នៅក្នុងវិស័យធ្វើតេស្តស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការជ្រើសរើសសម្ភារៈនៃវេទិកាធ្វើតេស្តដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើតេស្ត និងស្ថេរភាពឧបករណ៍។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងសម្ភារៈដែកវណ្ណះប្រពៃណី ថ្មក្រានីតកំពុងក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់វេទិកាធ្វើតេស្តស៊ីមីកុងដុកទ័រដោយសារតែដំណើរការដ៏លេចធ្លោរបស់វា។
ភាពធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះធានានូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពរយៈពេលវែង
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការធ្វើតេស្តស៊ីមីកុងដុកទ័រ សារធាតុប្រតិកម្មគីមីផ្សេងៗច្រើនតែជាប់ពាក់ព័ន្ធ ដូចជាដំណោះស្រាយប៉ូតាស្យូមអ៊ីដ្រូស៊ីត (KOH) ដែលប្រើសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍ photoresist និងសារធាតុដែលមានជាតិกัดกร่อนខ្ពស់ដូចជាអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីក (HF) និងអាស៊ីតនីទ្រីក (HNO₃) នៅក្នុងដំណើរការឆ្លាក់។ ដែកវណ្ណះភាគច្រើនផ្សំឡើងពីធាតុដែក។ នៅក្នុងបរិយាកាសគីមីបែបនេះ ប្រតិកម្មកាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្មទំនងជាកើតឡើងខ្ពស់។ អាតូមដែកបាត់បង់អេឡិចត្រុង និងឆ្លងកាត់ប្រតិកម្មផ្លាស់ទីលំនៅជាមួយសារធាតុអាស៊ីតនៅក្នុងដំណោះស្រាយ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការច្រេះយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃផ្ទៃ បង្កើតជាច្រែះ និងបាក់បែក និងបំផ្លាញភាពរាបស្មើ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រនៃវេទិកា។
ផ្ទុយទៅវិញ សមាសធាតុរ៉ែនៃថ្មក្រានីតផ្តល់ឱ្យវានូវភាពធន់នឹងការច្រេះមិនធម្មតា។ សមាសធាតុសំខាន់របស់វាគឺថ្ម Quartz (SiO₂) មានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំង ហើយស្ទើរតែមិនមានប្រតិកម្មជាមួយអាស៊ីត និងបាសទូទៅ។ រ៉ែដូចជា feldspar ក៏មិនមានសកម្មភាពនៅក្នុងបរិស្ថានគីមីទូទៅដែរ។ ការពិសោធន៍មួយចំនួនធំបានបង្ហាញថា នៅក្នុងបរិយាកាសគីមីនៃការរកឃើញ semiconductor ដែលក្លែងធ្វើដូចគ្នា ភាពធន់នឹងការច្រេះគីមីនៃថ្មក្រានីតគឺខ្ពស់ជាងដែកវណ្ណះជាង 15 ដង។ នេះមានន័យថា ការប្រើប្រាស់វេទិកាថ្មក្រានីតអាចកាត់បន្ថយភាពញឹកញាប់ និងថ្លៃដើមនៃការថែទាំឧបករណ៍ដែលបណ្តាលមកពីការច្រេះ ពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ និងធានាបាននូវស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញ។
ស្ថេរភាពខ្ពស់ខ្លាំង បំពេញតាមតម្រូវការនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញកម្រិតណាណូម៉ែត្រ
ការធ្វើតេស្តឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមានតម្រូវការខ្ពស់ខ្លាំងសម្រាប់ស្ថេរភាពនៃវេទិកា ហើយត្រូវការវាស់ស្ទង់លក្ខណៈនៃបន្ទះឈីបយ៉ាងច្បាស់លាស់នៅមាត្រដ្ឋានណាណូ។ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃដែកវណ្ណះគឺខ្ពស់ទាក់ទងគ្នា ប្រហែល 10-12 ×10⁻⁶/℃។ កំដៅដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍រកឃើញ ឬការប្រែប្រួលនៃសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញនឹងបណ្តាលឱ្យមានការពង្រីកកម្ដៅ និងការរួមតូចនៃវេទិកាដែកវណ្ណះយ៉ាងសំខាន់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតទីតាំងរវាងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារកឃើញ និងបន្ទះឈីប និងប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃថ្មក្រានីតមានត្រឹមតែ 0.6-5 × 10⁻⁶/℃ ដែលជាប្រភាគ ឬទាបជាងដែកវណ្ណះ។ រចនាសម្ព័ន្ធរបស់វាមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ ភាពតានតឹងខាងក្នុងត្រូវបានលុបចោលជាទូទៅតាមរយៈភាពចាស់ធម្មជាតិរយៈពេលវែង ហើយត្រូវបានប៉ះពាល់តិចតួចបំផុតដោយការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព។ លើសពីនេះ ថ្មក្រានីតមានភាពរឹងខ្លាំង ដោយមានកម្រិតរឹងខ្ពស់ជាងដែកវណ្ណះ 2 ទៅ 3 ដង (ស្មើនឹង HRC > 51) ដែលអាចទប់ទល់នឹងផលប៉ះពាល់ និងរំញ័រខាងក្រៅបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព និងរក្សាភាពរាបស្មើ និងភាពត្រង់នៃវេទិកា។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងការរកឃើញសៀគ្វីបន្ទះឈីបដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ វេទិកាថ្មក្រានីតអាចគ្រប់គ្រងកំហុសភាពរាបស្មើក្នុងរង្វង់ ±0.5μm/m ដែលធានាថាឧបករណ៍រកឃើញនៅតែអាចសម្រេចបាននូវការរកឃើញភាពជាក់លាក់ណាណូនៅក្នុងបរិស្ថានស្មុគស្មាញ។
លក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងម៉ាញេទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះ បង្កើតបរិយាកាសរកឃើញដ៏បរិសុទ្ធ
សមាសធាតុអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញានៅក្នុងឧបករណ៍ធ្វើតេស្តស៊ីមីកុងដុកទ័រមានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច។ ដែកវណ្ណះមានកម្រិតម៉ាញ៉េទិចជាក់លាក់មួយ។ នៅក្នុងបរិស្ថានអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច វានឹងបង្កើតដែនម៉ាញ៉េទិចដែលបង្កឡើង ដែលនឹងជ្រៀតជ្រែកជាមួយសញ្ញាអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៃឧបករណ៍រកឃើញ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយសញ្ញា និងទិន្នន័យរកឃើញមិនប្រក្រតី។
ម្យ៉ាងវិញទៀត ថ្មក្រានីតគឺជាវត្ថុធាតុប្រឆាំងម៉ាញេទិក ហើយស្ទើរតែមិនត្រូវបានប៉ូលដោយដែនម៉ាញេទិកខាងក្រៅទេ។ អេឡិចត្រុងខាងក្នុងមានជាគូនៅក្នុងចំណងគីមី ហើយរចនាសម្ព័ន្ធមានស្ថេរភាព មិនរងផលប៉ះពាល់ដោយកម្លាំងអេឡិចត្រូម៉ាញេទិកខាងក្រៅទេ។ នៅក្នុងបរិយាកាសដែនម៉ាញេទិកខ្លាំង 10mT អាំងតង់ស៊ីតេដែនម៉ាញេទិកដែលបង្កឡើងនៅលើផ្ទៃថ្មក្រានីតគឺតិចជាង 0.001mT ខណៈពេលដែលនៅលើផ្ទៃដែកវណ្ណះគឺខ្ពស់ជាង 8mT។ លក្ខណៈពិសេសនេះអាចឱ្យវេទិកាថ្មក្រានីតបង្កើតបរិយាកាសអេឡិចត្រូម៉ាញេទិកសុទ្ធសម្រាប់ឧបករណ៍រកឃើញ ជាពិសេសសមស្របសម្រាប់សេណារីយ៉ូដែលមានតម្រូវការតឹងរ៉ឹងសម្រាប់សំឡេងរំខានអេឡិចត្រូម៉ាញេទិកដូចជាការរកឃើញបន្ទះឈីបកង់ទិច និងការរកឃើញសៀគ្វីអាណាឡូកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលបង្កើនភាពជឿជាក់ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃលទ្ធផលនៃការរកឃើញប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
ក្នុងការសាងសង់វេទិកាធ្វើតេស្តស៊ីមីកុងដុកទ័រ ថ្មក្រានីតបានវ៉ាដាច់សម្ភារៈដែកវណ្ណះយ៉ាងទូលំទូលាយ ដោយសារតែគុណសម្បត្តិសំខាន់ៗរបស់វាដូចជា ភាពធន់នឹងការច្រេះ ស្ថេរភាព និងប្រឆាំងនឹងម៉ាញេទិក។ នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័ររីកចម្រើនឆ្ពោះទៅរកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ថ្មក្រានីតនឹងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធានាបាននូវដំណើរការនៃឧបករណ៍ធ្វើតេស្ត និងលើកកម្ពស់វឌ្ឍនភាពនៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែឧសភា ឆ្នាំ ២០២៥