តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីពិនិត្យមើលភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកាថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់? ត្រូវប្រាកដថាភាពត្រឹមត្រូវគឺស្តង់ដារដែរឬទេ?

នៅក្នុងវិស័យដូចជាការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ភាពជាក់លាក់ ភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីតកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវគុណភាពប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍។ ដើម្បីធានាថាភាពត្រឹមត្រូវរបស់វេទិកាបំពេញតាមស្តង់ដារ កិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងគួរតែត្រូវបានធ្វើឡើងពីទិដ្ឋភាពពីរ៖ ការរកឃើញសូចនាករសំខាន់ៗ និងការអនុលោមតាមបទដ្ឋានស្តង់ដារ។

ការរកឃើញសូចនាករស្នូល៖ ការគ្រប់គ្រងភាពត្រឹមត្រូវពហុវិមាត្រ
ការរកឃើញភាពរាបស្មើ៖ កំណត់ "ភាពរាបស្មើ" នៃប្លង់យោង
ភាពរាបស្មើគឺជាសូចនាករស្នូលនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត ហើយជាធម្មតាវាត្រូវបានវាស់ដោយឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឡាស៊ែរ ឬកម្រិតអេឡិចត្រូនិច។ ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឡាស៊ែរអាចវាស់ស្ទង់រលកតូចៗយ៉ាងច្បាស់លាស់នៅលើផ្ទៃវេទិកាដោយបញ្ចេញធ្នឹមឡាស៊ែរ និងប្រើប្រាស់គោលការណ៍នៃការជ្រៀតជ្រែកពន្លឺ ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវដល់កម្រិតអនុមីក្រូ។ កម្រិតអេឡិចត្រូនិចវាស់វែងដោយផ្លាស់ទីច្រើនដង ហើយគូរផែនទីវណ្ឌវង្កបីវិមាត្រនៃផ្ទៃវេទិកាដើម្បីរកមើលថាតើមានការលេចចេញក្នុងតំបន់ ឬការធ្លាក់ចុះដែរឬទេ។ ឧទាហរណ៍ វេទិកាថ្មក្រានីតដែលប្រើក្នុងម៉ាស៊ីនថតចម្លងពន្លឺ semiconductor ត្រូវបានទាមទារឱ្យមានភាពរាបស្មើ ±0.5μm/m មានន័យថាភាពខុសគ្នានៃកម្ពស់ក្នុងប្រវែង 1 ម៉ែត្រមិនគួរលើសពីកន្លះមីក្រូម៉ែត្រទេ។ មានតែតាមរយៈឧបករណ៍រកឃើញដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ប៉ុណ្ណោះ ទើបអាចធានាស្តង់ដារតឹងរ៉ឹងនេះបាន។
2. ការរកឃើញភាពត្រង់៖ ធានាបាននូវ "ភាពត្រង់" នៃចលនាលីនេអ៊ែរ
សម្រាប់វេទិកាដែលមានផ្នែកដែលមានចលនាជាក់លាក់ ភាពត្រង់គឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់។ វិធីសាស្រ្តទូទៅសម្រាប់ការរកឃើញគឺវិធីសាស្រ្តខ្សែ ឬឧបករណ៍ប្រមូលឡាស៊ែរ។ វិធីសាស្រ្តខ្សែពាក់ព័ន្ធនឹងការព្យួរខ្សែដែកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ហើយប្រៀបធៀបគម្លាតរវាងផ្ទៃវេទិកា និងខ្សែដែក ដើម្បីកំណត់ភាពត្រង់។ ឧបករណ៍ប្រមូលឡាស៊ែរប្រើប្រាស់លក្ខណៈសាយភាយលីនេអ៊ែរនៃឡាស៊ែរ ដើម្បីរកឃើញកំហុសលីនេអ៊ែរនៃផ្ទៃដំឡើងនៃផ្លូវដែកណែនាំវេទិកា។ ប្រសិនបើភាពត្រង់មិនបំពេញតាមស្តង់ដារ វានឹងបណ្តាលឱ្យឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរអំឡុងពេលចលនា ដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការ ឬការវាស់វែងត្រឹមត្រូវ។
