តើឧបករណ៍វាស់សេរ៉ាមិចជំនាន់ក្រោយកំពុងកំណត់ឡើងវិញនូវព្រំដែននៃភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុតដែរឬទេ?

នៅក្នុងសាលស្ងាត់ៗនៃមន្ទីរពិសោធន៍ក្រិតតាមខ្នាត បន្ទប់សម្អាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឈុតម៉ែត្រវិទ្យាអវកាស បដិវត្តន៍ស្ងាត់មួយកំពុងដំណើរការ។ វាមិនត្រូវបានជំរុញដោយកម្មវិធី ឬឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាតែម្នាក់ឯងនោះទេ—ប៉ុន្តែដោយសម្ភារៈដែលបង្កើតជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការវាស់វែងដោយខ្លួនឯង។ នៅជួរមុខនៃការផ្លាស់ប្តូរនេះគឺឧបករណ៍វាស់សេរ៉ាមិចកម្រិតខ្ពស់ រួមទាំងបន្ទាត់ត្រង់ខ្យល់សេរ៉ាមិចដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំង និងបំពង់ស៊ីលីកុន-កាបូអ៊ីដ (Si-SiC) ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងរឹងមាំ។ ទាំងនេះមិនមែនគ្រាន់តែជាឧបករណ៍នោះទេ។ ពួកវាជាកត្តាជំរុញនៃយុគសម័យថ្មីមួយដែលស្ថេរភាព ការធ្វើម្តងទៀត និងអព្យាក្រឹតភាពកម្ដៅមិនអាចចរចាបាន។

អស់រយៈពេលជាងកន្លះសតវត្សរ៍មកហើយ ថ្មក្រានីតខ្មៅបានគ្របដណ្ដប់លើរង្វាស់ម៉ែត្រភាពជាក់លាក់។ ការសើមធម្មជាតិរបស់វា ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងភាពរាបស្មើដ៏ល្អឥតខ្ចោះបានធ្វើឱ្យវាក្លាយជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់បន្ទះផ្ទៃ ការ៉េ និងគែមត្រង់។ យ៉ាងណាក៏ដោយ នៅពេលដែលឧស្សាហកម្មជំរុញឱ្យមានការអត់ធ្មត់ក្នុងកម្រិតអនុមីក្រូ និងសូម្បីតែណាណូម៉ែត្រ ជាពិសេសនៅក្នុងលីតូក្រាហ្វីស៊ីមីកុងដុកទ្រី អុបទិកអវកាស និងការគណនាកង់ទិច ដែនកំណត់របស់ថ្មក្រានីតកាន់តែច្បាស់ឡើងៗ។ វាធ្ងន់ ងាយនឹងរងការបំផ្លាញមីក្រូក្រោមការប៉ះទង្គិចម្តងហើយម្តងទៀត ហើយទោះបីជាមានកេរ្តិ៍ឈ្មោះល្អក៏ដោយ នៅតែបង្ហាញពីការរំកិលរយៈពេលវែងបន្តិចបន្តួចក្រោមបន្ទុក ឬការប្រែប្រួលបរិស្ថាន។

សូមណែនាំសេរ៉ាមិចវិស្វកម្ម៖ មិនមែនជាសេរ៉ាមិចផុយស្រួយដូចការស្រមើស្រមៃប្រចាំថ្ងៃនោះទេ ប៉ុន្តែជាសម្ភារៈក្រាស់ ដូចគ្នា និងមានដំណើរការខ្ពស់ ដែលត្រូវបានក្លែងធ្វើក្រោមកំដៅ និងសម្ពាធខ្លាំង។ ក្នុងចំណោមទាំងនេះ មានថ្នាក់ពីរដែលលេចធ្លោសម្រាប់កម្មវិធីវាស់ស្ទង់៖ អាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (Al₂O₃) និងស៊ីលីកុនកាបៃដែលភ្ជាប់ដោយប្រតិកម្ម (Si-SiC)។ ខណៈពេលដែលទាំងពីរផ្តល់នូវការកែលម្អគួរឱ្យកត់សម្គាល់ជាងវត្ថុធាតុដើមប្រពៃណី ពួកវាបម្រើតួនាទីផ្សេងៗគ្នា - ហើយរួមគ្នា ពួកវាតំណាងឱ្យគែមទំនើបនៃអ្វីដែលអាចធ្វើទៅបាននៅក្នុងវាស់ស្ទង់វិមាត្រ។

