តម្រូវការបច្ចេកទេសសម្រាប់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។

១. ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ
ភាពរាបស្មើ៖ ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានគួរតែឈានដល់ស្តង់ដារខ្ពស់ណាស់ ហើយកំហុសភាពរាបស្មើមិនគួរលើសពី ±0.5μm នៅក្នុងតំបន់ 100mm × 100mm ណាមួយឡើយ។ សម្រាប់ប្លង់មូលដ្ឋានទាំងមូល កំហុសភាពរាបស្មើត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±1μm។ នេះធានាថាសមាសធាតុសំខាន់ៗនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច ដូចជាក្បាលបង្ហាញនៃឧបករណ៍លីចូក្រាហ្វី និងតុស៊ើបអង្កេតនៃឧបករណ៍រកឃើញបន្ទះឈីប អាចត្រូវបានដំឡើង និងដំណើរការយ៉ាងស្ថិរភាពនៅលើប្លង់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ធានាភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្លូវអុបទិក និងការតភ្ជាប់សៀគ្វីនៃឧបករណ៍ និងជៀសវាងគម្លាតនៃការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់សមាសធាតុដែលបណ្តាលមកពីប្លង់មិនស្មើគ្នានៃមូលដ្ឋាន ដែលប៉ះពាល់ដល់ការផលិតបន្ទះឈីបអេឡិចត្រូនិច និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញ។
ភាពត្រង់៖ ភាពត្រង់នៃគែមនីមួយៗនៃមូលដ្ឋានគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់។ ក្នុងទិសដៅនៃប្រវែង កំហុសភាពត្រង់មិនត្រូវលើសពី ±1μm ក្នុង 1m ទេ។ កំហុសភាពត្រង់អង្កត់ទ្រូងត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±1.5μm។ ដោយយកម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ជាឧទាហរណ៍ នៅពេលដែលតុផ្លាស់ទីតាមបណ្តោយផ្លូវដែកណែនាំនៃមូលដ្ឋាន ភាពត្រង់នៃគែមនៃមូលដ្ឋានប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើភាពត្រឹមត្រូវនៃគន្លងរបស់តុ។ ប្រសិនបើភាពត្រង់មិនស្របតាមស្តង់ដារ លំនាំលីតូក្រាហ្វីនឹងត្រូវបានបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយ និងខូចទ្រង់ទ្រាយ ដែលបណ្តាលឱ្យទិន្នផលផលិតបន្ទះឈីបថយចុះ។
ភាពស្របគ្នា៖ កំហុសស្របគ្នានៃផ្ទៃខាងលើ និងខាងក្រោមនៃមូលដ្ឋានគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±1μm។ ភាពស្របគ្នាល្អអាចធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃចំណុចកណ្តាលទំនាញទាំងមូលបន្ទាប់ពីការដំឡើងឧបករណ៍ ហើយកម្លាំងនៃសមាសធាតុនីមួយៗគឺឯកសណ្ឋាន។ នៅក្នុងឧបករណ៍ផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ប្រសិនបើផ្ទៃខាងលើ និងខាងក្រោមនៃមូលដ្ឋានមិនស្របគ្នាទេ បន្ទះសៀគ្វីនឹងផ្អៀងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ ដែលប៉ះពាល់ដល់ឯកសណ្ឋាននៃដំណើរការដូចជាការឆ្លាក់ និងថ្នាំកូត ហើយដូច្នេះប៉ះពាល់ដល់ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃដំណើរការបន្ទះឈីប។
ទីពីរ លក្ខណៈសម្ភារៈ
ភាពរឹង៖ ភាពរឹងនៃសម្ភារៈមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតគួរតែឈានដល់ភាពរឹង Shore HS70 ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ ភាពរឹងខ្ពស់អាចទប់ទល់នឹងការពាក់ដែលបណ្តាលមកពីចលនាញឹកញាប់ និងការកកិតនៃសមាសធាតុក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ ដែលធានាថាមូលដ្ឋានអាចរក្សាទំហំភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់រយៈពេលវែង។ នៅក្នុងឧបករណ៍វេចខ្ចប់បន្ទះឈីប ដៃមនុស្សយន្តតែងតែចាប់ និងដាក់បន្ទះឈីបនៅលើមូលដ្ឋាន ហើយភាពរឹងខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានអាចធានាថាផ្ទៃមិនងាយបង្កើតស្នាមឆ្កូត និងរក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនាដៃមនុស្សយន្ត។
