ដំណោះស្រាយឧស្សាហកម្មសម្រាប់ឧស្សាហកម្មត្រួតពិនិត្យផ្នែកភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត?

ស្ដង់ដារការធ្វើតេស្តសមាសធាតុភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត
ស្តង់ដារភាពត្រឹមត្រូវវិមាត្រ
យោងតាមបទដ្ឋានឧស្សាហកម្មដែលពាក់ព័ន្ធ ការអត់ធ្មត់វិមាត្រសំខាន់ៗនៃសមាសធាតុភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតចាំបាច់ត្រូវគ្រប់គ្រងក្នុងចន្លោះតូចបំផុត។ យកវេទិការវាស់ថ្មក្រានីតទូទៅជាឧទាហរណ៍ ប្រវែង និងទទឹងរបស់វាអត់ធ្មត់គឺនៅចន្លោះ ± 0.05mm និង ±0.2mm ហើយតម្លៃជាក់លាក់អាស្រ័យលើទំហំនៃសមាសភាគ និងតម្រូវការភាពត្រឹមត្រូវនៃសេណារីយ៉ូកម្មវិធី។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងវេទិកាសម្រាប់ការកិនកញ្ចក់អុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ការអត់ធ្មត់វិមាត្រអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងនៅ± 0.05mm ខណៈពេលដែលភាពអត់ធ្មត់វិមាត្រនៃវេទិកាត្រួតពិនិត្យម៉ាស៊ីនទូទៅអាចបន្ធូរបន្ថយដល់ ±0.2mm។ សម្រាប់វិមាត្រខាងក្នុងដូចជាជំរៅ និងទទឹងរន្ធ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការអត់ធ្មត់ក៏តឹងរ៉ឹងផងដែរ ដូចជារន្ធម៉ោននៅលើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលប្រើសម្រាប់ដំឡើងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាពជាក់លាក់ ភាពអត់ធ្មត់នៃជំរៅគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងនៅ± 0.02mm ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាពនៃការដំឡើងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។ ន
ស្តង់ដារភាពរាបស្មើ
ភាពរាបស្មើគឺជាសន្ទស្សន៍ដ៏សំខាន់នៃសមាសធាតុនៃភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត។ យោងតាមស្ដង់ដារជាតិ/ស្តង់ដារអាឡឺម៉ង់ ការអត់ធ្មត់លើផ្ទៃរាបស្មើនៃថ្នាក់ជាក់លាក់ផ្សេងគ្នានៃវេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវបានបញ្ជាក់យ៉ាងច្បាស់។ ភាពធន់នឹងភាពរាបស្មើនៃវេទិកាសម្រាប់ថ្នាក់ 000 ត្រូវបានគណនាជា 1 × (1 + d / 1000)μm (d ជាប្រវែងអង្កត់ទ្រូង ឯកតា mm) 2 × (1 + d/1000)μm សម្រាប់ថ្នាក់ 00, 4 × (1 + d/1000)μm សម្រាប់ថ្នាក់ 0 និង 8 × 10 m (ឧទាហរណ៍ 1 ថ្នាក់) 00 វេទិកាថ្មក្រានីតដែលមានអង្កត់ទ្រូងនៃ 1000mm មានការអត់ធ្មត់ផ្ទះល្វែងនៃ 2 × (1 + 1000/1000)μm = 4μm។ នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ដូចជាវេទិកា lithography ក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ជាធម្មតាតម្រូវឱ្យបំពេញតាមស្តង់ដារកម្រិត 000 ឬ 00 ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្លូវផ្សព្វផ្សាយពន្លឺនៅក្នុងដំណើរការ lithography បន្ទះឈីប និងជៀសវាងការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលបណ្តាលមកពីកំហុសនៃភាពរាបស្មើរបស់វេទិកា។ ន
ស្តង់ដារភាពរដុបលើផ្ទៃ
ភាពរដុបលើផ្ទៃនៃសមាសធាតុភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើភាពត្រឹមត្រូវនៃការផ្គូផ្គង និងដំណើរការជាមួយសមាសធាតុផ្សេងទៀត។ នៅក្រោមកាលៈទេសៈធម្មតា ភាពរដុបលើផ្ទៃ Ra នៃបន្ទះថ្មក្រានីតដែលប្រើសម្រាប់សមាសធាតុអុបទិកគួរតែឈានដល់ 0.1μm-0.4μm ដើម្បីធានាថាសមាសធាតុអុបទិកអាចរក្សាបាននូវដំណើរការអុបទិកល្អបន្ទាប់ពីការដំឡើង និងកាត់បន្ថយការខ្ចាត់ខ្ចាយពន្លឺដែលបណ្តាលមកពីផ្ទៃមិនស្មើគ្នា។ សម្រាប់វេទិកាថ្មក្រានីតធម្មតាដែលប្រើសម្រាប់ការធ្វើតេស្តម៉ាស៊ីន ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra អាចត្រូវបានបន្ធូរបន្ថយដល់ 0.8μm-1.6μm។ ភាពរដុបលើផ្ទៃជាធម្មតាត្រូវបានរកឃើញដោយប្រើឧបករណ៍ជំនាញដូចជា profiler ដែលកំណត់ថាតើតម្លៃនៃភាពរដុបលើផ្ទៃត្រូវនឹងស្តង់ដារដោយវាស់គម្លាតមធ្យមនព្វន្ធនៃទម្រង់មីក្រូទស្សន៍ផ្ទៃ។ ន
ស្តង់ដារនៃការរកឃើញពិការភាពខាងក្នុង
ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាពផ្ទៃក្នុងនៃសមាសធាតុជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត វាចាំបាច់ក្នុងការរកឃើញយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនូវពិការភាពខាងក្នុងរបស់ពួកគេ។ នៅពេលប្រើការត្រួតពិនិត្យអ៊ុលត្រាសោន យោងតាមស្តង់ដារពាក់ព័ន្ធ នៅពេលដែលវាត្រូវបានរកឃើញថាមានប្រហោង ស្នាមប្រេះ និងពិការភាពផ្សេងទៀតដែលធំជាងទំហំជាក់លាក់មួយ (ដូចជាអង្កត់ផ្ចិតធំជាង 2mm) សមាសធាតុត្រូវបានវិនិច្ឆ័យថាមិនមានគុណភាព។ នៅក្នុងការត្រួតពិនិត្យកាំរស្មីអ៊ិច ប្រសិនបើរូបភាពកាំរស្មីអ៊ិចបង្ហាញពិការភាពខាងក្នុងជាបន្តបន្ទាប់ដែលប៉ះពាល់ដល់កម្លាំងរចនាសម្ព័ន្ធនៃធាតុផ្សំ ដូចជាពិការភាពលីនេអ៊ែរដែលមានប្រវែងលើសពី 10 មីលីម៉ែត្រ ឬពិការភាពដែលពឹងផ្អែកខ្លាំងជាមួយផ្ទៃដីលើសពី 50 មីលីម៉ែត្រ នោះសមាសធាតុក៏មិនបំពេញតាមស្តង់ដារគុណភាពផងដែរ។ តាមរយៈការអនុវត្តយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៃស្តង់ដារទាំងនេះ វាអាចជៀសវាងបញ្ហាធ្ងន់ធ្ងរដូចជាការបាក់ឆ្អឹងនៃសមាសធាតុដែលបង្កឡើងដោយពិការភាពខាងក្នុងអំឡុងពេលប្រើប្រាស់ និងធានាសុវត្ថិភាពនៃប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ និងស្ថេរភាពនៃគុណភាពផលិតផល។ ន
ស្ថាបត្យកម្មដំណោះស្រាយអធិការកិច្ចឧស្សាហកម្ម
ការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍វាស់ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
ដើម្បីជម្នះបញ្ហារកឃើញធាតុផ្សំនៃថ្មក្រានីត ចាំបាច់ត្រូវណែនាំឧបករណ៍វាស់កម្រិតខ្ពស់។ ឡាស៊ែរ interferometer មានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ក្នុងប្រវែង និងការវាស់មុំ ហើយអាចវាស់បានយ៉ាងត្រឹមត្រូវនូវវិមាត្រសំខាន់ៗនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីត ហើយភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងរបស់វាអាចឡើងដល់ nanometers ដែលអាចបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរកឃើញនៃភាពអត់ធ្មត់វិមាត្រដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ កម្រិតអេឡិចត្រូនិចអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់ស្ទង់ភាពរាបស្មើនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតវេទិកាបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងត្រឹមត្រូវ តាមរយៈការវាស់វែងពហុចំណុច និងរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយក្បួនដោះស្រាយវិជ្ជាជីវៈ អាចគូរទម្រង់ភាពរាបស្មើត្រឹមត្រូវ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញរហូតដល់ 0.001mm/m ។ លើសពីនេះទៀត ម៉ាស៊ីនស្កែនអុបទិក 3D អាចស្កេនផ្ទៃស្មុគស្មាញនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតបានយ៉ាងលឿន ដើម្បីបង្កើតគំរូបីវិមាត្រពេញលេញ ដែលអាចរកឃើញគម្លាតរូបរាងបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវដោយប្រៀបធៀបជាមួយគំរូរចនា ដោយផ្តល់នូវការគាំទ្រទិន្នន័យដ៏ទូលំទូលាយសម្រាប់ការវាយតម្លៃគុណភាពផលិតផល។ ន
ការអនុវត្តបច្ចេកវិជ្ជាតេស្តមិនបំផ្លិចបំផ្លាញ
នៅក្នុងទិដ្ឋភាពនៃការគំរាមកំហែងសក្តានុពលនៃពិការភាពថ្មក្រានីតខាងក្នុងចំពោះដំណើរការនៃសមាសភាគ ការធ្វើតេស្តដែលមិនបំផ្លាញគឺចាំបាច់។ ឧបករណ៍ចាប់កំហុសអ៊ុលត្រាសោនអាចបញ្ចេញអ៊ុលត្រាសោនប្រេកង់ខ្ពស់ នៅពេលដែលរលកសំឡេងជួបប្រទះនឹងស្នាមប្រេះ រន្ធ និងពិការភាពផ្សេងទៀតនៅខាងក្នុងថ្មក្រានីត វានឹងឆ្លុះបញ្ចាំង និងរាយប៉ាយ ដោយការវិភាគរលកដែលឆ្លុះបញ្ចាំង វាអាចវិនិច្ឆ័យទីតាំង ទំហំ និងរូបរាងនៃពិការភាពបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ។ សម្រាប់ការរកឃើញពិការភាពតូចៗ បច្ចេកវិទ្យារកឃើញកំហុសកាំរស្មីអ៊ិចមានអត្ថប្រយោជន៍ជាង វាអាចជ្រាបចូលទៅក្នុងសម្ភារៈថ្មក្រានីតដើម្បីបង្កើតរូបភាពនៃរចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុង បង្ហាញយ៉ាងច្បាស់នូវពិការភាពដែលពិបាកនឹងរកឃើញដោយភ្នែកទទេ ដើម្បីធានាថាគុណភាពខាងក្នុងនៃធាតុផ្សំគឺអាចទុកចិត្តបាន។ ន
ប្រព័ន្ធកម្មវិធីរាវរកឆ្លាតវៃ
ប្រព័ន្ធកម្មវិធីរាវរកឆ្លាតវៃដ៏មានអានុភាព គឺជាមជ្ឈមណ្ឌលស្នូលនៃដំណោះស្រាយទាំងមូល។ ប្រព័ន្ធអាចសង្ខេប វិភាគ និងដំណើរការទិន្នន័យដែលប្រមូលបានដោយឧបករណ៍ធ្វើតេស្តគ្រប់ប្រភេទក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង។ ដោយប្រើក្បួនដោះស្រាយបញ្ញាសិប្បនិមិត្ត កម្មវិធីអាចកំណត់អត្តសញ្ញាណទិន្នន័យដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងកំណត់ថាតើសមាសធាតុថ្មក្រានីតត្រូវនឹងស្តង់ដារគុណភាព ធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពនៃការរកឃើញ និងភាពត្រឹមត្រូវ។ ជាឧទាហរណ៍ តាមរយៈការបណ្ដុះបណ្ដាលទិន្នន័យអធិការកិច្ចយ៉ាងច្រើនជាមួយនឹងគំរូសិក្សាស៊ីជម្រៅ កម្មវិធីអាចកំណត់ប្រភេទ និងភាពធ្ងន់ធ្ងរនៃពិការភាពលើផ្ទៃបានយ៉ាងរហ័ស និងត្រឹមត្រូវ ជៀសវាងការវិនិច្ឆ័យខុសដែលអាចបណ្តាលមកពីការបកស្រាយដោយដៃ។ ជាមួយគ្នានេះ ប្រព័ន្ធសូហ្វវែរក៏អាចបង្កើតរបាយការណ៍សាកល្បងលម្អិត កត់ត្រាទិន្នន័យសាកល្បង និងលទ្ធផលនៃសមាសធាតុនីមួយៗ ដែលងាយស្រួលសម្រាប់សហគ្រាសក្នុងការធ្វើការត្រួតពិនិត្យគុណភាព និងការគ្រប់គ្រង។ ន
អត្ថប្រយោជន៍នៃ ZHHIMG នៅក្នុងដំណោះស្រាយអធិការកិច្ច
ក្នុងនាមជាអ្នកដឹកនាំឧស្សាហកម្ម ZHHIMG បានប្រមូលនូវបទពិសោធន៍ដ៏សំបូរបែបនៅក្នុងផ្នែកនៃការត្រួតពិនិត្យផ្នែកភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត។ ក្រុមហ៊ុនមានក្រុម R & D ដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ ប្តេជ្ញាចិត្តឥតឈប់ឈរចំពោះការច្នៃប្រឌិត និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃបច្ចេកវិទ្យាសាកល្បង ស្របតាមតម្រូវការពិសេសរបស់អតិថិជននូវដំណោះស្រាយសាកល្បងតាមតម្រូវការ។ ZHHIMG បានណែនាំឧបករណ៍ធ្វើតេស្តកម្រិតខ្ពស់ជាអន្តរជាតិ និងបានបង្កើតប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដើម្បីធានាថារាល់ការធ្វើតេស្តអាចឈានដល់កម្រិតកំពូលនៃឧស្សាហកម្ម។ នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃសេវាកម្ម ក្រុមហ៊ុនផ្តល់សេវាកម្មតែម្តងគត់ ចាប់ពីការរចនាគ្រោងការណ៍សាកល្បង ការដំឡើងឧបករណ៍ និងការដាក់ឱ្យដំណើរការការបណ្តុះបណ្តាលបុគ្គលិក ដើម្បីធានាថា អតិថិជនអាចអនុវត្តដំណោះស្រាយសាកល្បងដោយរលូន និងបង្កើនសមត្ថភាពត្រួតពិនិត្យគុណភាពផលិតផល។