ជាឧទាហរណ៍ សូមយកបន្ទាត់ត្រង់ខ្យល់សេរ៉ាមិច។ ឧបករណ៍នេះត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រើជាមួយដំណាក់កាលដែលមានខ្យល់ ឬឧបករណ៍វាស់ស្ទង់អុបទិក ទាមទារភាពត្រង់ស្ទើរតែល្អឥតខ្ចោះ ម៉ាស់អប្បបរមា និងសូន្យនៃការរសាត់កម្ដៅ។បន្ទាត់​សេរ៉ាមិច— ត្រូវបាន​ផលិត​ឲ្យ​មាន​ភាព​រាបស្មើ និង​ត្រង់​ក្នុង​រង្វង់ ±0.5 µm លើ 500 mm និង​ប៉ូលា​ឲ្យ​បាន​ត្រឹម​ត្រូវ​តាម​ភាព​រដុប​នៃ​ផ្ទៃ​ក្រោម Ra 0.02 µm—ផ្ដល់​នូវ​ភាព​នោះ​យ៉ាង​ពិតប្រាកដ។ ដង់ស៊ីតេ​ទាប​របស់​វា (~3.6 g/cm³) កាត់​បន្ថយ​និចលភាព​ក្នុង​ប្រព័ន្ធ​វាស់​ស្ទង់​ថាមវន្ត ខណៈ​ដែល​លក្ខណៈ​មិន​មែន​ម៉ាញេទិក និង​មិន​ដឹកនាំ​របស់​វា​លុប​បំបាត់​ការ​ជ្រៀតជ្រែក​ក្នុង​បរិស្ថាន​អេឡិចត្រូនិក ឬ​ម៉ាញេទិក​ដែល​ងាយ​រង​គ្រោះ។ នៅ​ក្នុង​ឧបករណ៍​ត្រួតពិនិត្យ wafer ឬ​ការ​រៀបចំ​ក្រិត​តាម​ដាន​ឡាស៊ែរ ដែល​សូម្បី​តែ​ធ្នូ​មួយ​មីក្រូន​ក៏​អាច​ធ្វើ​ឲ្យ​លទ្ធផល​មិន​ច្បាស់លាស់​ដែរ បន្ទាត់​ត្រង់​ខ្យល់​សេរ៉ាមិច​ផ្ដល់​នូវ​ឯកសារ​យោង​ដែល​មាន​ស្ថេរភាព និង​អសកម្ម​ដែល​នៅ​តែ​ពិត​នៅ​ទូទាំង​ការប្រែប្រួល​សីតុណ្ហភាព និង​វដ្ត​ប្រតិបត្តិការ។

ប៉ុន្តែនៅពេលដែលភាពរឹង និងចរន្តកំដៅចុងក្រោយត្រូវបានទាមទារ — ដូចជានៅក្នុងការតម្រឹមកញ្ចក់តេឡេស្កុបអវកាស ឬការវាស់វែងប្រហោងឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ — វិស្វករងាកទៅរកសមាសធាតុរាងការ៉េដែលមានរាងស្របគ្នា និងស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ្រាត (Si-SiC) ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ Si-SiC គឺជាវត្ថុធាតុរឹងបំផុតមួយក្នុងចំណោមវត្ថុធាតុដែលគេស្គាល់ ដោយម៉ូឌុល Young លើសពី 400 GPa — ច្រើនជាងបីដងនៃដែកថែប — និងចរន្តកំដៅប្រកួតប្រជែងនឹងអាលុយមីញ៉ូម។ អ្វីដែលសំខាន់នោះ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) របស់វាអាចត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្គូផ្គងនឹងវ៉ែនតាអុបទិក ឬបន្ទះស៊ីលីកុន ដែលអាចឱ្យមានការពង្រីកឌីផេរ៉ង់ស្យែលជិតសូន្យនៅក្នុងការផ្គុំកូនកាត់។ ការ៉េ Si-SiC ដែលប្រើជាឯកសារយោងមេនៅក្នុងឧបករណ៍លីចូក្រាហ្វី EUV នឹងមិនត្រឹមតែរក្សាទម្រង់របស់វាប៉ុណ្ណោះទេ — វានឹងទប់ទល់នឹងការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយពីកំដៅ ឬរំញ័រក្នុងតំបន់។

អ្វីដែលធ្វើឱ្យសមិទ្ធផលទាំងនេះអាចធ្វើទៅបានមិនត្រឹមតែជាសម្ភារៈប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ជាជំនាញនៃការផលិតឧបករណ៍វាស់សេរ៉ាមិចផងដែរ។ ឧទាហរណ៍ ការកែច្នៃ Si-SiC ដោយភាពជាក់លាក់ តម្រូវឱ្យមានកង់កិនពេជ្រ វេទិកា CNC អនុមីក្រូ និងដំណើរការកិនច្រើនដំណាក់កាល ដែលធ្វើឡើងក្នុងបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព។ សូម្បីតែភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់តិចតួចពីការដុតមិនត្រឹមត្រូវក៏អាចនាំឱ្យមានការខូចទ្រង់ទ្រាយក្រោយការកែច្នៃ។ នោះហើយជាមូលហេតុដែលមានតែក្រុមហ៊ុនផលិតសកលមួយចំនួនតូចប៉ុណ្ណោះដែលរួមបញ្ចូលការសំយោគសម្ភារៈ ការបង្កើតភាពជាក់លាក់ និងរង្វាស់ចុងក្រោយនៅក្រោមដំបូលតែមួយ - សមត្ថភាពដែលបំបែកអ្នកផលិតកម្រិតរង្វាស់ពិតប្រាកដពីអ្នកផ្គត់ផ្គង់សេរ៉ាមិចទូទៅ។

