នៅពេលផលិតផ្នែកភាពជាក់លាក់ តារាងការងារភាពជាក់លាក់ XY គឺដូចជា "សិប្បករដ៏អស្ចារ្យ" ដែលទទួលខុសត្រូវក្នុងការកិនផ្នែកឱ្យដូចគ្នាបេះបិទ។ ប៉ុន្តែពេលខ្លះ ទោះបីជាប្រតិបត្តិការល្អក៏ដោយ ប៉ុន្តែផ្នែកដែលផលិតមិនមានស្តង់ដារ។ នេះប្រហែលជាដោយសារតែមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃកន្លែងធ្វើការគឺ "បោះចោលកំហឹង"! ថ្ងៃនេះ សូមនិយាយអំពីថាតើភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃសម្ភារៈមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតមានសារៈសំខាន់ប៉ុណ្ណាសម្រាប់ដំណើរការច្បាស់លាស់។
សម្ភារៈគឺ "មិនស្មើគ្នា" ហើយបញ្ហាបានផ្ទុះឡើង
ស្រមៃមើលមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ផ្នែកខ្លះរឹង ហើយផ្នែកខ្លះទន់។ តើនឹងមានអ្វីកើតឡើងប្រសិនបើកន្លែងខ្លះពង្រីកបន្ថែមទៀតនៅពេលមានកម្ដៅ ហើយកន្លែងខ្លះពង្រីកតិច?
អតុល្យភាពរំញ័រ៖ ប្រសិនបើដង់ស៊ីតេនៅទីតាំងផ្សេងគ្នានៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតមិនដូចគ្នាទេ នៅពេលដែលតុធ្វើការផ្លាស់ទីយ៉ាងលឿន វានឹងដូចជាមនុស្សដើរមួយខ្ពស់ និងមួយទាប បណ្តាលឱ្យញ័រ។ ប្រភេទនៃការញ័រនេះគឺធ្ងន់ធ្ងរណាស់នៅក្នុងដំណើរការច្បាស់លាស់។ ជាឧទាហរណ៍ នៅពេលប៉ូលាកញ្ចក់អុបទិក វាអាចបណ្តាលឱ្យផ្ទៃកញ្ចក់មានភាពរដុប។ កែវថតដែលដើមដំបូងអាចសម្រេចបាននូវឥទ្ធិពលដូចកញ្ចក់នឹងមានអត្រាសំណល់អេតចាយរបស់ពួកគេកើនឡើង 30% ដោយផ្ទាល់!
សីតុណ្ហភាព "បណ្តាលឱ្យមានបញ្ហា"៖ នៅក្នុងដំណើរការ photolithography semiconductor ការត្រួតពិនិត្យទីតាំងច្បាស់លាស់ត្រូវបានទាមទារ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ប្រសិនបើមេគុណនៃការពង្រីកកំដៅនៃតំបន់ផ្សេងៗគ្នានៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតប្រែប្រួលយ៉ាងខ្លាំង នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពផ្លាស់ប្តូរ មូលដ្ឋាននឹង "ខូចទ្រង់ទ្រាយ និងខូចទ្រង់ទ្រាយ" ដែលបណ្តាលឱ្យមានកំហុសក្នុងទីតាំងកាន់តែធំ ហើយប្រហែលជា wafer ទាំងមូលត្រូវបានលុបចោល។
ការពាក់មិនស្មើគ្នា៖ មូលដ្ឋានដែលមានភាពរឹងមិនស្មើគ្នាគឺដូចជាស្បែកជើងដែលមានកម្រិតនៃការពាក់ខុសៗគ្នា។ បន្ទាប់ពីប្រើប្រាស់បានយូរ ផ្នែកដែលមានភាពរឹងទាបនៅលើតុធ្វើការនឹងត្រូវអស់កាន់តែលឿន។ ផ្លូវត្រង់ដែលផ្លាស់ប្តូរពីដើមនឹងកោង ហើយភាពត្រង់នឹងធ្លាក់ចុះយ៉ាងខ្លាំង។ ការចំណាយលើការថែទាំក៏នឹងកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំងផងដែរ។
លុះត្រាតែវត្ថុធាតុដើមមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា ទើបដំណើរការកែច្នៃមានស្ថេរភាពដូចភ្នំតៃ។
នៅពេលដែលលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតមានឯកសណ្ឋាន និងស្រប អត្ថប្រយោជន៍គឺភ្លាមៗ៖
ដំណើរការថាមវន្តមានស្ថេរភាព ត្រឹមត្រូវ និងខ្លាំង៖ មូលដ្ឋានធ្វើពីវត្ថុធាតុជាប់លាប់អាចស្រូបយករំញ័របានស្មើៗគ្នា នៅពេលដែលតុធ្វើការចាប់ផ្តើម ឈប់ ឬបង្វិលយ៉ាងលឿន។ នៅក្នុងវិធីនេះ ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងដដែលៗអាចឈានដល់ ±0.3μm ដ៏គួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើល ដែលស្មើនឹងភាពជាក់លាក់នៃការបែងចែកសក់មនុស្សទៅជា 300 ផ្នែកទៀត!
ការឆ្លើយតបសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់៖ មេគុណបង្រួបបង្រួមនៃការពង្រីកកម្ដៅគឺដូចជាការដំឡើង "ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពឆ្លាតវៃ" នៅលើមូលដ្ឋាន។ វិស្វករអាចទស្សន៍ទាយបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវអំពីការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃមូលដ្ឋាននៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពផ្លាស់ប្តូរ។ តាមរយៈសំណងនៃក្បួនដោះស្រាយ កំហុសនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់±0.5μm។
"អាយុកាលសេវាកម្ម" វែងបន្ថែម៖ ភាពរឹង និងដង់ស៊ីតេឯកសណ្ឋានធានាថាគ្រប់ផ្នែកទាំងអស់នៃមូលដ្ឋានត្រូវបាន "សង្កត់ស្មើៗគ្នា" ជៀសវាងការពាក់ក្នុងស្រុកច្រើនពេក។ មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនធម្មតាអាចនឹងត្រូវផ្លាស់ប្តូររៀងរាល់ 5 ឆ្នាំម្តង ខណៈពេលដែលគុណភាពខ្ពស់ដែលធ្វើពីវត្ថុធាតុជាប់លាប់អាចប្រើប្រាស់បានពី 8 ទៅ 10 ឆ្នាំ ដោយសន្សំបានចំនួនយ៉ាងច្រើននៃការចំណាយលើការជំនួសឧបករណ៍។
តើគេអាចជ្រើសរើសមូលដ្ឋានយន្តហោះថ្មក្រានីត "ដែលអាចទុកចិត្តបាន" យ៉ាងដូចម្តេច?
កំណត់ "ប្រភពដើម"៖ ជ្រើសរើសថ្មក្រានីតដែលជីកយករ៉ែចេញពីស្រទាប់រ៉ែដូចគ្នា និងតំបន់ដូចគ្នា ដូចជាការរើសផ្លែឈើពីដើមឈើដូចគ្នា នេះអាចធានាថាសមាសធាតុរ៉ែមានលក្ខណៈស្រដៀងគ្នា។
"ការពិនិត្យរាងកាយ" យ៉ាងតឹងរ៉ឹង៖ មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដែលអាចទុកចិត្តបានត្រូវតែឆ្លងកាត់ "កន្លែងត្រួតពិនិត្យ" ចំនួន 12 ដូចជាការវិភាគវិសាលគម និងការធ្វើតេស្តដង់ស៊ីតេ ហើយសម្ភារៈដែលមិនមានស្តង់ដារទាំងអស់ត្រូវបានលុបចោល។
ពិនិត្យ "អត្តសញ្ញាណប័ណ្ណ"៖ សួរអ្នកផ្គត់ផ្គង់ឱ្យផ្តល់ការបញ្ជាក់គុណភាព និងរបាយការណ៍តេស្ត។ មានតែមូលដ្ឋានដែលមានការយល់ព្រមពីវិញ្ញាបនបត្រត្រឹមត្រូវប៉ុណ្ណោះដែលអាចប្រើបានជាមួយនឹងសន្តិភាពផ្លូវចិត្តកាន់តែខ្លាំង។
នៅក្នុងពិភពនៃម៉ាស៊ីនភាពជាក់លាក់ ព័ត៌មានលម្អិតកំណត់ជោគជ័យ ឬបរាជ័យ។ ភាពស៊ីសង្វាក់នៃសម្ភារៈនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតគឺជាតំណភ្ជាប់ដ៏សំខាន់មួយដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងកាត់បន្ថយការចំណាយ។ លើកក្រោយនៅពេលជ្រើសរើសឧបករណ៍ សូមកុំមើលរំលង "ព័ត៌មានលម្អិត" នេះម្តងទៀត!
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ១៧ មិថុនា ២០២៥