នៅក្នុងវាលនៃ semiconductor wafer grooving ភាពជាក់លាក់គឺជាបន្ទាត់ជីវិត។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមិនគួរឱ្យកត់សម្គាល់អាចនាំមកនូវការលោតផ្លោះគុណភាពនៅក្នុងការអនុវត្តឧបករណ៍ grooving! តើ "មហាអំណាច" អ្វីខ្លះដែលវាលាក់បាំង? ហេតុអ្វីបានជាគេនិយាយថាការជ្រើសរើសមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតត្រឹមត្រូវមានន័យថាអ្នកបានជោគជ័យពាក់កណ្តាល? ថ្ងៃនេះយើងនឹងនាំអ្នកមកបង្ហាញឱ្យស៊ីជម្រៅ!
I. Inherent Strength: គុណសម្បត្តិទាំងបីនៃថ្មក្រានីត
ភាពធន់នឹងរញ្ជួយដីមានស្ថេរភាពដូចភ្នំតៃ
ថ្មក្រានីតមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់រហូតដល់ 2,800-3,100 គីឡូក្រាមក្នុងមួយម៉ែតគូបហើយរចនាសម្ព័ន្ធរបស់វាក្រាស់ដូច "បន្ទាយថ្ម" ។ នៅក្នុងបរិយាកាសរំញ័រប្រេកង់ខ្ពស់នៃ wafer grooving (ឧបករណ៍នេះ grooves ជាង 100 ដងក្នុងមួយនាទី) វាអាចស្រូបយកបានច្រើនជាង 90% នៃថាមពលរំញ័រដូចជាការបំពាក់ឧបករណ៍ជាមួយនឹង "shock-absorbing black technology" ! ទិន្នន័យដែលបានវាស់វែងពីរោងចក្រផលិតបន្ទះសៀគ្វីជាក់លាក់មួយបង្ហាញថា បន្ទាប់ពីប្រើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ទំហំនៃក្បាលម៉ាស៊ីនកាត់ចង្អូរបានថយចុះពី 15μm ទៅ 3μm ហើយគែមនៃចង្អូរតូចៗដែលឆ្លាក់គឺរលោងដូចកញ្ចក់។
2. "រដ្ឋធម្មនុញ្ញធន់នឹងកំដៅ" ដោយមិនខ្លាចភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាព
សមា្ភារៈធម្មតា "ពង្រីកនិងខូចទ្រង់ទ្រាយ" នៅពេលកំដៅហើយ "ចុះកិច្ចសន្យានិងខូចទ្រង់ទ្រាយ" នៅពេលត្រជាក់ប៉ុន្តែមេគុណពង្រីកកំដៅនៃថ្មក្រានីតមានកម្រិតទាបដល់ 4-8 × 10⁻⁶ / ℃ ដែលមានត្រឹមតែ 1/5 នៃលោហធាតុ! ទោះបីជាសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងសិក្ខាសាលាប្រែប្រួលយ៉ាងខ្លាំងដោយ 10 ℃ក្នុងរយៈពេល 24 ម៉ោងក៏ដោយ ការខូចទ្រង់ទ្រាយរបស់វាគឺតិចជាង 0.01 មីលីម៉ែត្រ ហើយស្ទើរតែមិនត្រូវបានគេអើពើ។ នេះមានន័យថា ដោយមិនគិតពីការឆ្លាស់គ្នារវាងថ្ងៃ និងយប់ ឬប្រតិបត្តិការយូរ និងការបង្កើតកំដៅរបស់ឧបករណ៍នោះ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចរក្សាទីតាំងរន្ធដោត "មិនចលនា" គ្រប់ពេលវេលា។
3. ធន់នឹងការពាក់ដែលមិនអាចបំផ្លាញបាន។
ភាពរឹងរបស់ Mohs នៃថ្មក្រានីតឡើងដល់ 6 ទៅ 7 ប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្ម Quartz ហើយភាពធន់នឹងការពាក់របស់វាគឺបីដងជាងដែកធម្មតា! នៅក្រោមការកកិតប្រេកង់ខ្ពស់រយៈពេលវែងនៃ wafer grooving ផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានស្ទើរតែមិនអស់។ បន្ទាប់ពីការសាងសង់គ្រឹះជាក់លាក់មួយបានប្រើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអស់រយៈពេល 5 ឆ្នាំ ភាពរាបស្មើនៅតែរក្សាបានក្នុងរង្វង់ ± 0.5μm/m នៅពេលត្រួតពិនិត្យ ហើយភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់ចង្អូរនៅតែមានជាប់លាប់ ដោយរក្សាទុកនូវចំនួនដ៏ច្រើននៃការក្រិតតាមខ្នាត និងការចំណាយលើការជំនួសឧបករណ៍។
អាយ. ការសម្របខ្លួនយ៉ាងជាក់លាក់៖ តើថ្មក្រានីតបំពេញតាមតម្រូវការផ្សេងគ្នាដោយរបៀបណា?
