វិធីសាស្រ្តរាវរកសម្រាប់ភាពរាបស្មើនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត។

នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មភាពជាក់លាក់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ ភាពរាបស្មើនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីតគឺជាសូចនាករសំខាន់មួយដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការណែនាំលម្អិតអំពីវិធីសាស្ត្ររាវរកចរន្តសំខាន់ៗមួយចំនួន និងដំណើរការប្រតិបត្តិការរបស់ពួកគេសម្រាប់អ្នក។ ន
I. វិធីសាស្រ្តរកឃើញឡាស៊ែរ interferometer
ឡាស៊ែរ interferometer គឺជាឧបករណ៍ដែលពេញចិត្តសម្រាប់ការរកឃើញភាពរាបស្មើដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ យក ZYGO GPI XP laser interferometer ជាឧទាហរណ៍ គុណភាពបង្ហាញរបស់វាអាចឈានដល់ 0.1nm ។ នៅពេលធ្វើការរាវរក ដំបូងត្រូវតម្រឹមប្រភពពន្លឺនៃ interferometer ជាមួយវេទិកា ហើយបែងចែកផ្ទៃវេទិកាទៅជាតំបន់ក្រឡាចត្រង្គ 50mm × 50mm។ ក្រោយមក ទិន្នន័យព្រំដែននៃការជ្រៀតជ្រែកត្រូវបានប្រមូលដោយចំណុច ហើយទិន្នន័យត្រូវបានបំពាក់ និងវិភាគដោយប្រើពហុនាម Zernike ដើម្បីទទួលបានកំហុសរាបស្មើ។ វិធីសាស្រ្តនេះអាចអនុវត្តបានចំពោះវេទិកាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងអាចរកឃើញកំហុសនៃភាពរាបស្មើនៃ≤0.5μm/m²។ វាត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការរាវរកម៉ាស៊ីន photolithography និងវេទិកាម៉ាស៊ីនវាស់ចំនួនបីសំរបសំរួលកម្រិតខ្ពស់។ ន
អាយ. វិធីសាស្រ្តអារេកម្រិតអេឡិចត្រូនិច
ការរកឃើញអារេកម្រិតអេឡិចត្រូនិចគឺសាមញ្ញក្នុងការដំណើរការ និងមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ កម្រិតអេឡិចត្រូនិច TESA A2 (ជាមួយនឹងដំណោះស្រាយ 0.01μm/m) ត្រូវបានជ្រើសរើស និងរៀបចំជាអារេ 9×9 តាមទិសអ័ក្ស X/Y នៃវេទិកា។ ដោយការប្រមូលទិន្នន័យទំនោរនៃកម្រិតនីមួយៗដោយសមកាលកម្ម ហើយបន្ទាប់មកដោយប្រើវិធីសាស្ត្រការ៉េតិចបំផុតសម្រាប់ការគណនា តម្លៃរាបស្មើអាចទទួលបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ។ វិធីសាស្រ្តនេះអាចកំណត់អត្តសញ្ញាណយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពនូវលក្ខខណ្ឌ concavity និង convexity ក្នុងតំបន់នៃ platform។ ជាឧទាហរណ៍ ភាពប្រែប្រួលនៃ 0.2μm ក្នុងជួរ 50mm ក៏អាចត្រូវបានរកឃើញផងដែរ ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ការរកឃើញយ៉ាងឆាប់រហ័សនៅក្នុងផលិតកម្មដ៏ធំ។ ន
iii. វិធីសាស្ត្រគ្រីស្តាល់សំប៉ែតអុបទិក
វិធីសាស្ត្រគ្រីស្តាល់សំប៉ែតអុបទិកគឺសមរម្យសម្រាប់ការរកឃើញនៃវេទិកាតំបន់តូច។ ភ្ជាប់គ្រីស្តាល់សំប៉ែតអុបទិកយ៉ាងតឹងទៅនឹងផ្ទៃដែលត្រូវធ្វើតេស្តនៅលើវេទិកា ហើយសង្កេតមើលការជ្រៀតជ្រែកដែលបង្កើតឡើងរវាងពួកវាក្រោមការបំភ្លឺនៃប្រភពពន្លឺ monochromatic (ដូចជាចង្កៀងសូដ្យូម)។ ប្រសិនបើឆ្នូតជាឆ្នូតត្រង់ស្របគ្នា វាបង្ហាញពីភាពរាបស្មើល្អ។ ប្រសិនបើឆ្នូតកោងលេចឡើង គណនាកំហុសរាបស្មើដោយផ្អែកលើកម្រិតនៃភាពកោងឆ្នូត។ ឆ្នូតកោងនីមួយៗតំណាងឱ្យភាពខុសគ្នាកម្ពស់ 0.316μm ហើយទិន្នន័យរាបស្មើអាចទទួលបានតាមរយៈការបំប្លែងដ៏សាមញ្ញ។ ន
បួន។ វិធីសាស្រ្តត្រួតពិនិត្យម៉ាស៊ីនវាស់សំរបសំរួលបី
ម៉ាស៊ីនវាស់បីសំរបសំរួលអាចសម្រេចបាននូវការវាស់វែងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ក្នុងលំហរបីវិមាត្រ។ ដាក់វេទិកាថ្មក្រានីតនៅលើតុការងាររបស់ម៉ាស៊ីនវាស់ ហើយប្រើការស៊ើបអង្កេតដើម្បីប្រមូលទិន្នន័យស្មើភាពគ្នាពីចំណុចវាស់វែងជាច្រើននៅលើផ្ទៃនៃវេទិកា។ ប្រព័ន្ធម៉ាស៊ីនវាស់ស្ទង់ដំណើរការ និងវិភាគទិន្នន័យទាំងនេះ ដើម្បីបង្កើតរបាយការណ៍ភាពរាបស្មើនៃវេទិកា។ វិធីសាស្រ្តនេះមិនត្រឹមតែអាចរកឃើញភាពរាបស្មើប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងទទួលបានប៉ារ៉ាម៉ែត្រធរណីមាត្រផ្សេងទៀតនៃវេទិកាក្នុងពេលដំណាលគ្នា និងសមរម្យសម្រាប់ការរកឃើញដ៏ទូលំទូលាយនៃវេទិកាថ្មក្រានីតធំ។ ន
ការធ្វើជាម្ចាស់លើវិធីសាស្រ្តរាវរកទាំងនេះអាចជួយអ្នកឱ្យវាយតម្លៃភាពរាបស្មើនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីតបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ និងផ្តល់នូវការធានាដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ប្រតិបត្តិការប្រកបដោយស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍ភាពជាក់លាក់។