នៅក្នុងវាលនៃការវាស់វែងភាពជាក់លាក់ វេទិកាភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងស្ថេរភាពដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អ បានក្លាយជាការគាំទ្រគ្រឹះដ៏ល្អសម្រាប់ការងារវាស់វែងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ជាច្រើន។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងកត្តាបរិស្ថាន ដូចជា "ឃាតករភាពជាក់លាក់" ដែលលាក់នៅក្នុងទីងងឹត ជះឥទ្ធិពលដែលមិនមានការធ្វេសប្រហែសទៅលើភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត។ វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការស៊ើបអង្កេតកម្រិតឥទ្ធិពលយ៉ាងស៊ីជម្រៅសម្រាប់ការធានានូវភាពត្រឹមត្រូវនិងភាពជឿជាក់នៃការងារវាស់វែង។
ទោះបីជាថ្មក្រានីតត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ស្ថេរភាពរបស់វាក៏ដោយក៏វាមិនមានភាពធន់នឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពដែរ។ សមាសធាតុចម្បងរបស់វាគឺរ៉ែថ្មខៀវ feldspar និងសារធាតុរ៉ែផ្សេងទៀតដែលនឹងបង្កើតបាតុភូតនៃការពង្រីកកម្ដៅ និងការកន្ត្រាក់នៅសីតុណ្ហភាពខុសៗគ្នា។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញកើនឡើង វេទិកាភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតត្រូវបានកំដៅ និងពង្រីក ហើយទំហំនៃវេទិកានឹងផ្លាស់ប្តូរបន្តិច។ នៅពេលសីតុណ្ហភាពធ្លាក់ចុះ វានឹងរួមតូចត្រឡប់ទៅសភាពដើមវិញ។ ការផ្លាស់ប្តូរទំហំតូចហាក់ដូចជាអាចពង្រីកទៅជាកត្តាសំខាន់ៗដែលប៉ះពាល់ដល់លទ្ធផលនៃការវាស់វែងនៅក្នុងសេណារីយ៉ូនៃការវាស់វែងភាពជាក់លាក់។
យកឧបករណ៍វាស់សំរបសំរួលទូទៅដែលត្រូវគ្នានឹងវេទិកាថ្មក្រានីតជាឧទាហរណ៍ ក្នុងកិច្ចការវាស់វែងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ តម្រូវការភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងជារឿយៗឈានដល់កម្រិតមីក្រូ ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ វាត្រូវបានសន្មត់ថានៅសីតុណ្ហភាពស្តង់ដារនៃ 20 ℃ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រវិមាត្រផ្សេងៗនៃវេទិកាគឺស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពដ៏ល្អមួយ ហើយទិន្នន័យត្រឹមត្រូវអាចទទួលបានដោយការវាស់ស្ទង់ស្នាដៃ។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញប្រែប្រួល ស្ថានភាពគឺខុសគ្នាខ្លាំង។ បន្ទាប់ពីមួយចំនួនធំនៃស្ថិតិទិន្នន័យពិសោធន៍ និងការវិភាគទ្រឹស្តី នៅក្រោមកាលៈទេសៈធម្មតា ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពបរិស្ថាននៃ 1 ℃ ការពង្រីកលីនេអ៊ែរឬការកន្ត្រាក់នៃវេទិកាភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតគឺប្រហែល 5-7 × 10⁻⁶ / ℃។ នេះមានន័យថាសម្រាប់វេទិកាថ្មក្រានីតដែលមានប្រវែងចំហៀង 1 ម៉ែត្រ ប្រវែងចំហៀងអាចប្រែប្រួល 5-7 មីក្រូ ប្រសិនបើសីតុណ្ហភាពប្រែប្រួល 1 ° C។ នៅក្នុងការវាស់វែងភាពជាក់លាក់ ការផ្លាស់ប្តូរទំហំនេះគឺគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីបង្កឱ្យមានកំហុសរង្វាស់លើសពីជួរដែលអាចទទួលយកបាន។
សម្រាប់ការងារវាស់វែងដែលទាមទារដោយកម្រិតភាពត្រឹមត្រូវខុសៗគ្នា កម្រិតឥទ្ធិពលនៃការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពក៏ខុសគ្នាដែរ។ នៅក្នុងការវាស់ស្ទង់ភាពជាក់លាក់ធម្មតា ដូចជាការវាស់ទំហំនៃផ្នែកមេកានិច ប្រសិនបើកំហុសរង្វាស់ដែលអាចអនុញ្ញាតបានស្ថិតនៅក្នុង ±20 microns យោងតាមការគណនាមេគុណពង្រីកខាងលើ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពចាំបាច់ត្រូវគ្រប់គ្រងក្នុងចន្លោះ ± 3-4 ℃ ដើម្បីគ្រប់គ្រងកំហុសរង្វាស់ដែលបណ្តាលមកពីការផ្លាស់ប្តូរទំហំវេទិកាក្នុងកម្រិតដែលអាចទទួលយកបាន។ នៅក្នុងតំបន់ដែលមានតម្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដូចជាការវាស់វែងដំណើរការ lithography ក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor កំហុសត្រូវបានអនុញ្ញាតក្នុងរង្វង់ ±1 micron ហើយការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពចាំបាច់ត្រូវគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងក្នុងរង្វង់ ± 0.1-0.2 ° C។ នៅពេលដែលការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពលើសពីកម្រិតនេះ ការពង្រីកកំដៅ និងការកន្ត្រាក់នៃបន្ទះថ្មក្រានីតអាចប៉ះពាល់ដល់ការវាស់វែងនៃបន្ទះឈីប។
ដើម្បីដោះស្រាយជាមួយនឹងឥទ្ធិពលនៃការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញលើការវាស់វែងភាពជាក់លាក់នៃវេទិកាភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត វិធានការជាច្រើនត្រូវបានអនុម័តជាញឹកញាប់នៅក្នុងការងារជាក់ស្តែង។ ឧទហរណ៍ ឧបករណ៍សីតុណ្ហភាពថេរភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានដំឡើងនៅក្នុងបរិយាកាសវាស់ ដើម្បីគ្រប់គ្រងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពក្នុងជួរតូចបំផុត; សំណងសីតុណ្ហភាពត្រូវបានអនុវត្តលើទិន្នន័យរង្វាស់ ហើយលទ្ធផលរង្វាស់ត្រូវបានកែដំរូវដោយកម្មវិធី algorithm យោងទៅតាមមេគុណនៃការពង្រីកកំដៅនៃវេទិកា និងការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង។ ទោះបីជាយ៉ាងណាក៏ដោយ មិនថាមានវិធានការបែបណានោះទេ ការចាប់យកយ៉ាងត្រឹមត្រូវនៃផលប៉ះពាល់នៃការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញលើភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៃវេទិកាភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត គឺជាមូលដ្ឋាននៃការធានានូវការងារវាស់វែងត្រឹមត្រូវ និងអាចទុកចិត្តបាន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ០៣-មេសា-២០២៥