ថ្មក្រានីតត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor សម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍ជាក់លាក់ រួមទាំងឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ។នេះគឺដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់សម្ភារៈដូចជា ភាពរឹងខ្ពស់ ការពង្រីកកំដៅទាប និងការរំញ័រខ្ពស់។វាផ្តល់នូវស្ថេរភាពនិងផ្ទៃរាបស្មើដែលមានសារៈសំខាន់ក្នុងការផលិតសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិចតូចៗនៅលើ wafers ។
នៅពេលប្រើថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃ wafer វាចាំបាច់ក្នុងការប្រុងប្រយ័ត្នត្រឹមត្រូវដើម្បីធានាបាននូវប្រសិទ្ធភាពអតិបរមានិងភាពជាប់បានយូរ។នេះគឺជាគន្លឹះមួយចំនួនសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ និងថែទាំថ្មក្រានីតឱ្យបានត្រឹមត្រូវ។
1. ការគ្រប់គ្រង និងការដំឡើងត្រឹមត្រូវ។
ថ្មក្រានីតគឺជាវត្ថុធាតុដើមដែលមានទម្ងន់ធ្ងន់ និងផុយ ដែលទាមទារឱ្យមានការគ្រប់គ្រង និងដំឡើងត្រឹមត្រូវ។វាមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការធ្វើឱ្យប្រាកដថាផ្ទៃត្រូវបានកម្រិតមុនពេលដំឡើង។ភាពមិនស្មើគ្នាណាមួយអាចនាំឱ្យមានការខូចខាតដល់ឧបករណ៍ដែលអាចប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃ wafers ដែលផលិត។ថ្មក្រានីតគួរតែត្រូវបានដោះស្រាយដោយប្រុងប្រយ័ត្នហើយគួរតែត្រូវបានដឹកជញ្ជូននិងដំឡើងដោយមានជំនួយពីឧបករណ៍ឯកទេស។
2. ការសម្អាតជាប្រចាំ
ឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ដែលប្រើថ្មក្រានីតត្រូវការសម្អាតជាទៀងទាត់ដើម្បីការពារការប្រមូលផ្តុំនៃកំទេចកំទី និងកខ្វក់លើផ្ទៃ។ការប្រមូលផ្តុំនៃកំទេចកំទីអាចបណ្តាលឱ្យកោសឬនាំឱ្យមានការបង្កើតស្នាមប្រេះដែលអាចប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃ wafers ដែលផលិត។ក្រណាត់ទន់ និងដំណោះស្រាយសាប៊ូស្រាលអាចគ្រប់គ្រាន់សម្រាប់ការសម្អាតផ្ទៃថ្មក្រានីត។សាប៊ូ និងសារធាតុគីមីគួរត្រូវបានជៀសវាងព្រោះវាអាចធ្វើឱ្យខូចផ្ទៃ។
3. ការថែទាំបង្ការ
ការថែទាំបង្ការគឺចាំបាច់ដើម្បីធានាថាឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ដំណើរការបានល្អបំផុត។គ្រឿងបរិក្ខារ និងផ្ទៃថ្មក្រានីតគួរតែត្រូវបានត្រួតពិនិត្យជាប្រចាំ ហើយសញ្ញានៃការខូចខាតគួរតែត្រូវបានដោះស្រាយភ្លាមៗ។នេះអាចជួយរកឱ្យឃើញបញ្ហាទាន់ពេល និងការពារកុំឱ្យវាលេចចេញជាបញ្ហាធំ ដែលមានតម្លៃថ្លៃជាងក្នុងការជួសជុល។
4. ជៀសវាងការជិះកង់កម្ដៅ
ថ្មក្រានីតងាយនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព ហើយការជិះកង់កម្ដៅគួរតែត្រូវបានជៀសវាង។ការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពយ៉ាងឆាប់រហ័សអាចបណ្តាលឱ្យថ្មក្រានីតពង្រីក និងចុះកិច្ចសន្យា ដែលនាំឱ្យមានការប្រេះ ឬឡើងប៉ោងនៃផ្ទៃ។ការរក្សាសីតុណ្ហភាពមានស្ថេរភាពនៅក្នុងបន្ទប់កែច្នៃអាចជួយការពារកុំឱ្យវាកើតឡើង។លើសពីនេះទៀត វាជាការសំខាន់ណាស់ក្នុងការជៀសវាងការដាក់វត្ថុក្តៅនៅលើផ្ទៃថ្មក្រានីតដើម្បីការពារការឆក់កម្ដៅ។
សរុបសេចក្តីមក ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ជាទូទៅនៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិដ៏ប្រសើររបស់វា ដែលរួមចំណែកដល់ការផលិត wafers ដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ដើម្បីធានាបាននូវប្រសិទ្ធភាពអតិបរមា និងភាពជាប់បានយូរ ការគ្រប់គ្រងត្រឹមត្រូវ ការសម្អាតជាប្រចាំ ការថែទាំបង្ការ និងជៀសវាងការជិះកង់កម្ដៅគឺជារឿងសំខាន់។ការអនុវត្តទាំងនេះអាចជួយរក្សាឧបករណ៍ឱ្យស្ថិតក្នុងស្ថានភាពល្អប្រសើរ ដែលជាលទ្ធផលទទួលបានផលិតភាពដ៏ល្អប្រសើរ និង wafers គុណភាពខ្ពស់។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៧ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៣