នៅក្នុងឧបករណ៍ផលិត semiconductor និង optoelectronic ថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងផ្នែកសំខាន់ៗដូចជា វេទិកាចលនាភាពជាក់លាក់ មូលដ្ឋានផ្លូវដែក រចនាសម្ព័ន្ធគាំទ្រភាពឯកោរំញ័រ និងស្រទាប់ខាងក្រោមនៃការដំឡើងផ្នែកអុបទិក។ ផ្នែកទាំងនេះមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពជាក់លាក់ ស្ថេរភាព និងការអត់ធ្មត់បរិស្ថាន។ លក្ខណៈនៃថ្មក្រានីតអាចបំពេញបានយ៉ាងជាក់លាក់នូវតម្រូវការដ៏តឹងរឹងនៃឧស្សាហកម្ម semiconductor និង optoelectronic ។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការវិភាគលើសេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធីជាក់លាក់ និងអត្ថប្រយោជន៍៖
I. ផ្នែកកម្មវិធីសំខាន់ៗ
វេទិកាចលនាច្បាស់លាស់ (ដូចជាវេទិកា wafer សម្រាប់ម៉ាស៊ីន photolithography និងម៉ាស៊ីនភ្ជាប់)
វាត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្ទុកសមាសធាតុជាក់លាក់ដូចជា wafers និង optical lenses ដែលសម្រេចបាននូវការបកប្រែ និងចលនាបង្វិលជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវតាមមាត្រដ្ឋាន nano ។
ឧបករណ៍ធម្មតា៖ តារាងការងាររបស់ម៉ាស៊ីន photolithography វេទិកាកំណត់ទីតាំងនៃឧបករណ៍វាស់។
ណែនាំផ្លូវដែក និងរចនាសម្ព័ន្ធស៊ុម
ក្នុងនាមជាមូលដ្ឋានដំឡើងសម្រាប់មគ្គុទ្ទេសក៍លីនេអ៊ែរនិងមគ្គុទ្ទេសក៍អណ្តែតខ្យល់វាគាំទ្រយន្តការចលនាស្នូលនៃឧបករណ៍។
ឧបករណ៍ធម្មតា៖ ស៊ុមមេកានិចនៃឧបករណ៍វេចខ្ចប់ semiconductor និងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យអុបទិក។
ការគាំទ្រភាពឯកោរំញ័រ និងរចនាសម្ព័ន្ធស្ថេរភាព
វាត្រូវបានប្រើដើម្បីញែករំញ័រខាងក្រៅ (ដូចជារំញ័រពីជាន់រោងចក្រ ឬកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍) ធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃប្រព័ន្ធអុបទិក ឬម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់។
សេណារីយ៉ូធម្មតា៖ ការគាំទ្រមូលដ្ឋានសម្រាប់មីក្រូទស្សន៍អុបទិក និងឡាស៊ែរ interferometer ។
ស្រទាប់ខាងក្រោមម៉ោនសមាសធាតុអុបទិក
ជួសជុលឧបករណ៍អុបទិក ដូចជាកញ្ចក់ ព្រីស និងឡាស៊ែរ ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការតម្រឹមនៃប្រព័ន្ធផ្លូវអុបទិក។
ឧបករណ៍ធម្មតា៖ ឧបករណ៍វេចខ្ចប់អុបទិក ប្រព័ន្ធភ្ជាប់ខ្សែកាបអុបទិក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី២៩ ខែឧសភា ឆ្នាំ២០២៥