កម្មវិធីមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត៖ ថ្មក្រានីតមានលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំង រចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុងក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាន មេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ ភាពរឹងខ្ពស់។ នេះធ្វើឱ្យមូលដ្ឋានអាចញែករំញ័រខាងក្រៅយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពជុំវិញលើភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកា និងមានភាពធន់ទ្រាំពាក់ល្អ ការប្រើប្រាស់យូរអង្វែងក៏អាចរក្សាបាននូវដំណើរការគាំទ្រមានស្ថេរភាព ដោយផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះដ៏រឹងមាំសម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកា។
ការរចនារចនាសម្ព័ន្ធមេកានិកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖ រចនាសម្ព័ន្ធមេកានិកនៃវេទិកាត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន និងធ្វើឱ្យប្រសើរដោយប្រើផ្លូវដែកណែនាំភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ វីសនាំមុខ សត្វខ្លាឃ្មុំ និងសមាសធាតុបញ្ជូនផ្សេងទៀត។ ជាមួយនឹងការកកិតទាប ភាពរឹងខ្ពស់ និងអាចធ្វើចលនាឡើងវិញបានល្អ សមាសធាតុទាំងនេះអាចបញ្ជូនថាមពល និងគ្រប់គ្រងចលនារបស់វេទិកាបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ ដោយកាត់បន្ថយការប្រមូលផ្តុំនៃកំហុសអំឡុងពេលចលនា។ ឧទាហរណ៍ ការប្រើប្រាស់ផ្លូវដែកមគ្គុទ្ទេសក៍ aerostatic ការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តខ្យល់ដើម្បីគាំទ្រដល់ចលនារបស់វេទិកាដោយមិនមានការកកិត មិនពាក់ ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អាចសម្រេចបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង nanoscale ។
បច្ចេកវិទ្យារំញ័រសកម្មកម្រិតខ្ពស់៖ បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធរំញ័រសកម្ម ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងនៃស្ថានភាពរំញ័រនៃវេទិកាតាមរយៈឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា ហើយបន្ទាប់មកយោងតាមលទ្ធផលនៃការត្រួតពិនិត្យ ការគ្រប់គ្រងមតិត្រឡប់របស់ actuator បង្កើតកម្លាំងផ្ទុយ ឬចលនានៃរំញ័រខាងក្រៅដើម្បីទូទាត់ផលប៉ះពាល់នៃរំញ័រ។ បច្ចេកវិជ្ជារំញ័រសកម្មនេះអាចញែករំញ័រប្រេកង់ទាប និងខ្ពស់យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដូច្នេះវេទិកាអាចរក្សាលំនឹងនៅក្នុងបរិយាកាសរំញ័រស្មុគស្មាញ។ ឧទាហរណ៍ ឧបករណ៍រំញ័រសកម្មរបស់អេឡិចត្រូម៉ាញេទិក មានគុណសម្បត្តិនៃល្បឿនឆ្លើយតបរហ័ស និងកម្លាំងត្រួតពិនិត្យត្រឹមត្រូវ ដែលអាចកាត់បន្ថយទំហំរំញ័ររបស់វេទិកាបានច្រើនជាង 80%។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យភាពជាក់លាក់៖ វេទិកាទទួលយកប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យកម្រិតខ្ពស់ ដូចជាប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យផ្អែកលើប្រព័ន្ធដំណើរការសញ្ញាឌីជីថល (DSP) ឬអារេច្រកទ្វារដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន (FPGA) ដែលមានសមត្ថភាពគណនាល្បឿនលឿន និងការគ្រប់គ្រងច្បាស់លាស់។ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងត្រួតពិនិត្យ និងកែតម្រូវចលនារបស់វេទិកាក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង តាមរយៈក្បួនដោះស្រាយត្រឹមត្រូវ និងដឹងពីការគ្រប់គ្រងទីតាំងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ការគ្រប់គ្រងល្បឿន និងការគ្រប់គ្រងការបង្កើនល្បឿន។ ទន្ទឹមនឹងនេះ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងក៏មានសមត្ថភាពប្រឆាំងនឹងការជ្រៀតជ្រែកល្អផងដែរ ហើយអាចដំណើរការប្រកបដោយស្ថេរភាពនៅក្នុងបរិយាកាសស្មុគ្រស្មាញនៃអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច។
ការវាស់វែងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖ ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាមុំ និងឧបករណ៍វាស់ផ្សេងទៀត ការវាស់វែងត្រឹមត្រូវតាមពេលវេលាជាក់ស្តែងនៃចលនារបស់វេទិកា។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទាំងនេះផ្តល់ទិន្នន័យរង្វាស់ត្រឡប់ទៅប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង ហើយប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងធ្វើឱ្យការកែតម្រូវ និងសំណងត្រឹមត្រូវស្របតាមទិន្នន័យមតិកែលម្អ ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនារបស់វេទិកា។ ឧទាហរណ៍ ឡាស៊ែរ interferometer ត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅ ហើយភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងរបស់វាអាចឡើងដល់ nanometers ដែលអាចផ្តល់ព័ត៌មានទីតាំងត្រឹមត្រូវសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃវេទិកា។
បច្ចេកវិទ្យាសំណងកំហុស៖ តាមរយៈការបង្កើតគំរូ និងការវិភាគកំហុសនៃវេទិកា បច្ចេកវិទ្យាសំណងកំហុសត្រូវបានប្រើដើម្បីកែកំហុស។ ឧទាហរណ៍ កំហុសត្រង់នៃផ្លូវដែកមគ្គុទ្ទេសក៍ និងកំហុសឆ្គងនៃវីសនាំមុខត្រូវបានវាស់វែង និងផ្តល់សំណងដើម្បីកែលម្អភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនារបស់វេទិកា។ លើសពីនេះ ក្បួនដោះស្រាយកម្មវិធីក៏អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីទូទាត់សងកំហុសដែលបណ្តាលមកពីការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាព ការផ្លាស់ប្តូរការផ្ទុក និងកត្តាផ្សេងទៀតក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង ដើម្បីបង្កើនភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកា។
ដំណើរការផលិត និងការត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងតឹងរឹង៖ នៅក្នុងដំណើរការផលិតនៃវេទិកា ដំណើរការផលិតដ៏តឹងរ៉ឹង និងស្តង់ដារត្រួតពិនិត្យគុណភាពត្រូវបានអនុម័ត ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ និងគុណភាពនៃការដំឡើងនៃសមាសធាតុនីមួយៗ។ ចាប់ពីការជ្រើសរើសវត្ថុធាតុដើមរហូតដល់ការកែច្នៃ ការផ្គុំ និងការដាក់ឱ្យដំណើរការនៃផ្នែក រាល់តំណភ្ជាប់ទាំងអស់ត្រូវបានត្រួតពិនិត្យ និងធ្វើតេស្តយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងដំណើរការនៃវេទិកាទាំងមូល។ ជាឧទាហរណ៍ ការកែច្នៃផ្នែកសំខាន់ៗដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានអនុវត្ត ហើយឧបករណ៍ទំនើបៗដូចជា មជ្ឈមណ្ឌលម៉ាស៊ីន CNC ត្រូវបានប្រើ ដើម្បីធានាថាភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ និងទម្រង់ និងការអត់ធ្មត់នៃទីតាំងនៃផ្នែកត្រូវនឹងតម្រូវការរចនា។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មេសា-១១-២០២៥