នៅក្នុងវិស័យត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ភាពបរិសុទ្ធនៃបរិស្ថានបន្ទប់ស្អាតមានទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់ទៅនឹងទិន្នផលផលិតផល។ ដោយសារភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបបន្តប្រសើរឡើង តម្រូវការសម្រាប់វេទិកាផ្ទុកនៃឧបករណ៍រកឃើញកាន់តែតឹងរ៉ឹង។ វេទិកាថ្មក្រានីត ដែលមានលក្ខណៈសូន្យនៃការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងលោហៈ និងការបំពុលភាគល្អិតទាប បានវ៉ាដាច់សម្ភារៈដែកអ៊ីណុកប្រពៃណី ហើយបានក្លាយជាដំណោះស្រាយដែលពេញចិត្តសម្រាប់ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វី។
ថ្មក្រានីតគឺជាថ្មភ្នំភ្លើងធម្មជាតិដែលភាគច្រើនផ្សំឡើងពីសារធាតុរ៉ែមិនមែនលោហធាតុដូចជា រ៉ែថ្មខៀវ ហ្វែលស្ប៉ា និងមីកា។ លក្ខណៈនេះផ្តល់ឱ្យវានូវអត្ថប្រយោជន៍នៃការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងលោហៈសូន្យ។ ផ្ទុយទៅវិញ ដែកអ៊ីណុក ដែលជាយ៉ាន់ស្ព័រនៃលោហធាតុដូចជាជាតិដែក ក្រូមីញ៉ូម និងនីកែល ងាយនឹងច្រេះអេឡិចត្រូគីមីនៅលើផ្ទៃរបស់វាដោយសារតែការហូរច្រោះចំហាយទឹក និងឧស្ម័នអាស៊ីត ឬអាល់កាឡាំងនៅក្នុងបរិយាកាសបន្ទប់ស្អាត ដែលបណ្តាលឱ្យមានទឹកភ្លៀងនៃអ៊ីយ៉ុងលោហៈដូចជា Fe²⁺ និង Cr³⁺។ នៅពេលដែលអ៊ីយ៉ុងតូចៗទាំងនេះភ្ជាប់ទៅនឹងផ្ទៃនៃបន្ទះសៀគ្វី វានឹងផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីនៃសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រនៅក្នុងដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់ដូចជា ការថតចម្លងពន្លឺ និងការឆ្លាក់ បណ្តាលឱ្យមានការប្រែប្រួលវ៉ុលកម្រិតនៃត្រង់ស៊ីស្ទ័រ និងថែមទាំងនាំឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីនៅក្នុងសៀគ្វីទៀតផង។ ទិន្នន័យតេស្តរបស់ស្ថាប័នវិជ្ជាជីវៈបង្ហាញថា បន្ទាប់ពីវេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវបានប៉ះពាល់ជាបន្តបន្ទាប់ទៅនឹងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាព និងសំណើមបន្ទប់ស្អាតដែលបានក្លែងធ្វើ (23±0.5℃, 45%±5% RH) រយៈពេល 1000 ម៉ោង ការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងលោហៈគឺទាបជាងដែនកំណត់នៃការរកឃើញ (< 0.1ppb)។ អត្រានៃពិការភាពនៃបន្ទះបន្ទះដែលបណ្តាលមកពីការចម្លងរោគអ៊ីយ៉ុងលោហៈនៅពេលប្រើវេទិកាដែកអ៊ីណុកអាចខ្ពស់ដល់ 15% ទៅ 20%។
ទាក់ទងនឹងការគ្រប់គ្រងការចម្លងរោគភាគល្អិត វេទិកាថ្មក្រានីតក៏ដំណើរការបានល្អផងដែរ។ បន្ទប់ស្អាតមានតម្រូវការខ្ពស់ខ្លាំងសម្រាប់កំហាប់ភាគល្អិតព្យួរនៅក្នុងខ្យល់។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 1 ចំនួនភាគល្អិត 0.1μm ដែលត្រូវបានអនុញ្ញាតក្នុងមួយម៉ែត្រគូបមិនលើសពី 10 ទេ។ ទោះបីជាវេទិកាដែកអ៊ីណុកបានឆ្លងកាត់ការព្យាបាលប៉ូលាក៏ដោយ វានៅតែអាចបង្កើតកំទេចកំទីដែក ឬជញ្ជីងអុកស៊ីដដែលរបកចេញដោយសារតែកម្លាំងខាងក្រៅដូចជារំញ័រឧបករណ៍ និងប្រតិបត្តិការរបស់បុគ្គលិក ដែលអាចរំខានដល់ផ្លូវអុបទិកនៃការរកឃើញ ឬកោសផ្ទៃនៃបន្ទះ wafer ។ វេទិកាថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធរ៉ែក្រាស់របស់វា (ដង់ស៊ីតេ ≥2.7g/cm³) និងភាពរឹងខ្ពស់ (6-7 នៅលើមាត្រដ្ឋាន Mohs) មិនងាយនឹងពាក់ ឬបាក់បែកក្នុងអំឡុងពេលប្រើប្រាស់រយៈពេលវែងនោះទេ។ ការវាស់វែងដែលបានវាស់វែងបង្ហាញថា ពួកវាអាចកាត់បន្ថយកំហាប់ភាគល្អិតព្យួរនៅក្នុងខ្យល់នៃតំបន់ឧបករណ៍រកឃើញបានច្រើនជាង 40% បើប្រៀបធៀបទៅនឹងវេទិកាដែកអ៊ីណុក ដែលរក្សាបាននូវស្តង់ដារថ្នាក់បន្ទប់ស្អាតប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
បន្ថែមពីលើលក្ខណៈស្អាតរបស់វា ការអនុវត្តដ៏ទូលំទូលាយនៃវេទិកាថ្មក្រានីតក៏លើសពីដែកអ៊ីណុកឆ្ងាយដែរ។ ទាក់ទងនឹងស្ថេរភាពកម្ដៅ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់វាគឺត្រឹមតែ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ដែលតិចជាងពាក់កណ្តាលនៃដែកអ៊ីណុក (ប្រហែល 17×10⁻⁶/℃) ដែលអាចរក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងឧបករណ៍រកឃើញបានកាន់តែប្រសើរឡើង នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតប្រែប្រួល។ លក្ខណៈសំណើមខ្ពស់ (សមាមាត្រសំណើម > 0.05) អាចកាត់បន្ថយរំញ័រនៃឧបករណ៍យ៉ាងឆាប់រហ័ស និងការពារការស៊ើបអង្កេតរកឃើញពីការញ័រ។ ភាពធន់នឹងការច្រេះធម្មជាតិរបស់វាអនុញ្ញាតឱ្យវានៅតែមានស្ថេរភាព សូម្បីតែនៅពេលដែលប៉ះពាល់នឹងសារធាតុរំលាយ photoresist ឧស្ម័នឆ្លាក់ និងសារធាតុគីមីផ្សេងទៀតដោយមិនចាំបាច់មានការការពារថ្នាំកូតបន្ថែមក៏ដោយ។
បច្ចុប្បន្ននេះ វេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងរោងចក្រផលិតបន្ទះសៀគ្វីទំនើបៗ។ ទិន្នន័យបង្ហាញថា បន្ទាប់ពីបានប្រើប្រាស់វេទិកាថ្មក្រានីត អត្រានៃការវិនិច្ឆ័យខុសនៃការរកឃើញភាគល្អិតលើផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីបានថយចុះ 60% វដ្តក្រិតតាមខ្នាតឧបករណ៍ត្រូវបានពង្រីកបីដង ហើយថ្លៃដើមផលិតកម្មសរុបបានធ្លាក់ចុះ 25%។ នៅពេលដែលឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រឆ្ពោះទៅរកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ វេទិកាថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិស្នូលរបស់វាដូចជាការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងលោហៈសូន្យ និងការបំពុលភាគល្អិតទាប នឹងបន្តផ្តល់ការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាព និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វី ដែលក្លាយជាកម្លាំងសំខាន់មួយដែលជំរុញវឌ្ឍនភាពនៃឧស្សាហកម្ម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២០ ខែឧសភា ឆ្នាំ ២០២៥