វាលកម្មវិធីនៃម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតតាមអ័ក្សតែមួយ ដោយប្រើថ្មក្រានីត។

ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប ដំណើរការ photolithography ត្រូវការផ្ទេរគំរូសៀគ្វីយ៉ាងជាក់លាក់ទៅ wafer ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលអណ្តែតតាមខ្យល់អ័ក្សតែមួយអាចផ្តល់នូវទីតាំងច្បាស់លាស់ខ្ពស់ និងការគាំទ្រមានស្ថេរភាពសម្រាប់តារាង wafer នៅក្នុងឧបករណ៍ lithography ។ ឧទាហរណ៍ ASML និងក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីន lithography ដ៏ល្បីលំដាប់អន្តរជាតិផ្សេងទៀតប្រើប្រាស់ម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតលើអាកាសមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍កម្រិតខ្ពស់របស់ពួកគេ ដែលអាចគ្រប់គ្រងភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងរបស់ wafer នៅកម្រិត nanometer ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃលំនាំ lithography ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការរួមបញ្ចូល និងដំណើរការនៃបន្ទះឈីប។
វាលរង្វាស់ភាពជាក់លាក់៖ CMM គឺជាឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ភាពជាក់លាក់ដែលប្រើជាទូទៅក្នុងផលិតកម្មឧស្សាហកម្ម ដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់ទំហំ រូបរាង និងភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងនៃស្នាដៃ។ ម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃអណ្តែតខ្យល់អ័ក្សតែមួយនៅលើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចត្រូវបានប្រើជាវេទិកាចលនារបស់ CMM ដែលអាចដឹងពីចលនាលីនេអ៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងផ្តល់នូវគន្លងចលនាដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ការស៊ើបអង្កេតវាស់។ ជាឧទាហរណ៍ CMM កម្រិតខ្ពស់របស់ Hexagon ប្រើការរួមបញ្ចូលគ្នានេះដើម្បីវាស់ផ្នែកធំ និងស្មុគ្រស្មាញជាមួយនឹងការវាស់ស្ទង់ភាពត្រឹមត្រូវរហូតដល់កម្រិតមីក្រូ ដែលផ្តល់នូវការធានាដ៏រឹងមាំសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពផ្នែកនៅក្នុងរថយន្ត អវកាស និងឧស្សាហកម្មផ្សេងទៀត។
វាលលំហអាកាស៖ ក្នុងការដំណើរការ និងសាកល្បងផ្នែកលំហអាកាស ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់គឺត្រូវបានទាមទារ។ ជាឧទាហរណ៍ ការកែច្នៃផ្លិតរបស់ម៉ាស៊ីនយន្តហោះ ទាមទារការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃគន្លងចលនារបស់ឧបករណ៍ ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃទម្រង់របស់ blade ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតតាមអ័ក្សតែមួយអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅមជ្ឈមណ្ឌលម៉ាស៊ីនប្រាំអ័ក្ស និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីផ្តល់ការគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់សម្រាប់ឧបករណ៍ និងធានាថាភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីនរបស់ blade អាចបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរចនា។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ នៅក្នុងដំណើរការនៃការដំឡើងម៉ាស៊ីន aero វាក៏ចាំបាច់ផងដែរក្នុងការប្រើឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដើម្បីរកមើលភាពត្រឹមត្រូវនៃការផ្គុំនៃផ្នែក។ ម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតលើអាកាសនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចផ្តល់នូវការគាំទ្រមានស្ថេរភាព និងចលនាត្រឹមត្រូវសម្រាប់ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាពនៃការដំឡើង។
វិស័យត្រួតពិនិត្យអុបទិក៖ នៅក្នុងដំណើរការផលិត និងធ្វើតេស្តនៃសមាសធាតុអុបទិក ចាំបាច់ត្រូវអនុវត្តការកំណត់ទីតាំង និងការវាស់វែងនៃសមាសធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ឧទាហរណ៍ នៅពេលផលិតសមាសធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដូចជាកញ្ចក់ និងកញ្ចក់ ចាំបាច់ត្រូវប្រើឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ interferometer និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីរកមើលភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបរាងផ្ទៃ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាភាពជាក់លាក់ជ្រុលអណ្តែតតាមអ័ក្សអាកាសតែមួយអាចប្រើជាវេទិកាចលនារបស់ interferometer ដែលអាចដឹងពីភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងរងមីក្រូ និងផ្តល់ការគាំទ្រទិន្នន័យត្រឹមត្រូវសម្រាប់ការរកឃើញសមាសធាតុអុបទិក។ លើសពីនេះទៀតនៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃឡាស៊ែរ វាក៏ចាំបាច់ក្នុងការប្រើប្រាស់វេទិកាចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដើម្បីគ្រប់គ្រងគន្លងស្កែននៃកាំរស្មីឡាស៊ែរ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតលើអាកាសអាចបំពេញតម្រូវការនេះ ដើម្បីសម្រេចបាននូវដំណើរការឡាស៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។