ការវិភាគអំពីគុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិនៃការប្រើប្រាស់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត សម្រាប់វេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាស សម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់។

ទីមួយគុណសម្បត្តិនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត
ភាពរឹងខ្ពស់ និងការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅទាប
ដង់ស៊ីតេនៃថ្មក្រានីតគឺខ្ពស់ (ប្រហែល 2.6-2.8 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ³) ហើយម៉ូឌុលរបស់ Young អាចឈានដល់ 50-100 GPa ដែលលើសពីវត្ថុធាតុដើមដែកធម្មតា។ ភាពរឹងខ្ពស់នេះអាចទប់ស្កាត់ការរំញ័រខាងក្រៅ និងការខូចទ្រង់ទ្រាយផ្ទុកប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងធានាបាននូវភាពរាបស្មើនៃមគ្គុទ្ទេសក៍អណ្តែតខ្យល់។ ទន្ទឹមនឹងនេះមេគុណពង្រីកលីនេអ៊ែរនៃថ្មក្រានីតគឺទាបណាស់ (ប្រហែល 5 × 10⁻⁶ / ℃) មានតែ 1/3 នៃលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូម ស្ទើរតែគ្មានការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅនៅក្នុងបរិយាកាសប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព ជាពិសេសសមរម្យសម្រាប់បន្ទប់ពិសោធន៍សីតុណ្ហភាពថេរ ឬឈុតឧស្សាហកម្មដែលមានភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាពពេលថ្ងៃ និងពេលយប់។

ដំណើរការសើមល្អឥតខ្ចោះ
រចនាសម្ព័ន្ធ polycrystalline នៃថ្មក្រានីតធ្វើឱ្យវាមានលក្ខណៈសើមធម្មជាតិហើយពេលវេលារំញ័រគឺលឿនជាងដែក 3-5 ដង។ នៅក្នុងដំណើរការនៃម៉ាស៊ីនមានភាពជាក់លាក់ វាអាចស្រូបយករំញ័រដែលមានប្រេកង់ខ្ពស់យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដូចជាការចាប់ផ្តើម និងបញ្ឈប់ម៉ូទ័រ ការកាត់ឧបករណ៍ និងជៀសវាងឥទ្ធិពលនៃ resonance លើភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងនៃវេទិកាផ្លាស់ទី (តម្លៃធម្មតារហូតដល់ ±0.1μm)។

ស្ថេរភាពវិមាត្រយូរអង្វែង
បន្ទាប់ពីដំណើរការភូគព្ភសាស្ត្ររាប់រយលានឆ្នាំបង្កើតជាថ្មក្រានីត ភាពតានតឹងខាងក្នុងរបស់វាត្រូវបានបញ្ចេញទាំងស្រុង មិនដូចជាលោហៈធាតុដោយសារភាពតានតឹងសំណល់ដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយយឺត។ ទិន្នន័យពិសោធន៍បង្ហាញថាការផ្លាស់ប្តូរទំហំនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតមានតិចជាង 1μm/m ក្នុងរយៈពេល 10 ឆ្នាំ ដែលល្អជាងសំណង់ដែកវណ្ណះ ឬដែកផ្សារដែក។

ធន់នឹងការ corrosion និងមិនមានការថែទាំ
ថ្មក្រានីតទៅជាអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំង ប្រេង សំណើម និងកត្តាបរិស្ថានផ្សេងទៀតមានភាពអត់ធ្មត់ខ្លាំង មិនចាំបាច់លាបស្រទាប់ការពារច្រែះជាប្រចាំដូចមូលដ្ឋានដែកនោះទេ។ បន្ទាប់ពីការកិន និងប៉ូលា ភាពរដុបនៃផ្ទៃអាចឈានដល់ Ra 0.2μm ឬតិចជាងនេះ ដែលអាចត្រូវបានប្រើដោយផ្ទាល់ជាផ្ទៃទ្រនាប់នៃផ្លូវដែកមគ្គុទ្ទេសក៍អណ្ដែតខ្យល់ ដើម្បីកាត់បន្ថយកំហុសក្នុងការដំឡើង។

ទីពីរ ដែនកំណត់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត
ដំណើរការលំបាក និងបញ្ហាថ្លៃដើម
ថ្មក្រានីតមានភាពរឹង Mohs ពី 6-7 ដែលតម្រូវឱ្យមានការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ពេជ្រសម្រាប់ការកិនយ៉ាងជាក់លាក់ប្រសិទ្ធភាពដំណើរការគឺត្រឹមតែ 1/5 នៃវត្ថុធាតុដើមដែកប៉ុណ្ណោះ។ រចនាសម្ព័ន្ធស្មុគ្រស្មាញនៃចង្អូរ dovetail រន្ធខ្សែស្រឡាយ និងលក្ខណៈផ្សេងទៀតនៃការចំណាយលើដំណើរការគឺខ្ពស់ ហើយវដ្តដំណើរការគឺវែង (ឧទាហរណ៍ ដំណើរការនៃវេទិកាទំហំ 2m × 1m ចំណាយពេលលើសពី 200 ម៉ោង) ជាលទ្ធផលការចំណាយសរុបគឺខ្ពស់ជាង 30%-50% ខ្ពស់ជាងវេទិកាអាលុយមីញ៉ូម។

ហានិភ័យនៃការបាក់ឆ្អឹង
ទោះបីជាកម្លាំងបង្ហាប់អាចឈានដល់ 200-300MPa ក៏ដោយក៏កម្លាំង tensile នៃថ្មក្រានីតគឺត្រឹមតែ 1/10 របស់វាប៉ុណ្ណោះ។ ការប្រេះស្រាំងាយនឹងកើតមាននៅក្រោមបន្ទុកខ្លាំង ហើយការខូចខាតពិបាកជួសជុល។ វាចាំបាច់ក្នុងការជៀសវាងការផ្តោតអារម្មណ៍ស្ត្រេសតាមរយៈការរចនារចនាសម្ព័ន្ធ ដូចជាការប្រើការផ្លាស់ប្តូរជ្រុងមូល ការបង្កើនចំនួនចំណុចគាំទ្រជាដើម។

ទំងន់នាំមកនូវដែនកំណត់នៃប្រព័ន្ធ
ដង់ស៊ីតេនៃថ្មក្រានីតគឺ 2.5 ដងនៃលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូមដែលបណ្តាលឱ្យមានការកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំងនៃទំងន់សរុបនៃវេទិកា។ នេះដាក់តម្រូវការខ្ពស់លើសមត្ថភាពផ្ទុកនៃរចនាសម្ព័ន្ធទ្រទ្រង់ ហើយដំណើរការថាមវន្តអាចរងផលប៉ះពាល់ដោយបញ្ហានិចលភាពនៅក្នុងសេណារីយ៉ូដែលតម្រូវឱ្យមានចលនាល្បឿនលឿន (ដូចជាតារាងលីចូម wafer) ។

សម្ភារៈ anisotropy
ការចែកចាយភាគល្អិតរ៉ែនៃថ្មក្រានីតធម្មជាតិមានទិសដៅ ហើយភាពរឹង និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃមុខតំណែងផ្សេងគ្នាគឺខុសគ្នាបន្តិចបន្តួច (ប្រហែល ± 5%) ។ នេះអាចណែនាំពីកំហុសដែលមិនអាចធ្វេសប្រហែសបានសម្រាប់វេទិកាដែលមានភាពជាក់លាក់ជ្រុល (ដូចជាការកំណត់ទីតាំងណាណូ) ដែលចាំបាច់ត្រូវកែលម្អដោយការជ្រើសរើសសម្ភារៈដ៏តឹងរ៉ឹង និងការព្យាបាលដូចគ្នាបេះបិទ (ដូចជាការបំប្លែងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់)។
ក្នុងនាមជាធាតុផ្សំស្នូលនៃឧបករណ៍ឧស្សាហកម្មដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ វេទិកាអណ្តែតទឹកសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការផលិត semiconductor ដំណើរការអុបទិក ការវាស់វែងភាពជាក់លាក់ និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។ ជម្រើសនៃសម្ភារៈមូលដ្ឋានប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ស្ថេរភាព ភាពត្រឹមត្រូវ និងអាយុកាលសេវាកម្មរបស់វេទិកា។ ថ្មក្រានីត (ថ្មក្រានីតធម្មជាតិ) ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តតែមួយគត់របស់វាបានក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ពេញនិយមសម្រាប់មូលដ្ឋានវេទិកាបែបនេះក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ។