បានវាស់ស្ថេរភាពកំដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor ។

ន
នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្ម semiconductor ភាពជាក់លាក់គឺជាខ្សែជីវិតនៃគុណភាពផលិតផល និងដំណើរការ។ ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ Semiconductor ជាតំណភ្ជាប់សំខាន់ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការផលិត កំណត់តម្រូវការតឹងរ៉ឹងស្ទើរតែលើស្ថេរភាពនៃសមាសធាតុស្នូលរបស់វា។ ក្នុងចំណោមពួកគេ វេទិកាថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏លេចធ្លោរបស់វា ដើរតួនាទីមិនអាចខ្វះបាននៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor ។ អត្ថបទនេះនឹងធ្វើការវិភាគស៊ីជម្រៅនៃការអនុវត្តស្ថេរភាពកម្ដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor តាមរយៈទិន្នន័យសាកល្បងជាក់ស្តែង។ ន
តម្រូវការដ៏តឹងរឹងសម្រាប់ស្ថេរភាពកម្ដៅនៃឧបករណ៍វាស់នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ដំណើរការផលិត semiconductor មានភាពស្មុគ្រស្មាញ និងច្បាស់លាស់បំផុត ហើយទទឹងនៃខ្សែសៀគ្វីនៅលើបន្ទះឈីបបានចូលដល់កម្រិតណាណូម៉ែត្រ។ នៅក្នុងដំណើរការផលិតភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បែបនេះ សូម្បីតែការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពតិចតួចបំផុតក៏អាចបណ្តាលឱ្យមានការពង្រីកកម្ដៅ និងការកន្ត្រាក់នៃសមាសធាតុឧបករណ៍ ដោយហេតុនេះបង្កឱ្យមានកំហុសក្នុងការវាស់វែង។ ជាឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការ photolithography ប្រសិនបើភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៃឧបករណ៍វាស់ស្ទង់មានគម្លាត 1 nanometer វាអាចបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាធ្ងន់ធ្ងរដូចជាសៀគ្វីខ្លី ឬសៀគ្វីបើកចំហនៅក្នុងសៀគ្វីនៅលើបន្ទះឈីបដែលនាំទៅដល់ការចោលបន្ទះឈីប។ យោងតាមស្ថិតិទិន្នន័យឧស្សាហកម្ម រាល់ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព 1 ℃ វេទិកាឧបករណ៍វាស់ស្ទង់សម្ភារៈលោហៈប្រពៃណីអាចឆ្លងកាត់ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រនៃ nanometers ជាច្រើន។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកតម្រូវឱ្យមានភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងដើម្បីគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់± 0.1 nanometers ដែលធ្វើឱ្យស្ថេរភាពកម្ដៅជាកត្តាសំខាន់ក្នុងការកំណត់ថាតើឧបករណ៍វាស់ស្ទង់អាចបំពេញតម្រូវការនៃការផលិត semiconductor ដែរឬទេ។ ន

គុណសម្បត្តិទ្រឹស្តីនៃស្ថេរភាពកម្ដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីត
ថ្មក្រានីត ជាប្រភេទថ្មធម្មជាតិ មានគ្រីស្តាល់រ៉ែខាងក្នុងបង្រួម រចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់ និងឯកសណ្ឋាន និងមានអត្ថប្រយោជន៍ធម្មជាតិនៃស្ថេរភាពកម្ដៅ។ នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃថ្មក្រានីតមានកម្រិតទាបបំផុត ជាទូទៅមានចាប់ពី 4.5 ដល់ 6.5 × 10⁻⁶/K ។ ផ្ទុយទៅវិញ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃវត្ថុធាតុលោហធាតុទូទៅដូចជា លោហធាតុអាលុយមីញ៉ូមគឺខ្ពស់រហូតដល់ 23.8 × 10⁻⁶/K ដែលច្រើនដងច្រើនជាងថ្មក្រានីត។ នេះមានន័យថានៅក្រោមលក្ខខណ្ឌបំរែបំរួលសីតុណ្ហភាពដូចគ្នា ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រនៃវេទិកាថ្មក្រានីតមានទំហំតូចជាងវេទិកាលោហៈ ដែលអាចផ្តល់នូវសេចក្តីយោងរង្វាស់ដែលមានស្ថេរភាពជាងមុនសម្រាប់ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor ។ ន
លើសពីនេះទៀតរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់នៃថ្មក្រានីតផ្តល់ឱ្យវានូវឯកសណ្ឋានដ៏ល្អនៃចរន្តកំដៅ។ នៅពេលដែលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍បង្កើតកំដៅ ឬការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ វេទិកាថ្មក្រានីតអាចបញ្ចេញកំដៅបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងស្មើៗគ្នា ជៀសវាងការឡើងកំដៅក្នុងមូលដ្ឋាន ឬបាតុភូត overcooling ដោយហេតុនេះអាចរក្សាបាននូវភាពស្ថិតស្ថេរនៃសីតុណ្ហភាពទាំងមូលរបស់វេទិកា និងធានានូវស្ថេរភាពនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។ ន
ដំណើរការនិងវិធីសាស្រ្តនៃការវាស់វែងស្ថេរភាពកម្ដៅ
ដើម្បីវាយតម្លៃបានត្រឹមត្រូវនូវស្ថេរភាពកម្ដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor យើងបានរចនាគ្រោងការណ៍រង្វាស់យ៉ាងម៉ត់ចត់។ ជ្រើសរើសឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ wafer semiconductor ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលត្រូវបានបំពាក់ដោយបន្ទះថ្មក្រានីតកែច្នៃដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ នៅក្នុងបរិយាកាសពិសោធន៍ ជួរបំរែបំរួលនៃសីតុណ្ហភាពទូទៅនៅក្នុងសិក្ខាសាលាផលិតកម្ម semiconductor ត្រូវបានក្លែងធ្វើ ពោលគឺកំដៅបន្តិចម្តងៗពី 20 ℃ ទៅ 35 ℃ ហើយបន្ទាប់មកត្រជាក់ត្រឡប់ទៅ 20 ℃។ ដំណើរការទាំងមូលមានរយៈពេល 8 ម៉ោង។ ន
នៅលើវេទិកាថ្មក្រានីតនៃឧបករណ៍វាស់ វ៉ាហ្វឺស៊ីលីកុនស្តង់ដារដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានដាក់ ហើយឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាការផ្លាស់ទីលំនៅដែលមានភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតណាណូត្រូវបានប្រើដើម្បីតាមដានការផ្លាស់ប្តូរទីតាំងដែលទាក់ទងរវាង wafers ស៊ីលីកុន និងវេទិកាក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង។ ទន្ទឹមនឹងនេះ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាពដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ជាច្រើនត្រូវបានរៀបចំនៅទីតាំងផ្សេងៗគ្នានៅលើវេទិកា ដើម្បីត្រួតពិនិត្យការចែកចាយសីតុណ្ហភាពលើផ្ទៃវេទិកា។ ក្នុងអំឡុងពេលពិសោធន៍ ទិន្នន័យផ្លាស់ទីលំនៅ និងទិន្នន័យសីតុណ្ហភាពត្រូវបានកត់ត្រារៀងរាល់ 15 នាទីម្តង ដើម្បីធានាបាននូវភាពពេញលេញ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃទិន្នន័យ។ ន
ទិន្នន័យដែលបានវាស់វែង និងការវិភាគលទ្ធផល
ទំនាក់ទំនងរវាងការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាព និងការផ្លាស់ប្តូរទំហំវេទិកា
ទិន្នន័យពិសោធន៍បង្ហាញថានៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពកើនឡើងពី 20 ℃ទៅ 35 ℃ ការផ្លាស់ប្តូរទំហំលីនេអ៊ែរនៃវេទិកាថ្មក្រានីតគឺតូចខ្លាំងណាស់។ បន្ទាប់ពីការគណនាពេញដំណើរការកំដៅទាំងមូលការពង្រីកលីនេអ៊ែរអតិបរមានៃវេទិកាគឺត្រឹមតែ 0.3 nanometers ដែលទាបជាងជួរអត់ធ្មត់នៃកំហុសសម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ។ ក្នុងអំឡុងពេលនៃដំណាក់កាលត្រជាក់ ទំហំវេទិកាស្ទើរតែទាំងស្រុងអាចត្រឡប់ទៅសភាពដើមវិញ ហើយបាតុភូតយឺតយ៉ាវនៃការផ្លាស់ប្តូរទំហំអាចត្រូវបានមិនអើពើ។ លក្ខណៈនៃការរក្សាការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រទាបបំផុតនេះ សូម្បីតែនៅក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពដ៏សំខាន់ធ្វើឱ្យមានសុពលភាពយ៉ាងពេញលេញនូវស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏លេចធ្លោនៃវេទិកាថ្មក្រានីត។ ន
ការវិភាគនៃឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាពនៅលើផ្ទៃវេទិកា
ទិន្នន័យដែលប្រមូលបានដោយឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាពបង្ហាញថាក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍និងដំណើរការនៃការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពការចែកចាយសីតុណ្ហភាពនៅលើផ្ទៃនៃវេទិកាថ្មក្រានីតគឺឯកសណ្ឋានខ្លាំងណាស់។ សូម្បីតែក្នុងដំណាក់កាលដែលសីតុណ្ហភាពផ្លាស់ប្តូរខ្លាំងបំផុតក៏ដោយ ភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាពរវាងចំណុចរង្វាស់នីមួយៗនៅលើផ្ទៃវេទិកាតែងតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់±0.1℃។ ការចែកចាយសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋានប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពជៀសវាងការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃវេទិកាដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅមិនស្មើគ្នា ធានាបាននូវភាពរាបស្មើ និងស្ថេរភាពនៃផ្ទៃយោងរង្វាស់ និងផ្តល់នូវបរិយាកាសរង្វាស់ដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor ។ ន
បើប្រៀបធៀបជាមួយវេទិកាសម្ភារៈប្រពៃណី
ទិន្នន័យដែលបានវាស់វែងនៃវេទិកាថ្មក្រានីតត្រូវបានប្រៀបធៀបជាមួយនឹងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor ដែលមានប្រភេទដូចគ្នាដោយប្រើវេទិកាអាលុយមីញ៉ូម ហើយភាពខុសគ្នាគឺសំខាន់។ នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពដូចគ្នា ការពង្រីកលីនេអ៊ែរនៃវេទិកាអាលុយមីញ៉ូមគឺខ្ពស់រហូតដល់ 2.5 nanometers ដែលច្រើនជាងប្រាំបីដងនៃវេទិកាថ្មក្រានីត។ ទន្ទឹមនឹងនេះ ការចែកចាយសីតុណ្ហភាពលើផ្ទៃនៃបន្ទះអាលុយមីញ៉ូមគឺមិនស្មើគ្នាជាមួយនឹងភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាពអតិបរមាឈានដល់ 0.8 ℃ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការខូចទ្រង់ទ្រាយជាក់ស្តែងនៃវេទិកា និងប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។ ន
នៅក្នុងពិភពជាក់លាក់នៃឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ semiconductor វេទិកាថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏លេចធ្លោរបស់ពួកគេបានក្លាយជាចំណុចសំខាន់ក្នុងការធានានូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។ ទិន្នន័យដែលបានវាស់វែងបញ្ជាក់យ៉ាងមុតមាំនូវដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៃវេទិកាថ្មក្រានីតក្នុងការឆ្លើយតបទៅនឹងការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាព ផ្តល់នូវការគាំទ្របច្ចេកទេសដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧស្សាហកម្មផលិតឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលចម្លង។ នៅពេលដែលដំណើរការផលិត semiconductor ឈានឆ្ពោះទៅរកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ អត្ថប្រយោជន៍ស្ថេរភាពកម្ដៅនៃវេទិកាថ្មក្រានីតនឹងកាន់តែលេចធ្លោ បន្តជំរុញការច្នៃប្រឌិត និងការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យានៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះ។