ការវិភាគលើស្តង់ដារកម្រិតរញ្ជួយដីនៃវេទិកាថ្មក្រានីត៖ មូលដ្ឋានគ្រឹះមានស្ថេរភាពនៃឧស្សាហកម្ម និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ។

នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មឧស្សាហកម្មភាពជាក់លាក់ និងការរុករកស្រាវជ្រាវបែបវិទ្យាសាស្ត្រដ៏ទំនើប វេទិកាថ្មក្រានីតជាមួយនឹងដំណើរការរញ្ជួយដីដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វាបានក្លាយជាឧបករណ៍សំខាន់ដើម្បីធានាបាននូវការអភិវឌ្ឍន៍រលូននៃប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ស្តង់ដារវាយតម្លៃធន់នឹងការឆក់ដ៏តឹងរឹងរបស់វាផ្តល់នូវការធានាដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់សេណារីយ៉ូការងារជាច្រើនដែលងាយនឹងរំញ័រខ្លាំង។
ទីមួយ មូលដ្ឋានកំណត់នៃកម្រិតភស្តុតាងរញ្ជួយដីនៃវេទិកាថ្មក្រានីត
លក្ខណៈសម្ភារៈ៖ វេទិកាក្រានីតត្រូវបានធ្វើពីថ្មក្រានីតធម្មជាតិ បន្ទាប់ពីដំណើរការភូមិសាស្ត្ររាប់លានឆ្នាំ រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ខាងក្នុងត្រូវបានរៀបចំយ៉ាងជិតស្និទ្ធ និងមានឯកសណ្ឋានខ្ពស់។ រចនាសម្ព័នតែមួយគត់នេះផ្តល់ឱ្យថ្មក្រានីតនូវអត្រាទាបនៃការផ្លាស់ប្តូរម៉ូឌុលយឺត នៅពេលដែលទទួលរងនូវការឆក់ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងវត្ថុធាតុទូទៅផ្សេងទៀតដូចជាលោហៈ អាចគ្រប់គ្រងការខូចទ្រង់ទ្រាយយឺតរបស់វាក្នុងកម្រិតតិចតួចបំផុត។ យោងតាមការប្តេជ្ញាចិត្តរបស់ស្ថាប័នធ្វើតេស្តដែលមានការអនុញ្ញាត ការខូចទ្រង់ទ្រាយយឺតនៃថ្មក្រានីតនៅក្នុងបរិយាកាសតេស្តរំញ័រស្តង់ដារគឺត្រឹមតែ 1/10-1/20 នៃវត្ថុធាតុដើមលោហៈធម្មតា ដែលដាក់មូលដ្ឋានគ្រឹះសម្ភារៈរឹងមាំសម្រាប់ដំណើរការរញ្ជួយដីកម្រិតខ្ពស់នៃវេទិកា។
ការរចនារចនាសម្ព័ន្ធ៖ តាមទស្សនៈនៃរចនាសម្ព័ន្ធម៉ាក្រូ វេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងរូបរាងធរណីមាត្រដែលប្រសើរឡើង និងប្លង់គាំទ្រ។ សមាមាត្រប្រវែងទទឹង-កម្ពស់ទាំងមូលនៃវេទិកាត្រូវបានគណនាយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពកណ្តាលនៃទំនាញ និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការញ័រដែលបណ្តាលមកពីរំញ័រ។ ទន្ទឹមនឹងនេះការចែកចាយចំណុចគាំទ្រត្រូវបានគ្រោងទុកតាមបែបវិទ្យាសាស្ត្រតាមគោលការណ៍នៃមេកានិចដែលអាចចែកចាយទម្ងន់របស់វត្ថុដែលដាក់នៅលើវេទិកាបានស្មើៗគ្នា និងកម្លាំងផលប៉ះពាល់ដែលបង្កើតឡើងដោយរំញ័រខាងក្រៅ។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងវេទិកាថ្មក្រានីតធំ រចនាសម្ព័ន្ធគាំទ្រពហុចំណុចត្រូវបានប្រើប្រាស់ ហើយកំហុសចម្ងាយរវាងចំណុចគាំទ្រដែលនៅជាប់គ្នាត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់±0.05mm ដែលមានប្រសិទ្ធភាពជៀសវាងការផ្តោតអារម្មណ៍ស្ត្រេសក្នុងតំបន់ និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវសមត្ថភាពរញ្ជួយដីរបស់វេទិកា។
2. សូចនាករលម្អិត និងសេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធីនៃកម្រិតការពារការឆក់នីមួយៗ
ស្តង់ដារការពារការឆក់កម្រិត I (សេណារីយ៉ូតម្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់)
សន្ទស្សន៍រំញ័ររំញ័រ៖ នៅក្នុងជួរនៃប្រេកង់រំញ័ររលករញ្ជួយដីដែលបានក្លែងធ្វើ (0.1Hz-100Hz) តម្លៃកំពូលនៃការផ្លាស់ទីលំនៅរំញ័រនៅទីតាំងណាមួយលើផ្ទៃវេទិកាមិនលើសពី 0.001mm។ នៅពេលដែលរំញ័រប្រេកង់ទាបដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃគ្រឿងចក្រធំៗជុំវិញ (ដូចជាការរំញ័ររបស់ឧបករណ៍ម៉ាស៊ីនធុនធ្ងន់នៅប្រេកង់ប្រហែល 1Hz-10Hz) ត្រូវបានរំខាន ឧបករណ៍វាស់អុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលដាក់នៅលើវេទិកា ដូចជាមីក្រូទស្សន៍កម្លាំងអាតូមិក ការផ្លាស់ប្តូរការផ្លាស់ទីលំនៅដែលទាក់ទងរវាងរង្វាស់រង្វាស់ និងគំរូដែលអាចវាស់វែងបាន។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃមាត្រដ្ឋានណាណូមិនត្រូវបានប៉ះពាល់ទេ។
សេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធី៖ វាត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការ lithography នៃការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ។ ការផលិតបន្ទះឈីបទាមទារភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ខ្លាំង ហើយទទឹងបន្ទាត់បានឈានដល់កម្រិតណាណូម៉ែត្រ។ នៅក្នុងដំណើរការ lithography វេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវផ្តល់ការគាំទ្រស្ថិរភាពសម្រាប់ម៉ាស៊ីន lithography ញែករំញ័រដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍ផ្សេងទៀតនៅក្នុងសិក្ខាសាលា និងធានាបាននូវការផ្ទេរត្រឹមត្រូវនៃគំរូ lithography ដូច្នេះការកែលម្អទិន្នផលនៃការផលិតបន្ទះឈីបយ៉ាងខ្លាំង។ យោងតាមស្ថិតិឧស្សាហកម្ម ការប្រើប្រាស់ខ្សែសង្វាក់ផលិតបន្ទះឈីបដែលបំពេញតាមស្តង់ដារស្តង់ដារថ្មក្រានីតកម្រិតទីមួយបានបង្កើនទិន្នផល 15%-20% បើធៀបនឹងការប្រើប្រាស់វេទិកាធម្មតា។
កម្រិត 2 ស្តង់ដារប្រឆាំងនឹងការឆក់ (សេណារីយ៉ូភាពជាក់លាក់ខ្ពស់)
សន្ទស្សន៍រំញ័ររំញ័រ៖ នៅក្រោមប្រេកង់រំញ័រ 0.1Hz-100Hz ការផ្លាស់ទីលំនៅរំញ័រកំពូលនៃផ្ទៃវេទិកាត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ 0.005mm។ សម្រាប់ការពិសោធន៍រកឃើញភាគល្អិតមីក្រូទស្សន៍ដែលធ្វើឡើងនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រក្នុងសាកលវិទ្យាល័យនានា ដូចជាការពិសោធន៍ស្កែនអ៊ុយក្រូស្កូបផ្លូវរូងក្រោមដី (STM) កម្រិតនៃមុខងារការពារការឆក់នេះអាចធានាថាទីតាំងដែលទាក់ទងរវាងចុង STM និងសំណាកមានស្ថេរភាព ទោះបីជាមានប្រភពរំញ័រធម្មតាមួយចំនួនដូចជា បុគ្គលិកផ្លាស់ទីជុំវិញបន្ទប់ពិសោធន៍ និងឧបករណ៍ដែលផ្លាស់ទីជុំវិញមន្ទីរពិសោធន៍ក៏ដោយ។ ដូច្នេះព័ត៌មានរដ្ឋ quantum នៃភាគល្អិតមីក្រូទស្សន៍ត្រូវបានចាប់យកយ៉ាងត្រឹមត្រូវ ដែលផ្តល់ការធានាសម្រាប់អ្នកស្រាវជ្រាវដើម្បីទទួលបានទិន្នន័យពិសោធន៍ត្រឹមត្រូវ។
សេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធី៖ ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដូចជាដំណើរការកែកំហុសការផលិតសមតុល្យអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ សមតុល្យអេឡិចត្រូនិចមានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះរំញ័រ ហើយសូម្បីតែការរំញ័រតូចអាចបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៅក្នុងលទ្ធផលរង្វាស់។ វេទិកាថ្មក្រានីតដែលបំពេញតាមស្តង់ដារការពារការឆក់កម្រិតទីពីរអាចផ្តល់នូវបរិយាកាសស្ថេរភាពសម្រាប់ការក្រិត និងការដាក់ឱ្យដំណើរការសមតុល្យអេឡិចត្រូនិច ធានាថាភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៃសមតុល្យឈានដល់កម្រិតមីក្រូក្រាម និងបំពេញតម្រូវការឧស្សាហកម្មសម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងទម្ងន់ខ្ពស់ដូចជាការកំណត់អត្តសញ្ញាណឱសថ និងគ្រឿងអលង្ការ។
ស្តង់ដារការពារការឆក់បីកម្រិត (សេណារីយ៉ូភាពជាក់លាក់ខ្ពស់)
