បដិវត្តភាពជាក់លាក់ក្នុងការផលិត semiconductor: នៅពេលដែលថ្មក្រានីតជួបនឹងបច្ចេកវិទ្យាមីក្រូ
1.1 ការរកឃើញដែលមិននឹកស្មានដល់ក្នុងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ
យោងតាមរបាយការណ៍ 2023 SEMI International Semiconductor Association, 63% នៃ fabs ទំនើបរបស់ពិភពលោកបានចាប់ផ្តើមប្រើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតជំនួសឱ្យវេទិកាដែកប្រពៃណី។ ថ្មធម្មជាតិនេះ ដែលមានប្រភពចេញពីកំណជាញើស magma ជ្រៅក្នុងផែនដី កំពុងសរសេរឡើងវិញនូវប្រវត្តិនៃការផលិត semiconductor ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តពិសេសរបស់វា៖
អត្ថប្រយោជន៍និចលភាពកម្ដៅ៖ មេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃថ្មក្រានីត 4.5 × 10⁻⁶/℃ គឺត្រឹមតែ 1/5 នៃដែកអ៊ីណុក ហើយស្ថេរភាពវិមាត្រនៃ ± 0.001mm ត្រូវបានរក្សានៅក្នុងការងារបន្តរបស់ម៉ាស៊ីន lithography
លក្ខណៈនៃការបង្អាក់រំញ័រ៖ មេគុណកកិតខាងក្នុងគឺខ្ពស់ជាង 15 ដងនៃដែកវណ្ណះ ដែលមានប្រសិទ្ធភាពស្រូបយកឧបករណ៍មីក្រូរំញ័រ
ធម្មជាតិម៉ាញ៉េទិចសូន្យ៖ លុបបំបាត់ទាំងស្រុងនូវកំហុសម៉ាញេទិកក្នុងការវាស់ឡាស៊ែរ
1.2 ដំណើរ metamorphosis ពីរបស់ខ្ញុំទៅ fab
យកមូលដ្ឋានផលិតកម្មឆ្លាតវៃរបស់ ZHHIMG នៅសានទុងជាឧទាហរណ៍ ដុំថ្មក្រានីតឆៅត្រូវឆ្លងកាត់៖
គ្រឿងម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ជ្រុល៖ មជ្ឈមណ្ឌលម៉ាស៊ីនភ្ជាប់ប្រាំអ័ក្សសម្រាប់រយៈពេល 200 ម៉ោងនៃការកិនបន្ត ភាពរដុបលើផ្ទៃរហូតដល់R0.008μm
ការព្យាបាលភាពចាស់សិប្បនិម្មិត: ការបញ្ចេញភាពតានតឹងធម្មជាតិរយៈពេល 48 ម៉ោងនៅក្នុងសិក្ខាសាលាសីតុណ្ហភាព និងសំណើមថេរ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវស្ថេរភាពនៃផលិតផល 40%
ទីពីរ បំបែកបញ្ហាជាក់លាក់ប្រាំមួយនៃការផលិត semiconductor "ដំណោះស្រាយថ្ម"
2.1 គ្រោងការណ៍កាត់បន្ថយអត្រាការបែកខ្ញែក Wafer
ការបង្ហាញករណី៖ បន្ទាប់ពីក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះឈីបនៅប្រទេសអាឡឺម៉ង់ ទទួលយកវេទិកាថ្មក្រានីតអណ្ដែតឧស្ម័នរបស់យើង៖
| អង្កត់ផ្ចិត wafer | ការកាត់បន្ថយអត្រាបន្ទះឈីប | ការកែលម្អភាពរាបស្មើ |
| 12 អ៊ីញ | 67% | ≤0.001mm |
| 18 អ៊ីញ | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 គ្រោងការណ៍បំបែកភាពត្រឹមត្រូវនៃការតម្រឹម Lithographic
ប្រព័ន្ធទូទាត់សីតុណ្ហភាព៖ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសេរ៉ាមិចដែលបានបង្កប់ ត្រួតពិនិត្យរូបរាងអថេរក្នុងពេលវេលាពិត និងកែតម្រូវដោយស្វ័យប្រវត្តិនូវទំនោរនៃវេទិកា។
ទិន្នន័យដែលបានវាស់វែង៖ នៅក្រោមការប្រែប្រួលនៃ 28 ℃± 5 ℃ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការបង្កប់ប្រែប្រួលតិចជាង 0.12μm
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៤-មីនា-២០២៥