នៅក្នុងដំណើរការនៃការផ្លាស់ប្តូរឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រឆ្ពោះទៅរកដំណើរការផលិតទ្រង់ទ្រាយណាណូ ការកាត់បន្ទះសៀគ្វី ដែលជាតំណភ្ជាប់សំខាន់ក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប មានតម្រូវការតឹងរ៉ឹងបំផុតសម្រាប់ស្ថេរភាពឧបករណ៍។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងរំញ័រ និងស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ បានក្លាយជាសមាសធាតុស្នូលនៃឧបករណ៍កាត់បន្ទះសៀគ្វី ដែលផ្តល់នូវការធានាដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការសម្រេចបាននូវដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
លក្ខណៈសំណើមខ្ពស់ និងប្រឆាំងនឹងរំញ័រ៖ ការពារភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់កម្រិតណាណូ
នៅពេលដែលឧបករណ៍កាត់បន្ទះសៀគ្វីកំពុងដំណើរការ ការបង្វិលល្បឿនលឿននៃអ័ក្ស រំញ័រប្រេកង់ខ្ពស់នៃឧបករណ៍កាត់ និងរំញ័របរិស្ថានដែលបង្កើតឡើងដោយឧបករណ៍ជុំវិញ សុទ្ធតែមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ទៅលើភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់។ ប្រសិទ្ធភាពនៃការបន្ថយរំញ័រនៃមូលដ្ឋានដែកប្រពៃណីមានកម្រិត ដែលធ្វើឱ្យវាពិបាកក្នុងការបន្ថយរំញ័រយ៉ាងឆាប់រហ័ស ដែលនាំឱ្យមានការញ័រកម្រិតមីក្រូននៃឧបករណ៍កាត់ និងបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពដោយផ្ទាល់ដូចជាគែមប្រេះ និងស្នាមប្រេះនៅលើបន្ទះសៀគ្វី។ លក្ខណៈនៃការបន្ថយរំញ័រខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតបានដោះស្រាយបញ្ហានេះជាមូលដ្ឋាន។
គ្រីស្តាល់រ៉ែខាងក្នុងនៃថ្មក្រានីតត្រូវបានត្បាញចូលគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធ ដែលបង្កើតបានជារចនាសម្ព័ន្ធរលាយថាមពលធម្មជាតិ។ នៅពេលដែលរំញ័រត្រូវបានបញ្ជូនទៅមូលដ្ឋាន រចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូខាងក្នុងរបស់វាអាចបំលែងថាមពលរំញ័រទៅជាថាមពលកម្ដៅយ៉ាងឆាប់រហ័ស ដោយសម្រេចបាននូវការបន្ថយរំញ័រប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ ទិន្នន័យពិសោធន៍បង្ហាញថា ក្រោមបរិយាកាសរំញ័រដូចគ្នា មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចបន្ថយទំហំរំញ័រជាង 90% ក្នុងរយៈពេល 0.5 វិនាទី ខណៈដែលមូលដ្ឋានដែកត្រូវការពេលពី 3 ទៅ 5 វិនាទី។ ការអនុវត្តការសម្ងួតដ៏ល្អឥតខ្ចោះនេះធានាថាឧបករណ៍កាត់នៅតែមានស្ថេរភាពក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់ណាណូ ដោយធានានូវគែមរលោងនៃការកាត់បន្ទះសៀគ្វី និងកាត់បន្ថយអត្រានៃការប្រេះស្រាំប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការកាត់បន្ទះសៀគ្វី 5nm ឧបករណ៍ដែលមានមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចគ្រប់គ្រងទំហំប្រេះស្រាំក្នុងរង្វង់ 10μm ដែលខ្ពស់ជាងឧបករណ៍ដែលមានមូលដ្ឋានដែកជាង 40%។
មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត៖ ធន់នឹងឥទ្ធិពលនៃការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់បន្ទះស្តើង កំដៅដែលបង្កើតឡើងដោយការកកិតនៃឧបករណ៍កាត់ ការរលាយកំដៅពីប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែងនៃឧបករណ៍ និងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពបរិស្ថានសិក្ខាសាលា សុទ្ធតែអាចបណ្តាលឱ្យមានការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅនៃសមាសធាតុឧបករណ៍។ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃវត្ថុធាតុលោហធាតុគឺខ្ពស់ (ប្រហែល 12 × 10⁻⁶/℃)។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពប្រែប្រួល 5℃ មូលដ្ឋានលោហៈប្រវែង 1 ម៉ែត្រអាចឆ្លងកាត់ការខូចទ្រង់ទ្រាយ 60μm ដែលបណ្តាលឱ្យទីតាំងកាត់ផ្លាស់ប្តូរ និងប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់។
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតគឺត្រឹមតែ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ដែលតិចជាងមួយភាគបីនៃវត្ថុធាតុលោហៈ។ ក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពដូចគ្នា ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្ររបស់វាស្ទើរតែមិនអាចមើលរំលងបាន។ ទិន្នន័យដែលវាស់វែងបានរបស់សហគ្រាសផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជាក់លាក់មួយបង្ហាញថា ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការកាត់បន្ទះសៀគ្វីដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ជាបន្តបន្ទាប់រយៈពេល 8 ម៉ោង នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញប្រែប្រួល 10℃ គម្លាតទីតាំងកាត់នៃឧបករណ៍ដែលមានមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតគឺតិចជាង 20μm ខណៈពេលដែលឧបករណ៍ដែលមានមូលដ្ឋានដែកលើសពី 60μm។ ការអនុវត្តកម្ដៅដែលមានស្ថេរភាពនេះធានាថាទីតាំងទាក់ទងរវាងឧបករណ៍កាត់ និងបន្ទះសៀគ្វីនៅតែច្បាស់លាស់គ្រប់ពេលវេលា។ សូម្បីតែក្រោមប្រតិបត្តិការបន្តរយៈពេលវែង ឬការប្រែប្រួលយ៉ាងខ្លាំងនៃសីតុណ្ហភាពបរិស្ថានក៏ដោយ ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់អាចត្រូវបានរក្សា។
ភាពរឹង និងភាពធន់នឹងការពាក់៖ ធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពរយៈពេលវែងរបស់ឧបករណ៍
បន្ថែមពីលើគុណសម្បត្តិនៃភាពធន់នឹងរំញ័រ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ ភាពរឹងខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការពាក់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត បង្កើនភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍កាត់បន្ទះឈើបន្ថែមទៀត។ ថ្មក្រានីតមានភាពរឹងពី 6 ទៅ 7 នៅលើមាត្រដ្ឋាន Mohs និងកម្លាំងបង្ហាប់លើសពី 120MPa។ វាអាចទប់ទល់នឹងសម្ពាធដ៏ខ្លាំងក្លា និងកម្លាំងប៉ះទង្គិចក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់ ហើយមិនងាយខូចទ្រង់ទ្រាយទេ។ ទន្ទឹមនឹងនេះ រចនាសម្ព័ន្ធក្រាស់របស់វាផ្តល់ឱ្យវានូវភាពធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ សូម្បីតែក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការកាត់ញឹកញាប់ក៏ដោយ ផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានមិនងាយនឹងពាក់ទេ ដែលធានាថាឧបករណ៍រក្សាប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ក្នុងរយៈពេលយូរ។
នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង សហគ្រាសផលិតបន្ទះសៀគ្វីជាច្រើនបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវទិន្នផលផលិតផល និងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មយ៉ាងច្រើន ដោយបានប្រើប្រាស់ឧបករណ៍កាត់ដែលមានមូលដ្ឋានលើថ្មក្រានីត។ ទិន្នន័យពីរោងចក្រផលិតបន្ទះសៀគ្វីឈានមុខគេលើពិភពលោកបង្ហាញថា បន្ទាប់ពីការណែនាំឧបករណ៍មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ទិន្នផលកាត់បន្ទះសៀគ្វីបានកើនឡើងពី 88% ដល់ជាង 95% ហើយវដ្តថែទាំឧបករណ៍ត្រូវបានពង្រីកបីដង ដែលកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្មប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងបង្កើនភាពប្រកួតប្រជែងក្នុងទីផ្សារ។
សរុបមក មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងរំញ័រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពកម្ដៅ ភាពរឹងខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការពាក់ ផ្តល់នូវការធានាការអនុវត្តដ៏ទូលំទូលាយសម្រាប់ឧបករណ៍កាត់បន្ទះសៀគ្វី។ នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័ររីកចម្រើនឆ្ពោះទៅរកភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនឹងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងវិស័យផលិតបន្ទះសៀគ្វី ដោយលើកកម្ពស់ការអភិវឌ្ឍប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិតជាបន្តបន្ទាប់នៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២០ ខែឧសភា ឆ្នាំ ២០២៥