មគ្គុទ្ទេសក៍ការបន្សាំបរិស្ថានសម្រាប់មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលកីឡាភាពជាក់លាក់ជ្រុល។

នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រដ៏ទំនើប ម៉ូឌុលចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់បានក្លាយទៅជាឧបករណ៍សំខាន់សម្រាប់ប្រតិបត្តិការ និងការវាស់វែងដ៏ល្អជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា។ មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត ជាស្នូលគាំទ្រ មានតម្រូវការយ៉ាងតឹងរឹងសម្រាប់បរិយាកាសការងារ ហើយលក្ខខណ្ឌបរិស្ថានសមរម្យគឺជាមូលដ្ឋានដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការប្រកបដោយស្ថេរភាព និងប្រសិទ្ធភាពល្អបំផុត។

ទីមួយការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព៖ ភាពជាក់លាក់ "ស្ថេរភាព"
ទោះបីជាថ្មក្រានីតត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ស្ថេរភាពរបស់វាក៏ដោយក៏វាមិនមានភាពស៊ាំទាំងស្រុងចំពោះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពនោះទេ។ ទោះបីជាមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់វាទាប ជាទូទៅ 5-7 ×10⁻⁶/℃ ក៏ដោយ នៅក្នុងសេណារីយ៉ូនៃការគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ជ្រុល ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពតិចតួចនៅតែអាចបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រ និងប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ូឌុល។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ដំណើរការ lithography តម្រូវឱ្យមានភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងកម្រិត danami ហើយសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញប្រែប្រួល 1 ° C ហើយមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានប្រវែងចំហៀង 1 ម៉ែត្រអាចបង្កើតការពង្រីកលីនេអ៊ែរ ឬការកន្ត្រាក់នៃ 5-7 microns ។ ការផ្លាស់ប្តូរតូចមួយនេះត្រូវបានបញ្ជូនដោយម៉ូឌុលចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់ ដែលវាគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីធ្វើឱ្យបន្ទះឈីបមានគម្លាតលំនាំ lithography និងកាត់បន្ថយទិន្នផលយ៉ាងខ្លាំង។ ដូច្នេះ បំពាក់ដោយថ្មក្រានីតមូលដ្ឋាននៃភាពជាក់លាក់នៃម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតលើអាកាស សីតុណ្ហភាពបរិយាកាសការងារដ៏ល្អគួរត្រូវបានគ្រប់គ្រងនៅ 20 ° C ± 1 ° C ដោយមានជំនួយពីឧបករណ៍សីតុណ្ហភាពថេរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដូចជាប្រព័ន្ធម៉ាស៊ីនត្រជាក់ និងសំណើមថេរ ការត្រួតពិនិត្យបន្ត និងការកែតម្រូវសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ ដើម្បីធានាថាការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពក្នុងទំហំតូចបំផុត រក្សាបាននូវស្ថេរភាពនៃទំហំមូលដ្ឋាន។
ទីពីរការគ្រប់គ្រងសំណើម៖ គន្លឹះនៃការការពារសំណើម "ថ្ម"
សំណើមគឺជាកត្តាសំខាន់មួយទៀតដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់។ នៅក្នុងបរិយាកាសសំណើមខ្ពស់ ថ្មក្រានីតងាយស្រូបចំហាយទឹក ដែលអាចនាំអោយមានការកកិតលើផ្ទៃ ដែលមិនត្រឹមតែប៉ះពាល់ដល់ស្ថេរភាពនៃការតភ្ជាប់នៃថ្មក្រានីត និងម៉ូឌុលចលនាជាក់លាក់បំផុតនៃអណ្តែតខ្យល់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏អាចបណ្តាលឱ្យមានសំណឹកលើផ្ទៃ និងកាត់បន្ថយភាពរលោង និងភាពត្រឹមត្រូវក្នុងរយៈពេលយូរផងដែរ។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាកិនកញ្ចក់អុបទិក ប្រសិនបើសំណើមខ្ពស់ជាង 60% RH ក្នុងរយៈពេលយូរ ចំហាយទឹកដែលជ្រាបលើផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនឹងរំខានដល់ចលនារបស់គ្រាប់រំកិលអណ្តែតឧស្ម័ន ដូច្នេះភាពត្រឹមត្រូវនៃការកិនកញ្ចក់ត្រូវបានកាត់បន្ថយ ហើយផ្ទៃមានកំហុស។ ដូច្នេះសំណើមដែលទាក់ទងនៃបរិយាកាសការងារគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងរវាង 40%-60%RH ដែលអាចត្រួតពិនិត្យ និងកែតម្រូវក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែងដោយដំឡើងឧបករណ៍បំលែងសំណើម ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសំណើម និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីជៀសវាងការខូចខាតដល់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដោយសារតែសំណើមខ្ពស់ និងធានាបាននូវប្រតិបត្តិការរលូននៃម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់។
ទីបី ការធានាភាពស្អាតស្អំ៖ "អាណាព្យាបាល" នៃភាពជាក់លាក់
គ្រោះថ្នាក់នៃភាគល្អិតធូលីចំពោះមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតភាពជាក់លាក់នៃម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃចលនាខ្យល់មិនអាចត្រូវបានគេប៉ាន់ស្មានបានឡើយ។ នៅពេលដែលភាគល្អិតតូចៗចូលទៅក្នុងគម្លាតខ្សែភាពយន្តឧស្ម័នរវាងគ្រាប់រំកិលអណ្តែតឧស្ម័ន និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ពួកវាអាចបំផ្លាញឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តឧស្ម័ន បង្កើនការកកិត និងសូម្បីតែកោសផ្ទៃនៃមូលដ្ឋាន ដែលបណ្តាលឱ្យមានការថយចុះភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនា។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាម៉ាស៊ីនកាត់ភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃផ្នែកអវកាស ប្រសិនបើភាគល្អិតធូលីនៅលើអាកាសធ្លាក់លើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត នោះគន្លងចលនារបស់ឧបករណ៍ម៉ាស៊ីនអាចនឹងត្រូវវង្វេង ដែលប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្នែកម៉ាស៊ីន។ ដូច្នេះ កន្លែងធ្វើការគួររក្សាអនាម័យខ្ពស់ ឈានដល់កម្រិតស្តង់ដារអនាម័យ 10,000 ឬខ្ពស់ជាងនេះ តាមរយៈការដំឡើងឧបករណ៍បន្សុតខ្យល់ ដូចជាតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ (HEPA) ច្រោះយកភាគល្អិតធូលីក្នុងខ្យល់ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានោះ បុគ្គលិកត្រូវស្លៀកសម្លៀកបំពាក់គ្មានធូលី គម្របស្បែកជើងជាដើម ដើម្បីកាត់បន្ថយធូលីដែលនាំមកដោយមនុស្ស។ រក្សាបរិយាកាសប្រតិបត្តិការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត និងម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតខ្យល់។

បួន, ភាពឯកោរំញ័រ: ប្រតិបត្តិការរលូននៃ "បន្ទះឆក់"
ការរំញ័រខាងក្រៅគឺជាសត្រូវនៃភាពជាក់លាក់នៃម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់។ ទោះបីជាមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតមានភាពជាក់លាក់មានសមត្ថភាពរំញ័រជាក់លាក់ក៏ដោយ ការរំញ័រកម្លាំងខ្ពស់អាចនៅតែបំបែកដែនកំណត់នៃសតិបណ្ដោះអាសន្នរបស់វា។ រំញ័រដែលបង្កើតឡើងដោយចរាចរជុំវិញរោងចក្រនិងប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍មេកានិចធំ ៗ ត្រូវបានបញ្ជូនទៅមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតឆ្លងកាត់ដីដែលនឹងរំខានដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនានៃម៉ូឌុលចលនាជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់។ នៅក្នុង CMM កម្រិតខ្ពស់ ការរំញ័រអាចបណ្តាលឱ្យទំនាក់ទំនងរវាងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ និងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់មិនស្ថិតស្ថេរ ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៃទិន្នន័យរង្វាស់។ ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហានេះ ចាំបាច់ត្រូវអនុម័តវិធានការឯកោរំញ័រប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដូចជាការដាក់បន្ទះរំញ័រនៅកន្លែងដំឡើងឧបករណ៍ ការសាងសង់គ្រឹះរំញ័ររំញ័រ ឬប្រើប្រព័ន្ធរំញ័រសកម្ម ដើម្បីទូទាត់រំញ័រខាងក្រៅយ៉ាងសកម្ម និងបង្កើតបរិយាកាសការងារស្ងាត់ និងមានស្ថេរភាពសម្រាប់មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត និងម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតខ្យល់។
មានតែតាមរយៈការបំពេញតាមតម្រូវការបរិស្ថានពេញលេញនៃសីតុណ្ហភាព សំណើម ភាពស្អាត និងការគ្រប់គ្រងរំញ័រប៉ុណ្ណោះ មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់អាចផ្តល់នូវការលេងពេញលេញចំពោះគុណសម្បត្តិប្រតិបត្តិការរបស់វា ផ្តល់នូវការធានាដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ប្រតិបត្តិការភាពជាក់លាក់ជ្រុលក្នុងវិស័យផ្សេងៗ និងជួយឧស្សាហកម្មឱ្យឆ្ពោះទៅរកការផលិតភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងកម្រិតស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ។