជាតិពុល។ លក្ខណៈផ្ទៃរលោង និងក្រាស់អាចកាត់បន្ថយការស្អិតរបស់ធូលីបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដោយបំពេញតាមស្តង់ដារតឹងរ៉ឹងគ្មានធូលីដីនៃបន្ទប់ស្អាត និងលុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការចម្លងរោគពីឫស។ ន
ឥទ្ធិពល "ភាពជាដៃគូមាស" នៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងថ្មក្រានីត
ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ជាមួយនឹងលក្ខណៈរបស់ពួកគេនៃការគ្មានការបោសសំអាតការបញ្ជូនមេកានិច ការបង្កើនល្បឿនខ្ពស់ និងល្បឿនឆ្លើយតបខ្ពស់ ការបញ្ជូន wafer ជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិនៃ "លឿន ត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាព" ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតផ្តល់នូវវេទិកាគាំទ្រដ៏រឹងមាំ និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់វា។ អ្នកទាំងពីរធ្វើការជាមួយគ្នាដើម្បីសម្រេចបានការលោតផ្លោះក្នុងការអនុវត្ត។ នៅពេលដែលម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរជំរុញក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer ឱ្យដំណើរការនៅលើផ្លូវមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ភាពរឹងមាំ និងស្ថេរភាពនៃមូលដ្ឋានធានានូវការបញ្ជូនប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃកម្លាំងជំរុញម៉ូទ័រ ជៀសវាងការបាត់បង់កម្លាំងឬការបញ្ជូនយឺតដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយមូលដ្ឋាន។ ន
ជំរុញដោយតម្រូវការសម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាណូ ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរអាចសម្រេចបាននូវការគ្រប់គ្រងការផ្លាស់ទីលំនៅកម្រិតមីក្រូ។ លក្ខណៈដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត (ជាមួយនឹងកំហុសនៃភាពរាបស្មើដែលត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុង ±1μm) ផ្គូផ្គងយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងដ៏ជាក់លាក់នៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ដោយរួមគ្នាធានាថាកំហុសទីតាំងក្នុងអំឡុងពេលបញ្ជូន wafer គឺតិចជាង±5μm។ ថាតើវាជាការបិទល្បឿនលឿនក្នុងចំណោមឧបករណ៍ដំណើរការផ្សេងៗ ឬកន្លែងចតរថយន្តច្បាស់លាស់សម្រាប់ការប្រគល់ wafer ក៏ដោយ ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចធានាបាននូវ "សូន្យគម្លាត និងសូន្យ jitter" នៅក្នុងការបញ្ជូន wafer ។ ន
ការផ្ទៀងផ្ទាត់ការអនុវត្តឧស្សាហកម្ម៖ ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងទ្វេរដងក្នុងប្រសិទ្ធភាព និងអត្រាទិន្នផល
បន្ទាប់ពីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer របស់ខ្លួន សហគ្រាស semiconductor ឈានមុខគេលើពិភពលោកបានប្រើប្រាស់ដំណោះស្រាយមូលដ្ឋានម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ + ថ្មក្រានីត ដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការផ្ទេរ wafer 40% កាត់បន្ថយអត្រាកើតឡើងនៃកំហុសដូចជាការប៉ះទង្គិច និងអុហ្វសិតក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផ្ទេរ 85% និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាទិន្នផលសរុបនៃបន្ទះសៀគ្វី 6% ។ នៅពីក្រោយទិន្នន័យគឺការធានានូវស្ថេរភាពនៃការបញ្ជូនដែលផ្តល់ដោយមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត និងប្រសិទ្ធភាពនៃការរួមបញ្ចូលគ្នាដែលមានល្បឿនលឿន និងច្បាស់លាស់នៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ដែលកាត់បន្ថយការបាត់បង់ និងកំហុសឆ្គងយ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងដំណើរការបញ្ជូន wafer ។ ន
ពីលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈរហូតដល់ការផលិតភាពជាក់លាក់ ពីគុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្តរហូតដល់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ជាក់ស្តែង ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតបានកំណត់ឡើងវិញនូវស្តង់ដារនៃប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ។ នៅពេលអនាគត នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យា semiconductor ឈានឆ្ពោះទៅរកដំណើរការ 3nm និង 2nm នោះ វត្ថុធាតុដើមថ្មក្រានីតប្រាកដជានឹងបន្តចាក់បញ្ចូលកម្លាំងខ្លាំងទៅក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍ឧស្សាហកម្មជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិដែលមិនអាចជំនួសបាន។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ១៤-ឧសភា-២០២៥