វេទិកាសាកល្បង Semiconductor: តើអ្វីជាគុណសម្បត្តិដែលទាក់ទងនៃការប្រើប្រាស់ថ្មក្រានីតលើសម្ភារៈដែកវណ្ណះ?

នៅក្នុងផ្នែកនៃការធ្វើតេស្ត semiconductor ការជ្រើសរើសសម្ភារៈនៃវេទិកាសាកល្បងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើតេស្ត និងស្ថេរភាពឧបករណ៍។ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងសម្ភារៈដែកវណ្ណះបែបប្រពៃណី ថ្មក្រានីតកំពុងក្លាយជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់វេទិកាសាកល្បង semiconductor ដោយសារតែដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា។
ភាពធន់នឹងការ corrosion ដ៏ល្អឥតខ្ចោះធានានូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពយូរអង្វែង
ក្នុងអំឡុងពេលនៃដំណើរការសាកល្បងសារធាតុ semiconductor ជារឿយៗសារធាតុប្រតិកម្មគីមីជាច្រើនត្រូវបានចូលរួម ដូចជាដំណោះស្រាយប៉ូតាស្យូមអ៊ីដ្រូអុកស៊ីត (KOH) ដែលប្រើសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍ photoresist និងសារធាតុដែលច្រេះខ្លាំងដូចជាអាស៊ីត hydrofluoric (HF) និងអាស៊ីតនីទ្រីក (HNO₃) ក្នុងដំណើរការឆ្លាក់។ ដែកវណ្ណះត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃធាតុដែក។ នៅក្នុងបរិយាកាសគីមីបែបនេះ ប្រតិកម្មកាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្ម ទំនងជានឹងកើតឡើង។ អាតូមដែកបាត់បង់អេឡិចត្រុង និងទទួលរងនូវប្រតិកម្មផ្លាស់ទីលំនៅជាមួយនឹងសារធាតុអាស៊ីតនៅក្នុងដំណោះស្រាយ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការ corrosion យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃផ្ទៃ បង្កើតជាច្រែះ និងការធ្លាក់ទឹកចិត្ត និងបំផ្លាញភាពរាបស្មើ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រនៃវេទិកា។

ផ្ទុយទៅវិញ សមាសធាតុរ៉ែនៃថ្មក្រានីតផ្តល់ឱ្យវានូវភាពធន់នឹងការ corrosion មិនធម្មតា។ សមាសធាតុចម្បងរបស់វា រ៉ែថ្មខៀវ (SiO₂) មានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីមានស្ថេរភាពខ្លាំង ហើយស្ទើរតែមិនប្រតិកម្មជាមួយអាស៊ីត និងមូលដ្ឋានទូទៅ។ សារធាតុរ៉ែដូចជា feldspar ក៏អសកម្មនៅក្នុងបរិស្ថានគីមីទូទៅផងដែរ។ មួយចំនួនធំនៃការពិសោធន៍បានបង្ហាញថានៅក្នុងបរិស្ថានគីមីរកឃើញ semiconductor ក្លែងធ្វើដូចគ្នា ភាពធន់នឹងការ corrosion គីមីនៃថ្មក្រានីតគឺខ្ពស់ជាង 15 ដងនៃដែកវណ្ណះ។ នេះមានន័យថាការប្រើប្រាស់វេទិកាថ្មក្រានីតអាចកាត់បន្ថយប្រេកង់ និងតម្លៃនៃការថែទាំឧបករណ៍យ៉ាងច្រើនដែលបណ្តាលមកពីការ corrosion ពន្យារអាយុសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ និងធានាបាននូវស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញ។
ស្ថេរភាពខ្ពស់ បំពេញតាមតម្រូវការនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញកម្រិតណាណូម៉ែត្រ
ការធ្វើតេស្ត Semiconductor មានតម្រូវការខ្ពស់ខ្លាំងណាស់សម្រាប់ស្ថេរភាពនៃវេទិកា ហើយត្រូវការវាស់វែងយ៉ាងជាក់លាក់នូវលក្ខណៈនៃបន្ទះឈីបនៅកម្រិតណាណូ។ មេគុណនៃការពង្រីកកំដៅនៃដែកវណ្ណះគឺខ្ពស់គួរសមប្រហែល 10-12 ×10⁻⁶/℃។ កំដៅដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍រាវរក ឬការប្រែប្រួលនៃសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញនឹងបណ្តាលឱ្យមានការពង្រីកកំដៅ និងការកន្ត្រាក់នៃបន្ទះដែកយ៉ាងសំខាន់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតទីតាំងរវាងឧបករណ៍រាវរក និងបន្ទះឈីប និងប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង។

មេគុណនៃការពង្រីកកំដៅនៃថ្មក្រានីតគឺត្រឹមតែ 0.6-5 × 10⁻⁶/℃ ដែលជាប្រភាគឬសូម្បីតែទាបជាងដែកវណ្ណះ។ រចនាសម្ព័ន្ធរបស់វាគឺក្រាស់។ ភាពតានតឹងខាងក្នុងត្រូវបានលុបបំបាត់ជាមូលដ្ឋានតាមរយៈភាពចាស់ធម្មជាតិរយៈពេលវែង ហើយត្រូវបានប៉ះពាល់តិចតួចបំផុតដោយការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព។ លើសពីនេះ ថ្មក្រានីតមានភាពរឹងខ្លាំង ដោយមានភាពរឹង 2 ទៅ 3 ដងខ្ពស់ជាងដែកវណ្ណះ (ស្មើនឹង HRC> 51) ដែលអាចទប់ទល់នឹងផលប៉ះពាល់ខាងក្រៅ និងរំញ័រយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព និងរក្សាបាននូវភាពរាបស្មើ និងត្រង់នៃវេទិកា។ ជាឧទាហរណ៍ នៅក្នុងការរកឃើញសៀគ្វីបន្ទះឈីបដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ វេទិកាថ្មក្រានីតអាចគ្រប់គ្រងកំហុសរាបស្មើក្នុងរង្វង់±0.5μm/m ដោយធានាថាឧបករណ៍រាវរកនៅតែអាចសម្រេចបាននូវការរកឃើញភាពជាក់លាក់ណាណូនៅក្នុងបរិយាកាសស្មុគ្រស្មាញ។
លក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងម៉ាញេទិកដ៏លេចធ្លោ បង្កើតបរិយាកាសរាវរកដ៏បរិសុទ្ធ
សមាសធាតុអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញានៅក្នុងឧបករណ៍ធ្វើតេស្ត semiconductor មានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការរំខានអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច។ ដែកវណ្ណះមានកម្រិតមេដែកជាក់លាក់។ នៅក្នុងបរិយាកាសអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច វានឹងបង្កើតវាលម៉ាញេទិកដែលបង្កឡើង ដែលនឹងរំខានដល់សញ្ញាអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចរបស់ឧបករណ៍រាវរក ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយសញ្ញា និងទិន្នន័យរាវរកមិនប្រក្រតី។

ម្យ៉ាងវិញទៀត ថ្មក្រានីតគឺជាវត្ថុធាតុប្រឆាំងម៉ាញេទិក ហើយស្ទើរតែមិនមានភាពប៉ូលដោយវាលម៉ាញេទិកខាងក្រៅ។ អេឡិចត្រុងខាងក្នុងមានជាគូនៅក្នុងចំណងគីមី ហើយរចនាសម្ព័ន្ធមានស្ថេរភាព មិនប៉ះពាល់ដោយកម្លាំងអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចខាងក្រៅ។ នៅក្នុងបរិយាកាសវាលម៉ាញេទិកដ៏រឹងមាំនៃ 10mT អាំងតង់ស៊ីតេដែនម៉ាញេទិកលើផ្ទៃថ្មក្រានីតគឺតិចជាង 0.001mT ខណៈពេលដែលផ្ទៃដែកសម្ដែងមានកម្រិតខ្ពស់ជាង 8mT ។ លក្ខណៈពិសេសនេះអនុញ្ញាតឱ្យវេទិកាថ្មក្រានីតបង្កើតបរិយាកាសអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចសុទ្ធសម្រាប់ឧបករណ៍រាវរក ជាពិសេសសមរម្យសម្រាប់សេណារីយ៉ូដែលមានតម្រូវការយ៉ាងតឹងរ៉ឹងសម្រាប់សំលេងរំខានអេឡិចត្រុងដូចជាការរកឃើញបន្ទះឈីប quantum និងការរកឃើញសៀគ្វីអាណាឡូកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ បង្កើនភាពជឿជាក់និងភាពជាប់លាប់នៃលទ្ធផលរាវរក។

នៅក្នុងការសាងសង់វេទិកាធ្វើតេស្ត semiconductor ថ្មក្រានីតបានលើសពីសម្ភារៈដែកវណ្ណះយ៉ាងទូលំទូលាយ ដោយសារគុណសម្បត្តិសំខាន់ៗរបស់វា ដូចជាធន់នឹងច្រេះ ស្ថេរភាព និងប្រឆាំងនឹងម៉ាញេទិច។ នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យា semiconductor ឈានឆ្ពោះទៅរកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ថ្មក្រានីតនឹងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់កាន់តែខ្លាំងឡើងក្នុងការធានានូវដំណើរការនៃឧបករណ៍ធ្វើតេស្ត និងលើកកម្ពស់វឌ្ឍនភាពនៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ។