សមា្ភារៈថ្មក្រានីតត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ដោយសារតែលក្ខណៈដ៏ល្អរបស់ពួកគេ ដូចជាស្ថេរភាពខ្ពស់ ការពង្រីកកំដៅទាប និងភាពធន់ទ្រាំខ្ពស់ចំពោះការ corrosion ។លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យថ្មក្រានីតជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ការសាងសង់សមាសធាតុដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ។
នៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការដឹកជញ្ជូន wafers ឆ្លងកាត់ដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃដំណើរការផលិត។ភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវគឺជាតម្រូវការចាំបាច់សម្រាប់ប្រព័ន្ធទាំងនេះ ព្រោះថាសូម្បីតែគម្លាតបន្តិចបន្តួចក៏អាចប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការទាំងមូលផងដែរ។ដូច្នេះសមាសធាតុនៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ត្រូវតែធ្វើពីវត្ថុធាតុដើមដែលមានគុណភាពខ្ពស់ហើយថ្មក្រានីតត្រូវនឹងលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យទាំងនោះ។
ផ្នែកខ្លះនៃប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ដែលត្រូវបានផលិតចេញពីវត្ថុធាតុដើមថ្មក្រានីតរួមមាន:
1. តារាង Vacuum Chuck
តារាងចង្កឹះបូមធូលីត្រូវបានប្រើសម្រាប់កាន់ wafer ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការហើយវាត្រូវតែមានផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាពដើម្បីធានាថា wafer មិនខូច។ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ធ្វើតុនេះព្រោះវាមានផ្ទៃរាបស្មើ មិនមានរន្ធញើស ដែលផ្តល់នូវស្ថេរភាពនិងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។លើសពីនេះទៀតថ្មក្រានីតមានមេគុណទាបនៃការពង្រីកកំដៅដែលធ្វើឱ្យវាធន់នឹងការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រនៅក្នុង wafer ។
2. ដំណាក់កាលខ្យល់អាកាស
ដំណាក់កាលខ្យល់អាកាសត្រូវបានប្រើដើម្បីដឹកជញ្ជូន wafer ឆ្លងកាត់ដំណាក់កាលផ្សេងគ្នានៃដំណើរការផលិត។ដំណាក់កាលត្រូវបានវិស្វកម្មដើម្បីផ្តល់នូវចលនាមិនកកិត ដែលទាមទារភាពជាក់លាក់ និងស្ថេរភាពខ្ពស់។ថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅក្នុងកម្មវិធីនេះព្រោះវាជាថ្មរឹង និងរឹង ហើយវាធន់នឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយ និងការពាក់តាមពេលវេលា។
3. ការណែនាំអំពីចលនាលីនេអ៊ែរ
មគ្គុទ្ទេសក៍ចលនាលីនេអ៊ែរត្រូវបានប្រើដើម្បីណែនាំដំណាក់កាលនៃការផ្ទុកខ្យល់ ហើយពួកវាត្រូវតែមានទីតាំងត្រឹមត្រូវដើម្បីកាត់បន្ថយកំហុស។ថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើដើម្បីសាងសង់មគ្គុទ្ទេសក៍នេះព្រោះវាមានស្ថេរភាពនិងកម្លាំងមេកានិចល្អឥតខ្ចោះ។សម្ភារៈក៏មានភាពធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion ដែលធានាបាននូវភាពជាប់បានយូរនៃប្រព័ន្ធណែនាំ។
4. ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់
ឧបករណ៍ Metrology ត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់វិមាត្រ និងលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់ wafer កំឡុងពេលដំណើរការផលិត។ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់សាងសង់ឧបករណ៍នេះព្រោះវាមានភាពរឹងខ្ពស់ ការពង្រីកទាប និងការខូចទ្រង់ទ្រាយតិចតួចបំផុតនៅក្រោមបន្ទុក។ជាងនេះទៅទៀត ស្ថេរភាពកម្ដៅរបស់ថ្មក្រានីតធានាថាឧបករណ៍វាស់ស្ទង់នៅតែមានស្ថេរភាព និងត្រឹមត្រូវតាមពេលវេលា។
សរុបសេចក្តីមក ឧស្សាហកម្ម semiconductor ពឹងផ្អែកលើភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវ ហើយសមា្ភារៈថ្មក្រានីតបានបង្ហាញពីភាពជឿជាក់ខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាពក្នុងដំណើរការផលិត។ជាមួយនឹងសមាសធាតុសំខាន់ៗជាច្រើននៅក្នុងប្រព័ន្ធផ្ទេរ wafer ដែលទាមទារស្ថេរភាពខ្ពស់ ភាពជាក់លាក់ និងការពង្រីកកំដៅទាប វិស្វករបានងាកទៅរកសម្ភារៈថ្មក្រានីត ដើម្បីបំពេញតម្រូវការសំខាន់ៗទាំងនេះ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ១៩ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