សន្ទស្សន៍រំញ័ររំញ័រ៖ នៅក្នុងជួរប្រេកង់រំញ័រ 0.1Hz-100Hz ការផ្លាស់ទីលំនៅរំញ័រកំពូលនៃផ្ទៃវេទិកាមិនលើសពី 0.01mm។ នៅពេលប្រឈមមុខនឹងការរំញ័រដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ខ្នាតមធ្យមទូទៅនៅក្នុងសិក្ខាសាលារោងចក្រ (ប្រេកង់រំញ័រជាទូទៅគឺ 10Hz-50Hz) ឧបករណ៍វាស់ធម្មតាដែលដាក់នៅលើវេទិកាថ្មក្រានីត ដូចជាឧបករណ៍វាស់សំរបសំរួលអាចរក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងមានស្ថេរភាព ហើយគម្លាតនៃទិន្នន័យរង្វាស់ត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងចន្លោះតូចបំផុត។
សេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធី៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់ការវាស់វែងភាពជាក់លាក់នៅក្នុងការផលិតគ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីននៃប្លុកស៊ីឡាំងម៉ាស៊ីនរថយន្ត ឧបករណ៍បញ្ជូន និងផ្នែកផ្សេងទៀតប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃរថយន្តដោយផ្ទាល់។ នៅក្នុងការវាស់ស្ទង់នៃផ្នែកទាំងនេះ បន្ទះថ្មក្រានីតនៃការអនុវត្តមិនជ្រាបទឹកទាំងបីអាចញែកដាច់ពីគ្នាយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពនូវឧបករណ៍សិក្ខាសាលាដែលកំពុងដំណើរការដោយរំញ័រ ដើម្បីធានាថាឧបករណ៍វាស់សំរបសំរួលបានវាស់វែងយ៉ាងត្រឹមត្រូវនូវទំហំនៃផ្នែក ទម្រង់ និងភាពអត់ធ្មត់នៃទីតាំង និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងទៀត ដើម្បីផ្តល់ការគាំទ្រយ៉ាងរឹងមាំសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៃគ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត កែលម្អការផលិតនៃអត្រាឆ្លងកាត់គ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត។
ទី 3 ការធ្វើតេស្តគុណភាពយ៉ាងតឹងរឹងដើម្បីធានាថាកម្រិតរញ្ជួយដីត្រូវនឹងស្តង់ដារ
ដើម្បីធានាថាវេទិកាថ្មក្រានីតនីមួយៗអាចបំពេញតាមស្តង់ដារកម្រិតការពារការរញ្ជួយដីដែលត្រូវគ្នា យើងបានបង្កើតប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យគុណភាពដ៏តឹងរ៉ឹង និងល្អឥតខ្ចោះ។ នៅក្នុងដំណើរការផលិត ការធ្វើតេស្តលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តដ៏ទូលំទូលាយមួយត្រូវបានអនុវត្តលើវត្ថុធាតុដើមនៃថ្មក្រានីតនីមួយៗ ដើម្បីធានាថារចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុងរបស់វាមានលក្ខណៈឯកសណ្ឋាន និងមិនមានពិការភាពច្បាស់លាស់។ បន្ទាប់ពីដំណើរការនៃវេទិកាត្រូវបានបញ្ចប់ ឧបករណ៍សាកល្បងការក្លែងធ្វើរំញ័រកម្រិតខ្ពស់ត្រូវបានប្រើដើម្បីក្លែងធ្វើបរិយាកាសរំញ័រស្មុគស្មាញផ្សេងៗដើម្បីសាកល្បងវេទិកា។ តាមរយៈឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅឡាស៊ែរភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាពិតប្រាកដនៃការផ្លាស់ប្តូរការផ្លាស់ទីលំនៅនៃចំណុចនីមួយៗនៅលើផ្ទៃនៃវេទិកាក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការរំញ័រ ហើយទិន្នន័យត្រូវបានបញ្ជូនទៅប្រព័ន្ធដំណើរការទិន្នន័យប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈសម្រាប់ការវិភាគ។ លុះត្រាតែសូចនាកររំញ័រនៃវេទិកាគឺស្របនឹងស្តង់ដារកម្រិតការពារការឆក់ដែលត្រូវគ្នានោះ ពួកគេត្រូវបានអនុញ្ញាតឱ្យដាក់ចូលទៅក្នុងទីផ្សារ។
សរុបមក វេទិកាថ្មក្រានីតជាមួយនឹងស្តង់ដារថ្នាក់ shockproof វិទ្យាសាស្រ្ត ការសម្តែងការពារការឆក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងតឹងរឹង សម្រាប់ផលិតកម្មឧស្សាហកម្ម និងការងារស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រក្នុងប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដើម្បីផ្តល់នូវការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាពដែលមិនអាចខ្វះបាន គឺជាការស្វែងរកភាពត្រឹមត្រូវនិងភាពជឿជាក់ចុងក្រោយនៃជម្រើស។