នៅក្នុងពិភពនៃការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ — ជាកន្លែងដែលការអត់ធ្មត់រួញតូចជាង 5 មីក្រូន និងការបញ្ចប់ផ្ទៃជិតដល់គុណភាពអុបទិក — ឧបករណ៍ដែលយើងពឹងផ្អែកលើត្រូវតែវិវត្តហួសពីប្រពៃណី។ អស់រយៈពេលជាច្រើនទសវត្សរ៍មកហើយ ដែកថែប និងថ្មក្រានីតបានគ្រប់គ្រងកៅអីវាស់ស្ទង់។ ប៉ុន្តែនៅពេលដែលឧស្សាហកម្មដូចជាឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលចរន្តអគ្គិសនី អុបទិកអវកាស និងឧបករណ៍មីក្រូវេជ្ជសាស្ត្របានរុញច្រានចូលទៅក្នុងអាណាចក្រដែលសូម្បីតែការរសាត់កម្ដៅ ឬការពាក់មីក្រូទស្សន៍ក៏នាំមកនូវកំហុសដែលមិនអាចទទួលយកបាន ឧបករណ៍យោងថ្នាក់ថ្មីមួយកំពុងលេចចេញជារូបរាង៖ ឧបករណ៍ទាំងនោះមិនមែនផលិតពីលោហៈ ឬថ្មទេ ប៉ុន្តែមកពីសេរ៉ាមិចបច្ចេកទេសកម្រិតខ្ពស់។
នៅ ZHHIMG យើងបានផ្លាស់ប្តូរលើសពីការផ្តល់ជូនធម្មតាបន្ទាត់ត្រង់សេរ៉ាមិចឬផលិតផលបន្ទាត់ការ៉េសេរ៉ាមិច។ យើងកំពុងកំណត់ឡើងវិញនូវអ្វីដែលគែមត្រង់អាចជា — ដោយការរួមបញ្ចូលគ្នានូវសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំងជាមួយនឹងការរចនាទំនើបៗ រួមទាំងបន្ទាត់អណ្តែតខ្យល់សេរ៉ាមិចផ្ទាល់ខ្លួនដ៏ទំនើបរបស់យើង ដែលជាដំណោះស្រាយមួយដែលលុបបំបាត់ទំនាក់ទំនងមេកានិចទាំងស្រុង ខណៈពេលដែលផ្តល់នូវភាពអាចធ្វើម្តងទៀតកម្រិតណាណូម៉ែត្រ។
ហេតុអ្វីបានជាសេរ៉ាមិច? ចម្លើយចាប់ផ្តើមនៅកម្រិតម៉ូលេគុល។ មិនដូចដែកថែប—ដែលពង្រីកយ៉ាងខ្លាំងជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាព—ឬថ្មក្រានីត—ដែលទោះបីជាវាមានស្ថេរភាពក៏ដោយ ក៏នៅតែមានរន្ធញើស និងមិនដូចគ្នា—សេរ៉ាមិចដែលបានរចនាឡើងដូចជាអាលុយមីញ៉ូមដែលពង្រឹងដោយហ្សីកូញ៉ា (ZTA) និងស៊ីលីកុននីទ្រីតផ្តល់នូវរន្ធញើសស្ទើរតែសូន្យ ភាពរឹងពិសេស (1400–1800 HV) និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបរហូតដល់ 3–4 µm/m·°C។ នេះមានន័យថា គែមត្រង់សេរ៉ាមិចពី ZHHIMG រក្សាបាននូវធរណីមាត្ររបស់វាឆ្លងកាត់ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពដែលនឹងបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយឧបករណ៍ធម្មតាដោយមីក្រូជាច្រើន។
ប៉ុន្តែសម្ភារៈតែមួយមុខមិនគ្រប់គ្រាន់ទេ។ អ្វីដែលធ្វើឱ្យបន្ទាត់សេរ៉ាមិចរបស់យើងលេចធ្លោពិតប្រាកដគឺភាពជាក់លាក់នៃការផលិតរបស់វា។ ដោយប្រើការកិនពេជ្រ ការប៉ូលារន្ធក្រោម និងការផ្ទៀងផ្ទាត់អន្តរកម្មឡាស៊ែរនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត ISO Class 5 យើងសម្រេចបាននូវការអត់ធ្មត់ត្រង់បានល្អជាង 0.8 µm លើសពី 500 mm—ត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់មិនត្រឹមតែនៅពេលដឹកជញ្ជូនប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងបានកត់ត្រានៅក្នុងរបាយការណ៍ក្រិតតាមខ្នាតពេញលេញដែលអាចតាមដានតាមស្តង់ដារ NIST និង PTB។ រាល់បន្ទាត់ការ៉េសេរ៉ាមិចឆ្លងកាត់ការធ្វើតេស្តកាត់កែងតាមរយៈអូតូកូលីម៉ាទិចអេឡិចត្រូនិច ដោយធានាថាមុំត្រូវបានរក្សាឱ្យនៅត្រឹម 1 អ័ក្ស-វិនាទី (គម្លាត ≈0.5 µm នៅ 100 mm)។
ទាំងនេះមិនមែនជាលក្ខណៈបច្ចេកទេសទ្រឹស្តីទេ។ ពួកវាជាការពិតនៃប្រតិបត្តិការសម្រាប់អតិថិជនដែលលែងមានលទ្ធភាពសម្របសម្រួលទៀតហើយ។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់គ្រឿងបន្លាស់លីចូក្រាហ្វី EUV ឈានមុខគេមួយឥឡូវនេះប្រើប្រាស់បន្ទាត់ត្រង់សេរ៉ាមិចរបស់យើងសម្រាប់តែការតម្រឹមស៊ុមទ្រទ្រង់កញ្ចក់ប៉ុណ្ណោះ។ អ្នកវាស់ស្ទង់នាំមុខរបស់ពួកគេបានប្រាប់យើងថា "បន្ទាត់ដែកបានរួញក្នុងអំឡុងពេលវដ្តនៃការប៉ះពាល់យូរ។ ថ្មក្រានីតបានរើសយកភាគល្អិត។ កំណែសេរ៉ាមិច? វាមានស្ថេរភាពរយៈពេល 18 ខែ - មិនចាំបាច់ក្រិតតាមខ្នាតឡើងវិញទេ"។
យ៉ាងណាក៏ដោយ សូម្បីតែធរណីមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះក៏អាចរងការប៉ះពាល់ដោយការប៉ះទង្គិចគ្នាដែរ។ អូសបន្ទាត់មួយឆ្លងកាត់ផ្ទៃមួយ ហើយអ្នកប្រឈមនឹងហានិភ័យនៃការកោសតូចៗ ការជ្រៀតជ្រែកនៃខ្សែភាពយន្តប្រេង ឬការខូចទ្រង់ទ្រាយយឺត ជាពិសេសលើលោហៈទន់ ឬអុបទិកប៉ូលា។ នោះហើយជាកន្លែងដែលការច្នៃប្រឌិតរបស់ ZHHIMG លោតទៅមុខជាមួយនឹងបន្ទាត់អណ្តែតខ្យល់ Custom Ceramic។
នេះមិនមែនគ្រាន់តែជាគែមត្រង់សេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធខួងនៅក្នុងនោះទេ។ វាជាប្រព័ន្ធខ្យល់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងពេញលេញ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដោយប្រើឌីណាមិកសារធាតុរាវគណនា ដើម្បីផ្តល់ចរន្តខ្យល់ឯកសណ្ឋាន និងរាបស្មើនៅទូទាំងប្រវែងបន្ទាត់។ នៅពេលដែលដាក់សម្ពាធដោយខ្យល់ស្អាត និងស្ងួត (ឬអាសូតនៅក្នុងបរិស្ថានងាយប្រតិកម្ម) បន្ទាត់នឹងអណ្តែត 5–10 មីក្រូនពីលើស្នាដៃ - លុបបំបាត់ការប៉ះរាងកាយ ខណៈពេលដែលរក្សាការតម្រឹមដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ លទ្ធផល? ការវាស់វែងមិនប៉ះពិតប្រាកដសម្រាប់ភាពរាបស្មើ ភាពត្រង់ ឬការផ្ទៀងផ្ទាត់កម្ពស់ជំហាន ជាមួយនឹងភាពអាចធ្វើម្តងទៀតបានរហូតដល់ ±0.2 µm។
មន្ទីរពិសោធន៍កុំព្យូទ័រកង់ទិចមួយនៅប្រទេសស្វីសឥឡូវនេះប្រើប្រាស់បន្ទាត់អណ្តែតខ្យល់ Custom Ceramic ទំហំ 600 មីលីម៉ែត្រ ដើម្បីត្រួតពិនិត្យឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះឈីបដែលមានចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់។ វិស្វករដំណើរការរបស់ពួកគេបានពន្យល់ថា "ការប៉ះណាមួយ - សូម្បីតែជាមួយប៊ិចទន់ - នាំមកនូវភាពតានតឹងដែលផ្លាស់ប្តូរដំណើរការ qubit"។ "បន្ទាត់សេរ៉ាមិចអណ្តែតខ្យល់ផ្តល់ឱ្យយើងនូវឯកសារយោងដែលយើងត្រូវការដោយមិនចាំបាច់ប៉ះផ្នែកនោះទេ។ វាបានក្លាយជាបេសកកម្មដ៏សំខាន់"។
អ្វីដែលធ្វើឱ្យរឿងនេះអាចធ្វើទៅបានគឺការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ពិសេសរបស់ ZHHIMG នៃវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ ម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ និងជំនាញផ្នែកវាស់វែង។ ខណៈពេលដែលអ្នកផ្គត់ផ្គង់ជាច្រើនចាត់ទុកសេរ៉ាមិចជាសមាសធាតុរចនាសម្ព័ន្ធ យើងធ្វើឱ្យពួកវាប្រសើរឡើងជាវត្ថុបុរាណសម្រាប់វាស់វែង។ ការរចនាបន្ទាត់ការ៉េសេរ៉ាមិចរបស់យើងរួមមានគែមដែលមានជ្រុងដើម្បីការពារការប្រេះ ផ្នែកខាងក្រោយដែលបានបញ្ចប់ដោយម៉ាត់ដើម្បីកាត់បន្ថយពន្លឺចាំងក្រោមភ្លើងត្រួតពិនិត្យ និងសញ្ញាសម្គាល់ fiducial ជាជម្រើសសម្រាប់ប្រព័ន្ធចក្ខុវិស័យស្វ័យប្រវត្តិ។ សម្រាប់កម្មវិធីបន្ទប់ស្អាត ផ្ទៃត្រូវបានប៉ូលាដល់ Ra < 0.02 µm ដើម្បីកាត់បន្ថយការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិត។