៣. ការរកឃើញភាពរដុបនៃផ្ទៃ៖ ធានាបាននូវ "ភាពល្អិតល្អន់" នៃការប៉ះ
ភាពរដុបនៃផ្ទៃវេទិកាប៉ះពាល់ដល់ភាពសមស្របនៃការដំឡើងសមាសធាតុ។ ជាទូទៅ ម៉ែត្ររដុបដោយប្រើប៊ិច stylus ឬមីក្រូទស្សន៍អុបទិកត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការរកឃើញ។ ឧបករណ៍ប្រភេទប៊ិច stylus កត់ត្រាការផ្លាស់ប្តូរកម្ពស់នៃទម្រង់មីក្រូទស្សន៍ដោយប៉ះផ្ទៃវេទិកាជាមួយនឹងឧបករណ៍ស៊ើបអង្កេតដ៏ល្អិតល្អន់។ មីក្រូទស្សន៍អុបទិកអាចសង្កេតមើលវាយនភាពផ្ទៃដោយផ្ទាល់។ នៅក្នុងកម្មវិធីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ភាពរដុបនៃផ្ទៃវេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវការគ្រប់គ្រងនៅ Ra≤0.05μm ដែលស្មើនឹងឥទ្ធិពលដូចកញ្ចក់ ដែលធានាថាសមាសធាតុដែលមានភាពជាក់លាក់សមយ៉ាងតឹងក្នុងអំឡុងពេលដំឡើង និងជៀសវាងការរំញ័រ ឬការផ្លាស់ទីលំនៅដែលបណ្តាលមកពីចន្លោះប្រហោង។
ស្តង់ដារភាពជាក់លាក់អនុវត្តតាម៖ បទដ្ឋានអន្តរជាតិ និងការគ្រប់គ្រងផ្ទៃក្នុងរបស់សហគ្រាស
បច្ចុប្បន្ននេះ នៅលើឆាកអន្តរជាតិ ស្តង់ដារ ISO 25178 និង GB/T 24632 ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាមូលដ្ឋានសម្រាប់កំណត់ភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកាថ្មក្រានីត ហើយមានចំណាត់ថ្នាក់ច្បាស់លាស់សម្រាប់សូចនាករដូចជាភាពរាបស្មើ និងភាពត្រង់។ លើសពីនេះ សហគ្រាសផលិតកម្រិតខ្ពស់ច្រើនតែកំណត់ស្តង់ដារត្រួតពិនិត្យផ្ទៃក្នុងដ៏តឹងរ៉ឹងជាងមុន។ ឧទាហរណ៍ តម្រូវការភាពរាបស្មើសម្រាប់វេទិកាថ្មក្រានីតនៃម៉ាស៊ីនថតចម្លងរូបថតគឺខ្ពស់ជាងស្តង់ដារអន្តរជាតិ 30%។ នៅពេលធ្វើតេស្ត ទិន្នន័យដែលវាស់វែងគួរតែត្រូវបានប្រៀបធៀបជាមួយនឹងស្តង់ដារដែលត្រូវគ្នា។ មានតែវេទិកាដែលគោរពតាមស្តង់ដារយ៉ាងពេញលេញប៉ុណ្ណោះដែលអាចធានាបាននូវដំណើរការដែលមានស្ថេរភាពនៅក្នុងឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់។
ការត្រួតពិនិត្យភាពត្រឹមត្រូវនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃថ្មក្រានីតគឺជាគម្រោងជាប្រព័ន្ធមួយ។ មានតែការធ្វើតេស្តយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើសូចនាករស្នូលដូចជាភាពរាបស្មើ ភាពត្រង់ និងភាពរដុបនៃផ្ទៃ ព្រមទាំងប្រកាន់ខ្ជាប់នូវស្តង់ដារអន្តរជាតិ និងសហគ្រាសប៉ុណ្ណោះ ទើបអាចធានាបាននូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងភាពជឿជាក់នៃវេទិកា ដោយដាក់គ្រឹះរឹងមាំសម្រាប់វិស័យផលិតកម្មលំដាប់ខ្ពស់ដូចជាឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍ភាពជាក់លាក់។