នៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រដ៏ច្បាស់លាស់ ប្រព័ន្ធផ្ទេរវ៉ាហ្វឺរគឺដូចជា "ខ្សែជីវិតនៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មបន្ទះឈីប" ហើយស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវរបស់វាកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវអត្រាទិន្នផលនៃបន្ទះឈីប។ ប្រព័ន្ធផ្ទេរវ៉ាហ្វឺរជំនាន់ថ្មីរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងបដិវត្តន៍នូវម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរជាមួយនឹងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ហើយគុណសម្បត្តិពិសេសនៃវត្ថុធាតុដើមថ្មក្រានីតគឺជាលេខកូដស្នូលដើម្បីដោះសោការបញ្ជូនដែលមានដំណើរការខ្ពស់។
មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត៖ ការកសាង "គ្រឹះរឹងមាំដូចថ្ម" សម្រាប់ការបញ្ជូនដែលមានស្ថេរភាព
ថ្មក្រានីត ដែលបានឆ្លងកាត់ការចម្រាញ់ភូគព្ភសាស្ត្ររាប់រយលានឆ្នាំ មានលក្ខណៈពិសេសនៃការគ្រីស្តាល់រ៉ែខាងក្នុងក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាន។ លក្ខណៈធម្មជាតិនេះធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈមូលដ្ឋានដ៏ល្អសម្រាប់ប្រព័ន្ធផ្ទេរបន្ទះសៀគ្វី។ នៅក្នុងបរិយាកាសស្មុគស្មាញនៃបន្ទប់សម្អាតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ថ្មក្រានីត ដែលមានមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត (ត្រឹមតែ 5-7 ×10⁻⁶/℃) អាចទប់ទល់នឹងកំដៅដែលបង្កើតក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ និងឥទ្ធិពលនៃការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពបរិស្ថាន ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃទំហំមូលដ្ឋាន និងជៀសវាងគម្លាតផ្លូវបញ្ជូនដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ។ ការអនុវត្តការរំញ័រដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វាអាចស្រូបយករំញ័រមេកានិចដែលបង្កើតក្នុងអំឡុងពេលចាប់ផ្តើម ការបិទ និងការបង្កើនល្បឿននៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ក៏ដូចជាការជ្រៀតជ្រែកខាងក្រៅដែលបង្កឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍ផ្សេងទៀតនៅក្នុងសិក្ខាសាលា ដោយផ្តល់នូវវេទិកាដែលមានស្ថេរភាពជាមួយនឹង "ការញ័រសូន្យ" សម្រាប់ការបញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វី។
ទន្ទឹមនឹងនេះ ស្ថេរភាពគីមីនៃថ្មក្រានីតធានាថាវាមិនច្រេះ ឬច្រែះនៅក្នុងសិក្ខាសាលាស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលសារធាតុប្រតិកម្មអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងងាយនឹងបង្កជាឧស្ម័ន ហើយត្រូវការអនាម័យខ្ពស់ ដោយហេតុនេះជៀសវាងផលប៉ះពាល់លើភាពត្រឹមត្រូវនៃការបញ្ជូនដោយសារតែភាពចាស់នៃសម្ភារៈ ឬការស្រូបយកសារធាតុបំពុល។ លក្ខណៈផ្ទៃរលោង និងក្រាស់អាចកាត់បន្ថយការស្អិតជាប់នឹងធូលីបានកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាព ដោយបំពេញតាមស្តង់ដារគ្មានធូលីយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៃបន្ទប់ស្អាត និងលុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការចម្លងរោគបន្ទះសៀគ្វីពីឫស។
ឥទ្ធិពល "ភាពជាដៃគូមាស" នៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងថ្មក្រានីត
ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ដែលមានលក្ខណៈគ្មានគម្លាតបញ្ជូនមេកានិច សន្ទុះខ្ពស់ និងល្បឿនឆ្លើយតបខ្ពស់ ផ្តល់អត្ថប្រយោជន៍ដល់ការបញ្ជូនវ៉ាហ្វឺរែននៃ "លឿន ត្រឹមត្រូវ និងមានស្ថេរភាព"។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតផ្តល់នូវវេទិកាទ្រទ្រង់ដ៏រឹងមាំ និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់វា។ ទាំងពីរធ្វើការរួមគ្នាដើម្បីសម្រេចបាននូវការកើនឡើងនៃដំណើរការ។ នៅពេលដែលម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរជំរុញឧបករណ៍ផ្ទុកវ៉ាហ្វឺរែនឱ្យដំណើរការលើផ្លូវមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ភាពរឹងមាំ និងស្ថេរភាពខ្លាំងនៃមូលដ្ឋានធានានូវការបញ្ជូនកម្លាំងជំរុញម៉ូទ័រប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយជៀសវាងការបាត់បង់កម្លាំង ឬការយឺតយ៉ាវនៃការបញ្ជូនដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយមូលដ្ឋាន។
ដោយសារតម្រូវការសម្រាប់ភាពជាក់លាក់នៃមាត្រដ្ឋានណាណូ ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរអាចសម្រេចបាននូវការគ្រប់គ្រងការផ្លាស់ទីលំនៅកម្រិតអនុមីក្រូ។ លក្ខណៈដំណើរការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត (ជាមួយនឹងកំហុសរាបស្មើដែលគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±1μm) ត្រូវគ្នាយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងដ៏ច្បាស់លាស់នៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ដោយធានាថាកំហុសទីតាំងក្នុងអំឡុងពេលបញ្ជូនវ៉ាហ្វឺរគឺតិចជាង ±5μm។ មិនថាវាជាការបញ្ជូនល្បឿនលឿនក្នុងចំណោមឧបករណ៍ដំណើរការផ្សេងៗ ឬការចតដ៏ច្បាស់លាស់សម្រាប់ការប្រគល់វ៉ាហ្វឺរ ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចធានាបាននូវ "គម្លាតសូន្យ និងញ័រសូន្យ" នៅក្នុងការបញ្ជូនវ៉ាហ្វឺរ។
ការផ្ទៀងផ្ទាត់ការអនុវត្តឧស្សាហកម្ម៖ ការកែលម្អទ្វេដងនៃប្រសិទ្ធភាព និងអត្រាទិន្នផល
បន្ទាប់ពីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវប្រព័ន្ធផ្ទេរវ៉ាហ្វឺររបស់ខ្លួន សហគ្រាសអេឡិចត្រូនិកឈានមុខគេលើពិភពលោកមួយបានប្រើប្រាស់ដំណោះស្រាយម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ + មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផ្ទេរវ៉ាហ្វឺរចំនួន 40% កាត់បន្ថយអត្រាកើតឡើងនៃកំហុសដូចជាការប៉ះទង្គិច និងអុហ្វសិតក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផ្ទេរចំនួន 85% និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាទិន្នផលសរុបនៃបន្ទះឈីបចំនួន 6%។ នៅពីក្រោយទិន្នន័យគឺជាការធានានៃស្ថេរភាពបញ្ជូនដែលផ្តល់ដោយមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត និងប្រសិទ្ធភាពសហការល្បឿនលឿន និងច្បាស់លាស់នៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ដែលកាត់បន្ថយការខាតបង់ និងកំហុសនៅក្នុងដំណើរការបញ្ជូនវ៉ាហ្វឺរយ៉ាងច្រើន។
ចាប់ពីលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈរហូតដល់ការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ ចាប់ពីគុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្តរហូតដល់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ជាក់ស្តែង ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតបានកំណត់ឡើងវិញនូវស្តង់ដារនៃប្រព័ន្ធផ្ទេរបន្ទះសៀគ្វី។ នៅពេលអនាគត នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័ររីកចម្រើនឆ្ពោះទៅរកដំណើរការ 3nm និង 2nm សម្ភារៈថ្មក្រានីតប្រាកដជានឹងបន្តចាក់បញ្ចូលកម្លាំងចលករយ៉ាងខ្លាំងទៅក្នុងការអភិវឌ្ឍឧស្សាហកម្មជាមួយនឹងគុណសម្បត្តិដែលមិនអាចជំនួសបានរបស់វា។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៤ ខែឧសភា ឆ្នាំ ២០២៥