ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដែលមានភាពបត់បែនខ្ពស់ជាមួយនឹងកម្មវិធីដ៏ធំទូលាយមួយ ដោយសារភាពធន់ កម្លាំង និងលក្ខណៈសម្បត្តិសោភ័ណភាពតែមួយគត់របស់វា។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចថ្មក្រានីតត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ។ ផលិតផលទាំងនេះដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការកែច្នៃស៊ីលីកុន wafers ដែលមានសារៈសំខាន់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងស្វែងយល់ពីផ្នែកកម្មវិធីជាច្រើននៃថ្មក្រានីតនៅក្នុងផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ។
1. Chucks និងដំណាក់កាល
សមាសធាតុសំខាន់មួយនៃផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃ wafer គឺ chucks និងដំណាក់កាល។ ផ្នែកទាំងនេះត្រូវបានប្រើដើម្បីកាន់ wafers នៅនឹងកន្លែងក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការដំណើរការ។ ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដែលពេញចិត្តសម្រាប់សមាសធាតុទាំងនេះ ដោយសារស្ថេរភាពដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងការប្រែប្រួលកម្ដៅ និងមេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ។ វាអនុញ្ញាតឱ្យមានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ក្នុងការដាក់ wafer ធានានូវលទ្ធផលដំណើរការជាប់លាប់។
2. ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់
ឧបករណ៍ Metrology គឺជាឧបករណ៍ច្បាស់លាស់ដែលប្រើសម្រាប់វាស់លក្ខណៈរូបវន្តរបស់ wafers កំឡុងពេលដំណើរការ។ ថ្មក្រានីតគឺស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ផលិតឧបករណ៍ទាំងនេះ ដោយសារស្ថេរភាពវិមាត្រដ៏ប្រសើរ មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប និងធន់ទ្រាំខ្ពស់ក្នុងការពាក់ និងរហែក។ លើសពីនេះ សមត្ថភាពរំញ័រ-សម្ងំដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វាធានាបាននូវការវាស់វែងត្រឹមត្រូវ និងជាប់លាប់ ដែលនាំទៅដល់លទ្ធផលគុណភាពខ្ពស់ជាងមុននៅក្នុងការផលិត wafer ខ្នាតធំ។
3. កៅអីអង្គុយ និងតុ
កៅអី និងតុបាយក្រានីតត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃដែលទាមទារផ្ទៃការងារដែលមានស្ថេរភាព និងរាបស្មើសម្រាប់ប្រតិបត្តិការផលិតកម្មច្បាស់លាស់។ ថ្មក្រានីតផ្តល់នូវផ្ទៃដ៏ល្អសម្រាប់ការងារបែបនេះដោយសារតែស្ថេរភាពពិសេសរបស់វា ធន់នឹងសំណើម និង porosity ទាប។ វាមានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងសំពាធ ការបំបែក និងសំណឹក ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។
4. ស៊ុមនិងការគាំទ្រ
ស៊ុម និងជំនួយគឺជាផ្នែកសំខាន់នៃផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ។ ពួកគេផ្តល់ការគាំទ្រផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធសម្រាប់ឧបករណ៍ និងធានាថាសមាសធាតុនៅតែស្ថិតក្នុងទីតាំងត្រឹមត្រូវក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការដំណើរការ។ ថ្មក្រានីតត្រូវបានជ្រើសរើសសម្រាប់កម្មវិធីទាំងនេះដោយសារតែកម្លាំងខ្ពស់ ភាពរឹង និងមេគុណការពង្រីកកម្ដៅទាប។ លក្ខណៈទាំងនេះធានាថាឧបករណ៍នៅតែស្ថិតក្នុងទីតាំងដែលត្រូវការរបស់វា ដោយហេតុនេះបង្កើតបានលទ្ធផលត្រឹមត្រូវ និងជាប់លាប់។
5. កៅអីអុបទិក
កៅអីអុបទិកត្រូវបានប្រើនៅក្នុងផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ដើម្បីផ្តល់នូវទីតាំងគ្មានរំញ័រសម្រាប់សមាសធាតុអុបទិកផ្សេងៗ។ ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិនៃការរំញ័រដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ផលិតកៅអីអុបទិក។ លើសពីនេះទៀតមេគុណពង្រីកកំដៅទាបរបស់វាធានាថាសមាសធាតុនៅតែស្ថិតក្នុងទីតាំងទោះបីជាមានការប្រែប្រួលនៃសីតុណ្ហភាពដែលអាចកើតឡើងកំឡុងពេលដំណើរការក៏ដោយ។
សរុបសេចក្តីមក ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដែលមានភាពបត់បែនខ្ពស់ដែលរកឃើញការប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតផលិតផលឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ។ ស្ថេរភាពខ្ពស់ កម្លាំង ធន់នឹងការពាក់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិការពាររំញ័រ ធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈសម្រាប់ផលិតគ្រឿងបន្លាស់ជាច្រើនប្រភេទ ចាប់ពីចង្កឹះ និងដំណាក់កាល រហូតដល់កៅអីអង្គុយ និងតុ ស៊ុម និងជំនួយ និងកៅអីអុបទិក។ ជាលទ្ធផល ការប្រើប្រាស់ថ្មក្រានីតនៅក្នុងបរិក្ខារបែបនេះធានានូវការផលិតម៉ាសដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៧ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៣