នៅក្នុងសិក្ខាសាលាផលិតកម្ម semiconductor តម្រូវការនៃដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបសម្រាប់លក្ខខណ្ឌបរិស្ថាន និងភាពត្រឹមត្រូវនៃបរិក្ខារគឺខ្លាំង ហើយគម្លាតបន្តិចបន្តួចអាចនាំឱ្យមានការថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃទិន្នផលបន្ទះឈីប។ វេទិកាចលនា gantry ភាពជាក់លាក់ XYZT ពឹងផ្អែកលើសមាសធាតុថ្មក្រានីត ដើម្បីសហការជាមួយផ្នែកផ្សេងទៀតនៃវេទិកា ដើម្បីបង្កើតមូលដ្ឋានគ្រឹះដ៏រឹងមាំសម្រាប់ការសម្រេចបាននូវភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាណូ។
លក្ខណៈសម្បត្តិទប់ស្កាត់រំញ័រដ៏អស្ចារ្យ
នៅក្នុងសិក្ខាសាលាផលិត semiconductor ប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍គ្រឿងកុំព្យូទ័រ និងបុគ្គលិកដែលដើរជុំវិញអាចបណ្តាលឱ្យរំញ័រ។ រចនាសម្ព័នខាងក្នុងនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតគឺក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាន ជាមួយនឹងលក្ខណៈធម្មជាតិនៃសំណើមខ្ពស់ ដូចជា "របាំង" រំញ័រប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ នៅពេលដែលរំញ័រខាងក្រៅត្រូវបានបញ្ជូនទៅវេទិកា XYZT សមាសធាតុថ្មក្រានីតអាចកាត់បន្ថយថាមពលរំញ័រយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពជាង 80% និងកាត់បន្ថយការជ្រៀតជ្រែកនៃរំញ័រលើភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនារបស់វេទិកា។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ វេទិកានេះត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រព័ន្ធមគ្គុទ្ទេសក៍អណ្តែតខ្យល់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលដំណើរការដោយភ្ជាប់ជាមួយសមាសធាតុថ្មក្រានីត។ មគ្គុទ្ទេសក៍អណ្តែតខ្យល់ប្រើខ្សែភាពយន្តឧស្ម័នដែលមានស្ថេរភាពដែលបង្កើតឡើងដោយឧស្ម័នសម្ពាធខ្ពស់ដើម្បីដឹងពីចលនាព្យួរគ្មានទំនាក់ទំនងនៃផ្នែកដែលផ្លាស់ទីនៃវេទិកា និងកាត់បន្ថយការរំញ័រតូចៗដែលបណ្តាលមកពីការកកិតមេកានិច។ ជាមួយគ្នានេះ អ្នកទាំងពីរធានាថាភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងវេទិកាតែងតែត្រូវបានរក្សានៅកម្រិតណាណូម៉ែត្រនៅក្នុងដំណើរការសំខាន់ៗដូចជា បន្ទះសៀគ្វី និងការឆ្លាក់រូប ហើយជៀសវាងគម្លាតនៃគំរូសៀគ្វីបន្ទះឈីបដែលបណ្តាលមកពីការរំញ័រ។
ស្ថេរភាពកំដៅល្អឥតខ្ចោះ
ការប្រែប្រួលនៃសីតុណ្ហភាពនិងសំណើមនៅក្នុងសិក្ខាសាលាមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍ផលិតបន្ទះឈីប។ មេគុណពង្រីកកំដៅនៃថ្មក្រានីតគឺទាបណាស់ ជាទូទៅក្នុង 5-7 ×10⁻⁶/℃ ទំហំគឺស្ទើរតែមិនផ្លាស់ប្តូរនៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពផ្លាស់ប្តូរ។ ទោះបីជាភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាពរវាងពេលថ្ងៃ និងពេលយប់នៅក្នុងសិក្ខាសាលា ឬការផលិតកំដៅនៃឧបករណ៍ធ្វើឱ្យសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញប្រែប្រួលក៏ដោយ សមាសធាតុថ្មក្រានីតអាចនៅមានស្ថេរភាពដើម្បីការពារការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃវេទិកាដោយសារតែការពង្រីកកម្ដៅ និងការកន្ត្រាក់។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពឆ្លាតវៃដែលបំពាក់ដោយវេទិកាត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង លៃតម្រូវម៉ាស៊ីនត្រជាក់ និងឧបករណ៍រំសាយកំដៅដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងរក្សាសីតុណ្ហភាពសិក្ខាសាលានៅ 20 ° C ± 1 ° C ។ រួមផ្សំជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិនៃស្ថេរភាពកំដៅថ្មក្រានីត ធានាថាវេទិកាក្នុងប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែង ភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនានៃបន្ទះឈីបនីមួយៗ ភាពជាក់លាក់នៃការផលិតបន្ទះសៀគ្វីនីមួយៗ ធានាបាននូវស្តង់ដារទំហំបន្ទះឈីបនីមួយៗ។ ភាពត្រឹមត្រូវ ជម្រៅ etching គឺឯកសណ្ឋាន។
បំពេញតម្រូវការបរិស្ថានស្អាត
ហាងផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកត្រូវរក្សាកម្រិតអនាម័យខ្ពស់ដើម្បីការពារបំណែកធូលីពីការបំពុលបន្ទះឈីប។ សម្ភារៈថ្មក្រានីតដោយខ្លួនឯងមិនបង្កើតធូលីទេហើយផ្ទៃគឺរលោងមិនងាយស្រូបយកធូលីទេ។ វេទិកាទាំងមូលទទួលយកការរចនារចនាសម្ព័ន្ធបិទជិតឬពាក់កណ្តាលបិទពេញលេញដើម្បីកាត់បន្ថយការចូលនៃធូលីខាងក្រៅ។ ប្រព័ន្ធចរាចរខ្យល់ខាងក្នុងត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ជាមួយនឹងប្រព័ន្ធម៉ាស៊ីនត្រជាក់ស្អាតនៃសិក្ខាសាលាដើម្បីធានាថាភាពស្អាតនៃខ្យល់ខាងក្នុងឈានដល់កម្រិតដែលត្រូវការដោយការផលិតបន្ទះឈីប។ នៅក្នុងបរិស្ថានស្អាតនេះ សមាសធាតុថ្មក្រានីតនឹងមិនប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការដោយសារការសាយភាយធូលីនោះទេ ហើយសមាសធាតុសំខាន់ៗដូចជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងម៉ូទ័រដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃវេទិកាក៏អាចដំណើរការប្រកបដោយស្ថេរភាព ដោយផ្តល់នូវការធានាភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាណូជាបន្តបន្ទាប់ និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីប និងជួយឧស្សាហកម្ម semiconductor ផ្លាស់ទីទៅកម្រិតដំណើរការខ្ពស់ជាងនេះ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ១៤ មេសា ២០២៥