នៅក្រុមហ៊ុន ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ការរួមបញ្ចូលគ្នាបញ្ឈរនេះគឺជាចំណុចស្នូលនៃបេសកកម្មរបស់យើង។ ឧបករណ៍វាស់សេរ៉ាមិចរបស់យើង — រួមទាំងម៉ូដែលបន្ទាត់ត្រង់ខ្យល់សេរ៉ាមិចដែលមានវិញ្ញាបនបត្រ DIN 874 ថ្នាក់ទី AA និងវត្ថុបុរាណរាងប៉ារ៉ាឡែលស៊ីលីកុន-កាបូអ៊ីដ (Si-Si-C) ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងវត្ថុបុរាណរាងការ៉េដែលអាចតាមដានបានតាមស្តង់ដារ PTB និង NIST — ត្រូវបានផលិតនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 7 ដោយប្រើពិធីការ sintering និង finishing ដែលមានកម្មសិទ្ធិ។ សមាសធាតុនីមួយៗឆ្លងកាត់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ interferometric ពេញលេញ ការផ្ទៀងផ្ទាត់ CMM នៃការអត់ឱនធរណីមាត្រ (ភាពរាបស្មើ ភាពស្របគ្នា ការកាត់កែង) និងការធ្វើតេស្តភាពសុចរិតនៃផ្ទៃមុនពេលដឹកជញ្ជូន។ លទ្ធផលគឺជាវត្ថុបុរាណថ្នាក់យោងដែលមិនត្រឹមតែបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសប៉ុណ្ណោះទេ — វាលើសពីពួកវាជាប់លាប់នៅទូទាំងបាច់។

តម្រូវការសម្រាប់ដំណើរការបែបនេះកំពុងកើនឡើង។ នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ប្រព័ន្ធ EUV និងប្រព័ន្ធលីចូក្រាហ្វីដែលមាន NA ខ្ពស់តម្រូវឱ្យមានរចនាសម្ព័ន្ធតម្រឹមដែលមានស្ថេរភាពក្នុងរង្វង់រាប់សិបណាណូម៉ែត្រលើចម្ងាយមាត្រដ្ឋានម៉ែត្រ - មិនអាចទៅរួចទេបើគ្មានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាខាងកម្ដៅ-មេកានិចរបស់ Si-SiC។ នៅក្នុងវិស័យអាកាសចរណ៍ កៅអីអុបទិកផ្កាយរណបដែលផលិតជាមួយនឹងឯកសារយោងសេរ៉ាមិចធានានូវស្ថេរភាពនៅលើគន្លងទោះបីជាមានវដ្តកម្ដៅខ្លាំងក៏ដោយ។ សូម្បីតែនៅក្នុងវិស័យដែលកំពុងរីកចម្រើនដូចជាការរកឃើញរលកទំនាញ ឬការអភិវឌ្ឍនាឡិកាអាតូមិក ដែលស្ថេរភាពកម្រិតភីកូម៉ែត្រមានសារៈសំខាន់ វត្ថុបុរាណវាស់ស្ទង់សេរ៉ាមិច និង Si-SiC កំពុងក្លាយជារឿងដែលមិនអាចខ្វះបាន។

សំខាន់ជាងនេះទៅទៀត ឧបករណ៍ទាំងនេះក៏ដោះស្រាយបញ្ហានិរន្តរភាព និងថ្លៃដើមសរុបនៃភាពជាម្ចាស់ផងដែរ។ ខណៈពេលដែលការវិនិយោគដំបូងលើបំពង់ស៊ីលីកុន-កាបូអ៊ីតស្របគ្នាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អាចលើសពីអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ថ្មក្រានីត អាយុកាលសេវាកម្មរបស់វាអាចមានរយៈពេលយូរជាង 5-10 ដងនៅក្នុងបរិស្ថានដែលមានការប្រើប្រាស់ខ្ពស់នោះទេ។ វាមិនតម្រូវឱ្យមានការលាបប្រេង ធន់នឹងសារធាតុរំលាយ និងប្លាស្មាទូទៅទាំងអស់ ហើយមិនត្រូវការការក្រិតតាមខ្នាតឡើងវិញដោយសារតែការស្រូបយកសំណើមនោះទេ—មិនដូចដែកវណ្ណះ ឬសូម្បីតែថ្មក្រានីតមួយចំនួននោះទេ។ សម្រាប់អ្នកគ្រប់គ្រងគុណភាពដែលដំណើរការក្រោមស្តង់ដារ AS9100, ISO 13485 ឬ SEMI ភាពជឿជាក់នេះបកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅជាពេលវេលារងចាំដែលថយចុះ ការរកឃើញសវនកម្មតិចជាងមុន និងទំនុកចិត្តរបស់អតិថិជនកាន់តែច្រើន។

