គ្រែក្រានីតគឺជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់នៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ផ្សេងៗ។ក្នុងនាមជាសម្ភារៈដែលមានស្ថេរភាព និងរឹងខ្ពស់ ថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយជាមូលដ្ឋានសម្រាប់ឧបករណ៍កែច្នៃ semiconductor ។វាត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយមេគុណពង្រីកកំដៅទាប ស្ថេរភាពវិមាត្រខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះ គ្រែថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅបំផុតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor បីប្រភេទផ្សេងគ្នា - ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ ឧបករណ៍ lithography និងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ។
ឧបករណ៍ Metrology ត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់វែង និងរកឃើញវិមាត្រសំខាន់របស់ឧបករណ៍ semiconductor ។វាដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការរក្សាគុណភាព និងភាពស៊ីសង្វាក់នៃដំណើរការផលិត semiconductor ។ឧបករណ៍ Metrology រួមមានឧបករណ៍ដូចជា មីក្រូទស្សន៍អុបទិក មីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុង និងមីក្រូទស្សន៍កម្លាំងអាតូមិក (AFMs)។ដោយសារដំណើរការនៃឧបករណ៍វាស់ទាំងនេះអាស្រ័យលើស្ថេរភាព ភាពជាក់លាក់ និងភាពធន់ទ្រាំនឹងរំញ័រ ថ្មក្រានីតគឺជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់សម្ភារៈគ្រែរបស់ពួកគេ។ឯកសណ្ឋាន និងស្ថេរភាពនៃគ្រែថ្មក្រានីតផ្តល់នូវវេទិកាដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលបង្កើនភាពត្រឹមត្រូវនិងភាពជឿជាក់របស់ពួកគេ។
ឧបករណ៍ Lithography ត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើគំរូមីក្រូឈីបនៅលើ wafer ។ដំណើរការ lithography តម្រូវឱ្យមានកម្រិតខ្ពស់នៃភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវដើម្បីបង្កើតសៀគ្វីស្មុគស្មាញ និងកែលម្អដំណើរការបន្ទះឈីប។ឧបករណ៍ lithography រួមមានប្រព័ន្ធ stepper និង scanner ដែលប្រើពន្លឺដើម្បីផ្ទេររូបភាពទៅ wafer ។ដោយសារដំណើរការ lithography មានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការផ្លាស់ប្តូររំញ័រ និងកម្ដៅ គ្រែដែលមានគុណភាពខ្ពស់គឺចាំបាច់ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាព និងដំណើរការឡើងវិញនៃដំណើរការ lithography ។គ្រែថ្មក្រានីតផ្តល់នូវស្ថេរភាពដែលត្រូវការ និងដំណើរការរំញ័រដ៏តឹងរ៉ឹងសម្រាប់ប្រព័ន្ធ lithography ។គ្រែថ្មក្រានីតអនុញ្ញាតឱ្យប្រព័ន្ធ stepper ឬស្កែនស្កែនរក្សាទំនាក់ទំនងលំហច្បាស់លាស់ ធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ និងគុណភាពផលិតផលចុងក្រោយ។
ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យត្រូវបានប្រើដើម្បីរកមើលពិការភាពណាមួយនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យរួមមានប្រព័ន្ធដូចជា មីក្រូទស្សន៍ស្កែនឡាស៊ែរ មីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុង និងមីក្រូទស្សន៍អុបទិក។ជាមួយនឹងតម្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ទាំងនេះមានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ ស្ថេរភាព និងធន់នឹងរំញ័រ គ្រែថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិក និងស្ថេរភាពវិមាត្ររបស់ថ្មក្រានីតជួយក្នុងភាពឯកោរំញ័រ ដែលបង្កើនភាពត្រឹមត្រូវនៃលទ្ធផលនៃឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ។
សរុបមក គ្រែថ្មក្រានីតមានសារៈសំខាន់ចំពោះឧស្សាហកម្ម semiconductor ហើយត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងប្រភេទឧបករណ៍ផ្សេងៗ។លក្ខណៈសម្បត្តិពិសេសរបស់វា ដូចជាស្ថេរភាពវិមាត្រ មេគុណការពង្រីកកំដៅទាប និងស្ថេរភាពមេកានិចដ៏ល្អ ធ្វើឱ្យថ្មក្រានីតជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់សម្ភារៈគ្រែនៃឧបករណ៍ semiconductor ។ដោយសារគ្រែថ្មក្រានីតដែលមានគុណភាពខ្ពស់ផ្តល់នូវស្ថេរភាព ភាពជាក់លាក់ និងធន់នឹងរំញ័រចាំបាច់ដល់ឧបករណ៍ semiconductor ទីបំផុតវាធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃផលិតផលចុងក្រោយ។ដូច្នេះការប្រើប្រាស់គ្រែថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor គឺប្រាកដថានឹងបន្តសម្រាប់ឆ្នាំខាងមុខ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ០៣-មេសា-២០២៤