ឈុតទី 1៖ ចង្អូរល្អិតល្អន់ (ខ្នាតតូចក្រោម 10μm)
តម្រូវការ៖ ភាពរាបស្មើចុងក្រោយ
គុណសម្បត្តិថ្មក្រានីត៖ តាមរយៈដំណើរការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃតំណភ្ជាប់ប្រាំអ័ក្ស ភាពសំប៉ែតអាចគ្រប់គ្រងបានក្នុងរង្វង់±0.5μm/m ដែលមានន័យថានៅលើប្រវែង 1 ម៉ែត្រ កំហុសកម្ពស់គឺស្តើងជាងសក់មនុស្ស 200 ដង! ត្រូវប្រាកដថាចម្ងាយរវាងក្បាលកាត់ចង្អូរ និង wafer តែងតែមានភាពច្បាស់លាស់ ហើយកំហុសទទឹងនៃចង្អូរខ្នាតតូចដែលឆ្លាក់មិនលើសពី±0.1μm។
ឈុតទី 2៖ ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំដែលមានល្បឿនលឿន
តម្រូវការ៖ ដំណើរការស្រូបយកឆក់ខ្លាំង
គុណសម្បត្តិនៃថ្មក្រានីត៖ លក្ខណៈសម្បត្តិជ្រាបទឹកធម្មជាតិរបស់វានៅខាងក្នុងអាចកាត់បន្ថយរំញ័រឧបករណ៍បានយ៉ាងឆាប់រហ័ស។ បន្ទាប់ពីរោងចក្របន្ទះជាក់លាក់មួយបានណែនាំមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ល្បឿន grooving បានកើនឡើង 40% ហើយអត្រាទិន្នផលបានកើនឡើងពី 85% ទៅ 96% សម្រេចបាននូវការប្រមូលផលពីរដងនៃប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងគុណភាព!
ឈុតទី 3៖ បរិយាកាសស្មុគ្រស្មាញ (សីតុណ្ហភាពខ្ពស់/ការច្រេះ)
តម្រូវការ៖ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងច្រេះ
គុណសម្បត្តិនៃថ្មក្រានីត: ស្ថេរភាពគីមីខ្លាំង, ធន់នឹងការ corrosion អាស៊ីតនិងអាល់កាឡាំង; វាមានមេគុណទាបនៃការពង្រីកកំដៅ ហើយនឹងមិនខូចទ្រង់ទ្រាយសូម្បីតែនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងតំបន់ (150 ℃) កំឡុងពេលកាត់ឡាស៊ែរ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលប្រើនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ជាក់លាក់មួយដែលមានដំណោះស្រាយ corrosive grooving ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាបន្តបន្ទាប់អស់រយៈពេល 3 ឆ្នាំ ហើយផ្ទៃនៃមូលដ្ឋាននៅតែនៅដដែល។
iii. តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីជ្រើសរើសមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត "គុណភាពខ្ពស់ពិតប្រាកដ"?
មើលដង់ស៊ីតេ៖ ក្រានីតដែលមានដង់ស៊ីតេ≥2800kg/m³ មានរចនាសម្ព័ន្ធបង្រួមជាង។
ពិនិត្យវិញ្ញាបនប័ត្រ៖ ត្រូវប្រាកដថាទទួលស្គាល់វិញ្ញាបនប័ត្រដែលមានការអនុញ្ញាតដូចជា ISO 9001 និង CNAS ដើម្បីធានាគុណភាព។
ទិន្នន័យផ្ទៀងផ្ទាត់៖ ក្រុមហ៊ុនផលិតតម្រូវឱ្យផ្តល់របាយការណ៍សាកល្បងលើមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (<8×10⁻⁶/℃) និងភាពរាបស្មើ (±0.5μm/m)។
ការធ្វើតេស្តនៅនឹងកន្លែង៖ ប៉ះមូលដ្ឋាន។ សំឡេងច្បាស់បង្ហាញថាមិនមានស្នាមប្រេះនៅខាងក្នុងទេ។ ប្រសិនបើផ្ទៃប៉ះគឺរលោងដូចកញ្ចក់ វាបង្ហាញពីភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការខ្ពស់។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន: ជ្រើសរើសថ្មក្រានីតដែលត្រឹមត្រូវហើយឈ្នះពាក់កណ្តាលសមរភូមិក្នុងការ grooving!
ពីភាពធន់នឹងការឆក់ ធន់នឹងកំដៅ ធន់នឹងការពាក់ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតជាមួយនឹង "សម្រស់ធម្មជាតិ" និង "កម្លាំងរឹង" បានក្លាយជាដៃគូរមាសសម្រាប់ឧបករណ៍ wafer grooving ។ នៅក្នុងយុគសម័យនៃការផលិត semiconductor នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ដែលស្វែងរកភាពជាក់លាក់កម្រិតណាណូ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានគុណភាពខ្ពស់មិនត្រឹមតែជាការវិនិយោគលើឧបករណ៍ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ជាការធានារយៈពេលវែងសម្រាប់ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងគុណភាពផលិតផលផងដែរ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ១៧ មិថុនា ២០២៥