លើសពីនេះ ភាពឆើតឆាយខាងសោភ័ណភាព និងមុខងាររបស់ឧបករណ៍ទាំងនេះមិនគួរត្រូវបានមើលរំលងឡើយ។ បន្ទះដែករាងការ៉េ Si-SiC រលោងភ្លឺរលោងដូចលោហៈ ប៉ុន្តែមានទម្ងន់ស្រាលជាងដែកថែប។ បន្ទាត់ត្រង់ខ្យល់សេរ៉ាមិចមានអារម្មណ៍រឹងមាំ ប៉ុន្តែអាចលើកបានយ៉ាងងាយស្រួល — ល្អសម្រាប់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ដោយដៃនៅក្នុងកន្លែងចង្អៀត។ គុណសម្បត្តិទាំងនេះដែលផ្តោតលើមនុស្សមានសារៈសំខាន់នៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ក្នុងពិភពពិត ដែលភាពងាយស្រួលនៃការប្រើប្រាស់ និងភាពងាយស្រួលនៃការប្រើប្រាស់មានឥទ្ធិពលលើលំហូរការងារប្រចាំថ្ងៃ។

ដូច្នេះ តើឧបករណ៍វាស់សេរ៉ាមិចកំពុងកំណត់និយមន័យឡើងវិញនូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុតមែនទេ? ចម្លើយស្ថិតនៅក្នុងទិន្នន័យ - និងនៅក្នុងបញ្ជីក្រុមហ៊ុនឈានមុខគេលើពិភពលោកដែលកំពុងកើនឡើង ដែលឥឡូវនេះកំណត់ពួកវាជាស្តង់ដារ។ ចាប់ពីវិទ្យាស្ថានវាស់វែងជាតិដែលផ្ទៀងផ្ទាត់ស្តង់ដារប្រវែងជំនាន់ក្រោយ រហូតដល់អ្នកផ្គត់ផ្គង់លំដាប់ទី 1 ដែលបញ្ជាក់ពីសមាសធាតុប្រព័ន្ធបើកបររថយន្ត EV ការផ្លាស់ប្តូរគឺច្បាស់លាស់៖ នៅពេលដែលភាពមិនប្រាកដប្រជាត្រូវតែបង្រួមអប្បបរមា វិស្វករទុកចិត្តលើសេរ៉ាមិចវិស្វកម្ម។

ហើយនៅពេលដែលឧស្សាហកម្មបន្តដំណើរទៅមុខឥតឈប់ឈរឆ្ពោះទៅរកការគ្រប់គ្រងមាត្រដ្ឋានអាតូម ការពិតមួយក្លាយជាមិនអាចប្រកែកបាន៖ អនាគតនៃការវាស់វែងនឹងមិនត្រូវបានឆ្លាក់ចេញពីថ្ម ឬចាក់ក្នុងលោហៈទេ។ វានឹងត្រូវបានដុត កិន និងប៉ូលាក្នុងសេរ៉ាមិច និងស៊ីលីកុនកាប៊ីត។

ក្រុមហ៊ុន ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) គឺជាអ្នកច្នៃប្រឌិតដែលត្រូវបានទទួលស្គាល់ជាសកលក្នុងដំណោះស្រាយម៉ែត្រវិទ្យាសេរ៉ាមិច និងស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ដោយមានជំនាញខាងឧបករណ៍វាស់សេរ៉ាមិច បន្ទាត់ត្រង់ខ្យល់សេរ៉ាមិច និងសមាសធាតុស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (Si-SiC) ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ក្រុមហ៊ុន ZHHIMG ផ្តល់ជូននូវវត្ថុបុរាណកម្រិតមន្ទីរពិសោធន៍ដែលមានវិញ្ញាបនបត្រពេញលេញសម្រាប់កម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រ អាកាសចរណ៍ ការពារជាតិ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ។ ដោយមានការគាំទ្រពីវិញ្ញាបនបត្រ ISO 9001, ISO 14001 និង CE ផលិតផលរបស់យើងត្រូវបានជឿទុកចិត្តដោយសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាឈានមុខគេនៅទូទាំងពិភពលោក។ ស្វែងយល់ពីផលប័ត្រម៉ែត្រវិទ្យាកម្រិតខ្ពស់របស់យើងនៅ...www.zhhimg.com.