ដង់ស៊ីតេ៖ ដង់ស៊ីតេសម្ភារៈគួរតែស្ថិតនៅចន្លោះពី 2.6-3.1 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប។ ដង់ស៊ីតេសមស្របធ្វើឱ្យមូលដ្ឋានមានស្ថេរភាពគុណភាពល្អ ដែលអាចធានាបាននូវភាពរឹងមាំគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីទ្រទ្រង់ឧបករណ៍ ហើយនឹងមិននាំមកនូវការលំបាកដល់ការដំឡើង និងការដឹកជញ្ជូនឧបករណ៍ដោយសារតែទម្ងន់លើស។ នៅក្នុងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យស៊ីមីកុងដុកទ័រធំៗ ដង់ស៊ីតេមូលដ្ឋានដែលមានស្ថេរភាពជួយកាត់បន្ថយការបញ្ជូនរំញ័រក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ និងបង្កើនភាពត្រឹមត្រូវនៃការរកឃើញ។
ស្ថេរភាពកម្ដៅ៖ មេគុណពង្រីកលីនេអ៊ែរគឺតិចជាង 5×10⁻⁶/℃។ ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព ហើយស្ថេរភាពកម្ដៅនៃមូលដ្ឋានគឺទាក់ទងដោយផ្ទាល់ទៅនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលីចូក្រាហ្វី ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពអាចបណ្តាលឱ្យមានការពង្រីក ឬបង្រួមនៃមូលដ្ឋាន ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៃទំហំនៃលំនាំការប៉ះពាល់។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានមេគុណពង្រីកលីនេអ៊ែរទាបអាចគ្រប់គ្រងការផ្លាស់ប្តូរទំហំក្នុងជួរតូចមួយនៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរបស់ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរ (ជាទូទៅ 20-30°C) ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃលីចូក្រាហ្វី។
ទីបី គុណភាពផ្ទៃ
ភាពរដុប៖ តម្លៃរដុបនៃផ្ទៃ Ra លើបាតមិនលើសពី 0.05μm ទេ។ ផ្ទៃរលោងខ្លាំងអាចកាត់បន្ថយការស្រូបយកធូលី និងភាពមិនបរិសុទ្ធ និងកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់លើអនាម័យនៃបរិស្ថានផលិតបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាផលិតបន្ទះឈីបដែលគ្មានធូលី ភាគល្អិតតូចៗអាចនាំឱ្យមានពិការភាពដូចជាសៀគ្វីខ្លីនៃបន្ទះឈីប ហើយផ្ទៃរលោងនៃបាតជួយរក្សាបរិស្ថានស្អាតនៃសិក្ខាសាលា និងបង្កើនទិន្នផលបន្ទះឈីប។
ពិការភាពមីក្រូទស្សន៍៖ ផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានមិនត្រូវបានអនុញ្ញាតឱ្យមានស្នាមប្រេះដែលអាចមើលឃើញ រន្ធខ្សាច់ រន្ធញើស និងពិការភាពផ្សេងទៀតទេ។ នៅកម្រិតមីក្រូទស្សន៍ ចំនួនពិការភាពដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំជាង 1 μm ក្នុងមួយសង់ទីម៉ែត្រការ៉េមិនត្រូវលើសពី 3 ដោយមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុងទេ។ ពិការភាពទាំងនេះនឹងប៉ះពាល់ដល់កម្លាំងរចនាសម្ព័ន្ធ និងភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃនៃមូលដ្ឋាន ហើយបន្ទាប់មកប៉ះពាល់ដល់ស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍។
ទីបួន ស្ថេរភាព និង ភាពធន់នឹងការឆក់