ហើយដោយសារតែកម្មវិធីនីមួយៗគឺខុសគ្នា យើងមិនជឿលើទំហំតែមួយដែលសមនឹងទាំងអស់នោះទេ។ ត្រូវការគែមត្រង់សេរ៉ាមិចដែលមានឆានែលបូមធូលីដែលបានបង្កប់ដើម្បីកាន់បន្ទះស្តើងៗក្នុងអំឡុងពេលត្រួតពិនិត្យទេ? យើងបានសាងសង់វារួចរាល់ហើយ។ ត្រូវការបន្ទាត់ការ៉េជាមួយនឹងរន្ធឆ្លងកាត់ដែលតម្រឹមទៅនឹងចុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា CMM របស់អ្នក? រួចរាល់។ ចង់បានបន្ទាត់អណ្តែតខ្យល់សេរ៉ាមិចផ្ទាល់ខ្លួនជាមួយនឹងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធរួមបញ្ចូលគ្នា និងមតិកែលម្អកម្រិតឌីជីថលទេ? នោះជាការសាកល្បងបែតារួចហើយជាមួយអតិថិជនអាកាសចរណ៍ Tier-1។
ការទទួលស្គាល់ឧស្សាហកម្មក៏បានកើតឡើងជាបន្តបន្ទាប់។ នៅក្នុងការពិនិត្យឡើងវិញនូវម៉ែត្រវិទ្យាកម្រិតខ្ពស់សកលឆ្នាំ 2025 ក្រុមហ៊ុន ZHHIMG ត្រូវបានលើកឡើងថាជាក្រុមហ៊ុនតែមួយគត់ដែលផ្តល់ជូននូវឧបករណ៍យោងសេរ៉ាមិចដែលមានវិញ្ញាបនបត្រពេញលេញ — រួមទាំងវ៉ារ្យ៉ង់អណ្តែត — ជាមួយនឹងការផ្ទៀងផ្ទាត់ធរណីមាត្រពេញលេញ និងការតាមដានឌីជីថល។ ប៉ុន្តែសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត ការទទួលយកកំពុងបង្កើនល្បឿន៖ ការបញ្ជាទិញបន្ទាត់សេរ៉ាមិចរបស់យើងជាង 60% ឥឡូវនេះបានមកពីឧស្សាហកម្មដែលពីមុនចាត់ទុកថាឧបករណ៍បែបនេះ "ហួសហេតុពេក" — រហូតដល់ពួកគេវាស់ភាពខុសគ្នា។
ក្រុមហ៊ុនចាប់ផ្តើមផលិតឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រមួយដែលផលិតឧបករណ៍ផ្សាំសរសៃប្រសាទបានប្តូរពីដែកថែបទៅជាបន្ទាត់ការ៉េសេរ៉ាមិចរបស់យើង ហើយបានឃើញទិន្នផលឆ្លងកាត់លើកដំបូងរបស់វាកើនឡើង 22%។ អ្នកគ្រប់គ្រងគុណភាពរបស់ពួកគេបាននិយាយថា "ការ៉េចាស់បានបន្សល់ទុកស្នាមតូចៗលើតួទីតានីញ៉ូម។ យើងមិនបានដឹងពីវាទេរហូតដល់យើងប្តូរ។ ឥឡូវនេះ គ្រប់ផ្នែកទាំងអស់ឆ្លងកាត់ការត្រួតពិនិត្យដែលមើលឃើញ និងវិមាត្រនៅពេលសាកល្បងលើកដំបូង"។
ដូច្នេះ នៅពេលអ្នកវាយតម្លៃការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវរង្វាស់ម៉ែត្របន្ទាប់របស់អ្នក សូមសួរខ្លួនឯងថា តើគែមត្រង់បច្ចុប្បន្នរបស់ខ្ញុំកំពុងបន្ថែមភាពមិនប្រាកដប្រជា ឬលុបបំបាត់វាចោល?
ប្រសិនបើដំណើរការរបស់អ្នកដំណើរការនៅគែមនៃភាពអាចរកឃើញបាន ចម្លើយអាចស្ថិតនៅក្នុងសេរ៉ាមិច - មិនមែនជារឿងថ្មីថ្មោងទេ ប៉ុន្តែជាភាពចាំបាច់។ នៅ ZHHIMG យើងមិនត្រឹមតែផលិតឧបករណ៍បន្ទាត់ត្រង់សេរ៉ាមិច បន្ទាត់ការ៉េសេរ៉ាមិច ឬឧបករណ៍គែមត្រង់សេរ៉ាមិចនោះទេ។ យើងរចនាទំនុកចិត្តទៅក្នុងគ្រប់មីក្រូន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ៣១ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៥