ការអនុវត្តល្អបំផុតសម្រាប់ការថែរក្សាវេទិកាថ្មក្រានីត: វិធីសាស្រ្តដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវរយៈពេលវែង។

វេទិកាថ្មក្រានីត ជាឧបករណ៍យោងសម្រាប់ការវាស់វែង និងដំណើរការច្បាស់លាស់ ការថែទាំភាពត្រឹមត្រូវរបស់វាប៉ះពាល់ដល់គុណភាពផលិតកម្មដោយផ្ទាល់។ ខាងក្រោមនេះផ្តល់នូវផែនការថែទាំជាប្រព័ន្ធដែលគ្របដណ្តប់លើការគ្រប់គ្រងបរិស្ថាន ការថែទាំប្រចាំថ្ងៃ និងការក្រិតតាមខ្នាតវិជ្ជាជីវៈ ដើម្បីធានាថាវេទិកានេះរក្សាភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាណូម៉ែត្រសម្រាប់រយៈពេលដ៏យូរមួយ។
1. ការគ្រប់គ្រងបរិស្ថាន៖ បង្កើតរបាំងការពារយ៉ាងជាក់លាក់
ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព និងសំណើម
សីតុណ្ហភាពបរិយាកាសការងារត្រូវតែមានស្ថេរភាពនៅ 20 ± 1 ℃។ រាល់ការប្រែប្រួល 1 ℃ នឹងបណ្តាលឱ្យខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីតនៅ 0.5-1μm/m ។ ប្រព័ន្ធសីតុណ្ហភាពថេរអាចត្រូវបានដំឡើងនៅក្នុងសិក្ខាសាលាដើម្បីការពារព្រីម៉ាស៊ីនត្រជាក់ពីការផ្លុំដោយផ្ទាល់ទៅលើវេទិកា។
សំណើមគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងចន្លោះពី 40% ទៅ 60% ។ សំណើមលើសអាចបណ្តាលឱ្យច្រេះនៅលើផ្នែកដែកបានយ៉ាងងាយស្រួល ខណៈពេលដែលសំណើមទាបពេកអាចនាំឱ្យមានការរំខានដល់ចរន្តអគ្គិសនីឋិតិវន្តក្នុងការវាស់វែង។
ភាពឯកោនៃរំញ័រ
វេទិកាគួរតែត្រូវបានរក្សាទុកឱ្យឆ្ងាយពីប្រភពរំញ័រដូចជាម៉ាស៊ីនបោះត្រា និងម៉ាស៊ីនកិន។ វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យរក្សាចម្ងាយលើសពី 3 ម៉ែត្រពីឧបករណ៍រំញ័រ។
ប្រសិនបើរំញ័រមិនអាចជៀសវាងបាន ឧបករណ៍ស្រូបទាញស្រូបទាញខ្យល់អាចត្រូវបានដំឡើងនៅផ្នែកខាងក្រោមនៃវេទិកា ដើម្បីកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃរំញ័របរិស្ថានលើភាពរាបស្មើនៃវេទិកា (ដែលអាចកាត់បន្ថយរំញ័រខាងក្រៅបានច្រើនជាង 80%)។
2. ការថែទាំប្រចាំថ្ងៃ៖ ការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងល្អិតល្អន់ពីការសម្អាតរហូតដល់ការការពារ
លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃការសម្អាតផ្ទៃ
ការដកធូលីចេញ៖ ជូតផ្ទៃដោយស្បែកសត្វក្តាន់ ឬក្រណាត់ដែលគ្មានជាតិសរសៃក្នុងទិសដៅដូចគ្នាជារៀងរាល់ថ្ងៃ ដើម្បីការពារកុំឱ្យភាគល្អិតធូលី (≥5μm) ពីការកោសវេទិកា។ ស្នាមប្រឡាក់រឹងរូសអាចត្រូវបានជូតដោយថ្នមៗជាមួយនឹងអេតាណុលដែលគ្មានជាតិទឹក (ភាពបរិសុទ្ធ≥99.7%)។ សារធាតុរំលាយខ្លាំងដូចជាអាសេតូនមិនត្រូវប្រើទេ។
Degreasing៖ ប្រសិនបើវាប៉ះនឹងស្នាមប្រឡាក់ប្រេង សូមជូតវាជាមួយនឹងសារធាតុសម្អាតអព្យាក្រឹតដែលពនឺ បន្ទាប់មកលាងជមែះជាមួយនឹងទឹក deionized និងខ្យល់ឱ្យស្ងួតដើម្បីការពារកុំឱ្យប្រេងសារធាតុរ៉ែជ្រាបចូលទៅក្នុងរន្ធញើសតូចៗនៃវេទិកា។
ការផ្ទុកនិងការការពារការប៉ះទង្គិច
សមត្ថភាពផ្ទុកនៃវេទិកាគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុង 70% នៃបន្ទុកដែលបានវាយតម្លៃ (ឧទាហរណ៍សម្រាប់វេទិកា 1000 គីឡូក្រាមវាត្រូវបានណែនាំថាបន្ទុកគឺ≤700kg) ដើម្បីជៀសវាងការខូចទ្រង់ទ្រាយអចិន្រ្តៃយ៍ដែលបណ្តាលមកពីការផ្ទុកលើសចំណុះ។
វាត្រូវបានហាមឃាត់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងដើម្បីធ្វើកូដកម្ម workpieces នៅលើវេទិកា។ នៅពេលកាន់ឧបករណ៍ សូមពាក់មដទន់ដើម្បីការពារវត្ថុមុតស្រួចពីការកោសផ្ទៃ (ស្នាមប្រេះដែលមានជម្រៅលើសពី 20μm នឹងប៉ះពាល់ដល់ការវាស់វែងនៃផ្លូវពន្លឺដែលឆ្លុះបញ្ចាំង)។
3. ការក្រិតតាមខ្នាតវិជ្ជាជីវៈ៖ ស្នូលនៃការរក្សាភាពត្រឹមត្រូវតាមបែបវិទ្យាសាស្ត្រ
ការកំណត់វដ្តនៃការក្រិតតាមខ្នាត
សេណារីយ៉ូនៃការប្រើប្រាស់ធម្មតា៖ ធ្វើការក្រិតតាមខ្នាតម្តងរៀងរាល់ត្រីមាស ហើយប្រើឡាស៊ែរ interferometer ដើម្បីរកមើលភាពរាបស្មើ (ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវ ±0.5μm/m)។
ការប្រើប្រាស់ប្រេកង់ខ្ពស់ ឬបរិស្ថានអាក្រក់៖ ការក្រិតតាមខ្នាតប្រចាំខែ ដោយផ្តោតលើការត្រួតពិនិត្យតំបន់ដែលងាយនឹងសីតុណ្ហភាព (ដូចជាគែមនៃវេទិកានៅជិតប្រភពកំដៅ)។

ដំណើរការក្រោយការក្រិតតាមខ្នាត
ប្រសិនបើគម្លាតនៃភាពរាបស្មើត្រូវបានរកឃើញ (ដូចជា > ±1μm/m) វាត្រូវតែត្រូវបានដី និងជួសជុលដោយអ្នកបច្ចេកទេសដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈដោយប្រើម្សៅមីក្រូ W1.5។ ការកិនដោយខ្លួនឯងជាមួយក្រដាសខ្សាច់ត្រូវបានហាមឃាត់យ៉ាងតឹងរ៉ឹង។
បន្ទាប់ពីការក្រិតតាមខ្នាត ទិន្នន័យគួរតែត្រូវបានកត់ត្រា និងទុកក្នុងប័ណ្ណសារ ហើយខ្សែកោងកាត់បន្ថយភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកាគួរតែត្រូវបានបង្កើតឡើង ដើម្បីទស្សន៍ទាយតម្រូវការថែទាំជាមុន។
4. ការផ្ទុក និងការដឹកជញ្ជូន៖ ជៀសវាងការបាត់បង់ភាពជាក់លាក់ដែលលាក់កំបាំង
ចំណុចសំខាន់សម្រាប់ការផ្ទុករយៈពេលវែង
នៅពេលរក្សាទុកវាគួរតែត្រូវបានគ្របដោយគម្របការពារសំណើមនិងធូលី។ បាតគួរតែត្រូវបានគាំទ្រដោយបីចំណុច (ចំណុចគាំទ្រមានទីតាំងនៅ 2/9 នៃប្រវែងនៃវេទិកា) ដើម្បីការពារការខូចទ្រង់ទ្រាយពត់ដែលបណ្តាលមកពីទំនាញ (វេទិកា 1 ម៉ែត្រអាចធ្លាក់ចុះ 0.3μm ដោយសារតែការគាំទ្រចំណុចតែមួយរយៈពេលវែង) ។
ផ្លាស់ទីទីតាំងនៃចំណុចគាំទ្រវេទិកាជាទៀងទាត់ (ប្រចាំខែ) ដើម្បីជៀសវាងសម្ពាធក្នុងស្រុករយៈពេលវែង។
ផែនការការពារការដឹកជញ្ជូន
ការដឹកជញ្ជូនតាមចម្ងាយខ្លី៖ រុំជាមួយស្នោស្រូបយកឆក់ ជួសជុលក្នុងស៊ុមរឹង និងរក្សាការបង្កើនល្បឿនក្នុងរង្វង់ 2 ក្រាម។
ការដឹកជញ្ជូនផ្លូវឆ្ងាយ៖ វាត្រូវតែខ្ចប់ដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងបំពេញដោយអាសូតស្ងួត។ បន្ទាប់ពីមកដល់ វាគួរតែត្រូវបានទុកឱ្យឈររយៈពេល 24 ម៉ោងរហូតដល់សីតុណ្ហភាពឡើងដល់លំនឹង មុននឹងពន្លាចេញ ដើម្បីការពារកុំឱ្យទឹក condensation ប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវ។
5. ការទស្សន៍ទាយកំហុស៖ បច្ចេកទេសសម្រាប់កំណត់បញ្ហាដំបូង
ការត្រួតពិនិត្យមើលឃើញ៖ សង្កេតផ្ទៃខាងលើជាទៀងទាត់ដោយប្រើកែវពង្រីក 40x។ ប្រសិនបើការកោសជាបន្តបន្ទាប់ ឬការថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃភាពរលោងត្រូវបានរកឃើញ វាអាចបង្ហាញពីការធ្លាក់ចុះនៃភាពត្រឹមត្រូវ។
ការចាប់សំឡេង៖ ប៉ះវេទិកាថ្នមៗ។ ប្រសិនបើសំឡេងស្អក (ជាធម្មតាវាគួរតែជាសំឡេងច្បាស់) វាអាចមានស្នាមប្រេះតូចៗនៅខាងក្នុង។ ឈប់ប្រើវាភ្លាមសម្រាប់ការរកឃើញ។

តាមរយៈប្រព័ន្ធថែទាំនេះ វេទិកាថ្មក្រានីតZHHIMG®អាចរក្សាបាននូវភាពរាបស្មើនៃ±1μm/m សម្រាប់រយៈពេល 10 ឆ្នាំ ដែលយូរជាងបីដងជាងអាយុកាលច្បាស់លាស់នៃវេទិកាដែលមិនត្រូវបានថែទាំត្រឹមត្រូវ។ ការអនុវត្តបានបង្ហាញថាបន្ទាប់ពីរោងចក្រ semiconductor ជាក់លាក់មួយបានទទួលយកដំណោះស្រាយនេះ ភាពញឹកញាប់នៃការក្រិតតាមខ្នាតវេទិកាត្រូវបានកាត់បន្ថយ 50% ហើយតម្លៃថែទាំប្រចាំឆ្នាំត្រូវបានរក្សាទុកជាង 150,000 យន់។