ស្ថេរភាពថាមវន្ត៖ នៅក្នុងបរិយាកាសរំញ័រក្លែងធ្វើដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលសៀគ្វី (ជួរប្រេកង់រំញ័រ 10-1000Hz ទំហំ 0.01-0.1mm) ការផ្លាស់ទីលំនៅរំញ័រនៃចំណុចម៉ោនសំខាន់ៗនៅលើមូលដ្ឋានគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងរង្វង់ ±0.05μm។ ដោយយកឧបករណ៍ធ្វើតេស្តពាក់កណ្តាលសៀគ្វីជាឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើរំញ័ររបស់ឧបករណ៍ និងរំញ័របរិស្ថានជុំវិញត្រូវបានបញ្ជូនទៅមូលដ្ឋានកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ ភាពត្រឹមត្រូវនៃសញ្ញាសាកល្បងអាចត្រូវបានរំខាន។ ស្ថេរភាពថាមវន្តល្អអាចធានាបាននូវលទ្ធផលសាកល្បងដែលអាចទុកចិត្តបាន។
ភាពធន់នឹងការរញ្ជួយដី៖ មូលដ្ឋានត្រូវតែមានដំណើរការរញ្ជួយដីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ហើយអាចបន្ថយថាមពលរំញ័រយ៉ាងឆាប់រហ័សនៅពេលដែលវាត្រូវបានទទួលរងនូវរំញ័រខាងក្រៅភ្លាមៗ (ដូចជារំញ័រក្លែងធ្វើរលករញ្ជួយដី) ហើយធានាថាទីតាំងទាក់ទងនៃសមាសធាតុសំខាន់ៗនៃឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរក្នុងរង្វង់ ±0.1μm។ នៅក្នុងរោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រនៅក្នុងតំបន់ដែលងាយនឹងរញ្ជួយដី មូលដ្ឋានធន់នឹងការរញ្ជួយដីអាចការពារឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រថ្លៃៗបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដោយកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចខាតឧបករណ៍ និងការរំខានផលិតកម្មដោយសារតែរំញ័រ។
៥. ស្ថេរភាពគីមី
ភាពធន់នឹងការច្រេះ៖ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតគួរតែទប់ទល់នឹងការច្រេះនៃសារធាតុគីមីទូទៅនៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដូចជាអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីក អាគ្វារីយ៉ា ជាដើម។ បន្ទាប់ពីត្រាំក្នុងដំណោះស្រាយអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីកដែលមានប្រភាគម៉ាស់ 40% រយៈពេល 24 ម៉ោង អត្រាបាត់បង់គុណភាពផ្ទៃមិនត្រូវលើសពី 0.01% ទេ។ ត្រាំក្នុងអាគ្វារីយ៉ា (សមាមាត្របរិមាណអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីកទៅនឹងអាស៊ីតនីទ្រីក 3:1) រយៈពេល 12 ម៉ោង ហើយមិនមានដានជាក់ស្តែងនៃការច្រេះនៅលើផ្ទៃនោះទេ។ ដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការឆ្លាក់គីមី និងសម្អាតជាច្រើនប្រភេទ ហើយភាពធន់នឹងការច្រេះល្អនៃមូលដ្ឋានអាចធានាថាការប្រើប្រាស់រយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិស្ថានគីមីមិនត្រូវបានច្រេះទេ ហើយភាពត្រឹមត្រូវ និងភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធត្រូវបានរក្សា។
ការប្រឆាំងនឹងការបំពុល៖ សម្ភារៈមូលដ្ឋានមានការស្រូបយកសារធាតុបំពុលទូទៅទាបបំផុតនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដូចជាឧស្ម័នសរីរាង្គ អ៊ីយ៉ុងលោហៈជាដើម។ នៅពេលដាក់ក្នុងបរិយាកាសដែលមានឧស្ម័នសរីរាង្គ 10 PPM (ឧ. បេនហ្សេន តូលូអ៊ីន) និងអ៊ីយ៉ុងលោហៈ 1ppm (ឧ. អ៊ីយ៉ុងទង់ដែង អ៊ីយ៉ុងជាតិដែក) រយៈពេល 72 ម៉ោង ការផ្លាស់ប្តូរដំណើរការដែលបណ្តាលមកពីការស្រូបយកសារធាតុបំពុលនៅលើផ្ទៃមូលដ្ឋានគឺមិនសំខាន់ទេ។ នេះការពារសារធាតុបំពុលពីការផ្លាស់ទីពីផ្ទៃមូលដ្ឋានទៅកាន់តំបន់ផលិតបន្ទះឈីប និងប៉ះពាល់ដល់គុណភាពបន្ទះឈីប។