ការត្រួតពិនិត្យស្លាបម៉ាស៊ីនយន្តហោះមានតម្រូវការខ្ពស់បំផុតសម្រាប់ស្ថេរភាព ភាពត្រឹមត្រូវ និងភាពជឿជាក់នៃវេទិកា។ បើប្រៀបធៀបជាមួយវេទិកាត្រួតពិនិត្យបែបប្រពៃណីដូចជាដែកវណ្ណះ និងយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូម វេទិកាថ្មក្រានីតបង្ហាញពីគុណសម្បត្តិដែលមិនអាចជំនួសបាននៅក្នុងសូចនាករសំខាន់ៗជាច្រើន។
I. ស្ថេរភាពកម្ដៅ៖ «ខែលធម្មជាតិ» ប្រឆាំងនឹងការជ្រៀតជ្រែកសីតុណ្ហភាព
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃវេទិកាដែកវណ្ណះគឺប្រហែល 10-12 ×10⁻⁶/℃ ហើយយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូមគឺខ្ពស់ដល់ 23 ×10⁻⁶/℃។ ក្រោមកំដៅដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការឧបករណ៍រកឃើញ ឬការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពបរិស្ថាន ការខូចទ្រង់ទ្រាយវិមាត្រងាយនឹងកើតឡើង ដែលនាំឱ្យមានកំហុសរកឃើញ។ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីតគឺត្រឹមតែ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ប៉ុណ្ណោះ។ ក្នុងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព ±5℃ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រនៃវេទិកាថ្មក្រានីតប្រវែង 1 ម៉ែត្រគឺតិចជាង 0.04μm ដែលស្ទើរតែមិនអាចមើលរំលងបាន។ លក្ខណៈពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុតនេះផ្តល់នូវផ្ទៃយោងដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ដូចជាឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឡាស៊ែរ និងម៉ាស៊ីនវាស់សំរបសំរួលបី ដោយជៀសវាងគម្លាតនៃការវាស់វែងនៃវណ្ឌវង្កនៃដាវដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ។
II. ការអនុវត្តប្រឆាំងនឹងរំញ័រ៖ «របាំងដ៏មានប្រសិទ្ធភាព» សម្រាប់លុបបំបាត់ការជ្រៀតជ្រែករំញ័រ
នៅក្នុងសិក្ខាសាលាផលិតយន្តហោះ ការរំញ័របរិស្ថានដែលបណ្តាលមកពីប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ម៉ាស៊ីន និងចលនារបស់បុគ្គលិកគឺកើតមានជាញឹកញាប់។ វេទិកាយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូមមានភាពរឹងមិនគ្រប់គ្រាន់ ហើយវេទិកាដែកវណ្ណះមានដំណើរការរំញ័រមានកម្រិត ដែលធ្វើឱ្យវាពិបាកក្នុងការទប់រំញ័រប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ក្រាស់នៅខាងក្នុងវេទិកាថ្មក្រានីតផ្តល់ឱ្យវានូវលក្ខណៈរំញ័រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ជាមួយនឹងសមាមាត្ររំញ័រ 0.05-0.1 ដែលខ្ពស់ជាងដែកវណ្ណះប្រាំដង និងខ្ពស់ជាងយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូមដប់ដង។ នៅពេលដែលរំញ័រខាងក្រៅត្រូវបានបញ្ជូនទៅវេទិកា វាអាចកាត់បន្ថយថាមពលរំញ័រជាង 90% ក្នុងរយៈពេល 0.3 វិនាទី ដែលធានាថាឧបករណ៍រកឃើញនៅតែអាចបញ្ចេញទិន្នន័យត្រឹមត្រូវនៅក្នុងបរិយាកាសរំញ័រ។
III. ភាពរឹង និងភាពធន់នឹងការពាក់៖ «បន្ទាយរឹងមាំ» ធានានូវភាពជាក់លាក់រយៈពេលវែង
បន្ទាប់ពីប្រើប្រាស់បានមួយរយៈ វេទិកាដែកវណ្ណះងាយនឹងប្រេះស្រាំ ដែលប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវរបស់វា។ វេទិកាយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូមមានភាពរឹងទាប និងធន់នឹងការពាក់មិនល្អ ដែលធ្វើឱ្យវាពិបាកក្នុងការទប់ទល់នឹងការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យធ្ងន់ៗញឹកញាប់។ ដង់ស៊ីតេនៃវេទិកាថ្មក្រានីតឈានដល់ 2.6-2.8 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប កម្លាំងបង្ហាប់របស់វាលើសពី 200MPa និងភាពរឹងរបស់ Mohs របស់វាគឺ 6-7។ នៅពេលដែលទទួលរងនូវបន្ទុកធ្ងន់ និងការកកិតរយៈពេលវែងពីឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យកាំបិត វាមិនងាយនឹងពាក់ ឬខូចទ្រង់ទ្រាយទេ។ ទិន្នន័យពីសហគ្រាសអាកាសចរណ៍ជាក់លាក់មួយបង្ហាញថា បន្ទាប់ពីប្រើប្រាស់ជាបន្តបន្ទាប់រយៈពេលប្រាំបីឆ្នាំ ការផ្លាស់ប្តូរភាពរាបស្មើនៃវេទិកាថ្មក្រានីតនៅតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±0.1μm/ម៉ែត្រគូប ខណៈពេលដែលវេទិកាដែកវណ្ណះត្រូវការក្រិតតាមខ្នាតឡើងវិញបន្ទាប់ពីរយៈពេលបីឆ្នាំ។
IV. ស្ថេរភាពគីមី៖ «មូលដ្ឋានគ្រឹះដែលមានស្ថេរភាព» សម្រាប់ការសម្របខ្លួនទៅនឹងបរិស្ថានស្មុគស្មាញ
សារធាតុគីមីដូចជាសារធាតុសម្អាត និងប្រេងរំអិលត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាញឹកញាប់នៅក្នុងសិក្ខាសាលាត្រួតពិនិត្យអាកាសចរណ៍។ វេទិកាយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូមងាយនឹងច្រេះ ហើយវេទិកាដែកក៏អាចប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវដោយសារការកត់សុី និងច្រែះផងដែរ។ ថ្មក្រានីតភាគច្រើនផ្សំឡើងពីសារធាតុរ៉ែដូចជាថ្មក្វាត និងថ្មហ្វែលស្ប៉ា។ វាមានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីដែលមានស្ថេរភាព ជួរអត់ធ្មត់ pH ពី 1 ដល់ 14 និងអាចទប់ទល់នឹងការហូរច្រោះនៃសារធាតុគីមីទូទៅ។ មិនមានទឹកភ្លៀងអ៊ីយ៉ុងលោហៈនៅលើផ្ទៃរបស់វាទេ ដែលធានាបាននូវបរិយាកាសរកឃើញស្អាត និងជៀសវាងកំហុសវាស់វែងដែលបង្កឡើងដោយការបំពុលគីមី។
V. ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកែច្នៃ៖ «មូលដ្ឋានដ៏ល្អ» សម្រាប់ការវាស់វែងដ៏ច្បាស់លាស់
តាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដូចជាការប៉ូលាម៉ាញ៉េតូរីយ៉ូឡូស៊ី និងដំណើរការធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង វេទិកាថ្មក្រានីតអាចសម្រេចបានភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ ±0.1μm/m សម្រាប់ភាពរាបស្មើ និង Ra≤0.02μm សម្រាប់ភាពរដុបនៃផ្ទៃ ដែលលើសពីវេទិកាដែកវណ្ណះ (±1μm/m សម្រាប់ភាពរាបស្មើ) និងវេទិកាយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូម (±2μm/m សម្រាប់ភាពរាបស្មើ)។ ផ្ទៃដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នេះផ្តល់នូវឯកសារយោងដំឡើងដ៏ត្រឹមត្រូវសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងការស៊ើបអង្កេតវាស់វែងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលជួយសម្រួលដល់ការសម្រេចបាននូវការវាស់វែងវណ្ឌវង្កបីវិមាត្រនៃស្លាបម៉ាស៊ីនយន្តហោះនៅកម្រិត 0.1μm។
នៅក្នុងសេណារីយ៉ូដែលមានតម្រូវការខ្ពស់នៃការត្រួតពិនិត្យស្លាបម៉ាស៊ីនយន្តហោះ វេទិកាថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិទូលំទូលាយរបស់វានៅក្នុងស្ថេរភាពកម្ដៅ ភាពធន់នឹងរំញ័រ ភាពរឹង ស្ថេរភាពគីមី និងភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ បានក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អបំផុតដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងភាពជឿជាក់នៃការត្រួតពិនិត្យ ដែលដាក់គ្រឹះរឹងមាំសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៃការផលិតអាកាសចរណ៍។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២២ ខែឧសភា ឆ្នាំ ២០២៥