ព័ត៌មាន
-
តើអ្វីទៅជាសេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធីទូទៅនៃវេទិកាចលនារំញ័រសកម្មដោយភាពជាក់លាក់ XYT ជាមួយនឹងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត?
Lithography ការផលិត semiconductor: Lithography គឺជាដំណើរការដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុងការផលិត semiconductor ដែលទាមទារការផ្ទេរយ៉ាងជាក់លាក់នៃគំរូសៀគ្វីស្មុគស្មាញទៅកាន់ wafers ។ វេទិកាចលនារំញ័រសកម្មដោយភាពជាក់លាក់ XYT នៅលើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចផ្តល់នូវ...អានបន្ថែម -
ការវិភាគគុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិនៃ XYT ភាពជាក់លាក់នៃចលនារំញ័រសកម្ម ភាពឯកោ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត។
ទីមួយ គុណសម្បត្តិនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត 1. ភាពរឹង និងស្ថេរភាពខ្ពស់ ថ្មក្រានីតមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ (2.6-3.1g / cm³) ហើយម៉ូឌុលរបស់ Young (ម៉ូឌុលបត់បែន) អាចឡើងដល់ 50-100 GPa ដែលខ្ពស់ជាងដែកថែបធម្មតា (ប្រហែល 200 GPa) ប៉ុន្តែដោយសារតែរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ isotropic របស់វា ខ្ញុំ...អានបន្ថែម -
វេទិកាចលនារំញ័រសកម្មដោយភាពជាក់លាក់ XYT៖ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត បញ្ចេញស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវចុងក្រោយ។
នៅក្នុងវិស័យនៃការផលិតភាពជាក់លាក់កម្រិតខ្ពស់ ការត្រួតពិនិត្យអុបទិក ដំណើរការ semiconductor និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ nanoscale មីក្រូញ័របរិស្ថានគឺជាកត្តាសំខាន់ដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការនៃឧបករណ៍។ XYT ភាពជាក់លាក់នៃចលនារំញ័រសកម្មដាច់ដោយឡែកសម្រាប់...អានបន្ថែម -
វេទិកាចលនារំញ័រសកម្មភាពជាក់លាក់ XYT: មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតខាសជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់អស្ចារ្យ។
វេទិកាចលនាឯកោរំញ័រសកម្មភាពជាក់លាក់ XYT បានក្លាយជាឧបករណ៍ស្នូលដើម្បីសម្រេចបាននូវការគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ក្នុងការផលិតភាពជាក់លាក់ ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងការរុករក។ ក្នុងចំណោមពួកគេ ការប្រើប្រាស់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនាំមកនូវអត្ថប្រយោជន៍សំខាន់ៗជាច្រើនដល់វេទិកា...អានបន្ថែម -
តើមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅក្នុងវេទិកាលំហូរខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់យ៉ាងដូចម្តេច?
ជាចម្បងតាមរយៈតំណភ្ជាប់សំខាន់ៗខាងក្រោម៖ • ការជ្រើសរើសសម្ភារៈដែលមានគុណភាពខ្ពស់៖ ដើម្បីផលិតមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដំបូងយើងត្រូវជ្រើសរើសសម្ភារៈថ្មក្រានីតដែលមានវាយនភាពឯកសណ្ឋាន និងរចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់។ ភាគល្អិតរ៉ែនៃថ្មក្រានីតប្រភេទនេះគឺល្អ និង ev...អានបន្ថែម -
វេទិកាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ដោយប្រើថ្មក្រានីតជាលក្ខណៈពិសេសនិងគុណសម្បត្តិជាមូលដ្ឋាន។
ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ភាពរាបស្មើល្អ៖ បន្ទាប់ពីដំណើរការល្អ ថ្មក្រានីតអាចទទួលបានភាពរាបស្មើខ្ពស់បំផុត។ ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃរបស់វាអាចឈានដល់ភាពជាក់លាក់មីក្រូន ឬខ្ពស់ជាងនេះ ដោយផ្តល់នូវស្តង់ដារគាំទ្រផ្ដេកដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ឧបករណ៍ភាពជាក់លាក់ ធានាថាឧបករណ៍រក្សា...អានបន្ថែម -
វេទិកាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ជាមួយនឹងមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត៖ ការច្នៃប្រឌិតភាពជាក់លាក់នៅក្នុងវិស័យជាច្រើន។
នៅលើទឹកដីដ៏ធំនៃការផលិតភាពជាក់លាក់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រដ៏ទំនើប វេទិកាអណ្តែតលើអាកាសដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ ជាមួយនឹងសមត្ថភាពគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់របស់វាកាន់កាប់ទីតាំងដ៏សំខាន់ និងពរជ័យនៃមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត ប៉ុន្តែក៏អនុញ្ញាតឱ្យ ...អានបន្ថែម -
មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត: ការថែទាំដោយប្រុងប្រយ័ត្ន សម្រេចបាននូវភាពជាក់លាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រដ៏ទំនើប មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតជាសមាសធាតុគាំទ្រស្នូលនៃឧបករណ៍ភាពជាក់លាក់ជាច្រើន ការសម្តែងរបស់វាត្រូវបានទាក់ទងដោយផ្ទាល់ទៅនឹងភាពត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍។ វិទ្យាសាស្ត្រ និងសមហេតុផល...អានបន្ថែម -
វិធីសាស្រ្តនៃការសម្អាត និងថែទាំភាពជាក់លាក់នៃសម្ពាធឋិតិវន្តនៃចលនាខ្យល់អណ្តែតលើវេទិកាមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត។
ការសម្អាតប្រចាំថ្ងៃ៖ បន្ទាប់ពីធ្វើការជារៀងរាល់ថ្ងៃ សូមប្រើក្រណាត់ទន់ស្អាត គ្មានធូលីដី ដើម្បីជូតសម្អាតផ្ទៃថ្មក្រានីតថ្នមៗ ដើម្បីកម្ចាត់ធូលីអណ្តែត។ ជូតថ្នមៗ និងហ្មត់ចត់ ធ្វើឱ្យប្រាកដថាគ្រប់ជ្រុងទាំងអស់ត្រូវបានគ្រប។ សម្រាប់ផ្នែកដែលពិបាកទៅដល់ ដូចជា ជ្រុង...អានបន្ថែម -
"ខែលដែលមើលមិនឃើញ" នៃវេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសអ៊ីដ្រូស្តាទិចដែលមានភាពជាក់លាក់៖ តម្រូវការបរិស្ថានដ៏តឹងរ៉ឹងនៃមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត។
នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រដ៏ទំនើប វេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់គឺជាឧបករណ៍សំខាន់ដើម្បីសម្រេចបាននូវប្រតិបត្តិការដ៏ជាក់លាក់បំផុត។ មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីតគឺជាផ្នែកគាំទ្រស្នូលនៃវេទិកា ហើយខ្ញុំ...អានបន្ថែម -
វេទិកាអណ្តែតទឹកតាមអាកាសដែលមានភាពជាក់លាក់៖ បើកយុគសម័យថ្មីនៃការគ្រប់គ្រងចលនាដ៏ជាក់លាក់។
នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មទំនើប និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រកម្រិតខ្ពស់ តម្រូវការសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់កំពុងកើនឡើង។ វេទិកាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ ជាឧបករណ៍ស្នូលនៃការគ្រប់គ្រងចលនាយ៉ាងជាក់លាក់ បានក្លាយជាជំនួយដ៏សំខាន់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មជាច្រើន...អានបន្ថែម -
វេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសដោយសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ដោយប្រើការប្រុងប្រយ័ត្នមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត។
ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងសំណើមបរិស្ថាន៖ ទោះបីជាមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃថ្មក្រានីតមានកម្រិតទាបក៏ដោយ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពដ៏ធំនឹងនៅតែប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្ររបស់វា។ វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញនៅ 20 ° C ± 1 ° C និងរក្សា ...អានបន្ថែម