ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប ដំណើរការថតចម្លងពន្លឺត្រូវការផ្ទេរលំនាំសៀគ្វីយ៉ាងជាក់លាក់ទៅកាន់បន្ទះសៀគ្វី។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតខ្យល់អ័ក្សតែមួយដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អាចផ្តល់នូវទីតាំងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់តុបន្ទះសៀគ្វីនៅក្នុងឧបករណ៍បោះពុម្ពលីចូក្រាហ្វី។ ឧទាហរណ៍ ASML និងក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីចូក្រាហ្វីដ៏ល្បីល្បាញលើពិភពលោកផ្សេងទៀតប្រើប្រាស់ម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតខ្យល់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍លំដាប់ខ្ពស់របស់ពួកគេ ដែលអាចគ្រប់គ្រងភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងនៃបន្ទះសៀគ្វីនៅកម្រិតណាណូម៉ែត្រ ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃលំនាំលីចូក្រាហ្វី ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការរួមបញ្ចូលគ្នា និងដំណើរការនៃបន្ទះឈីប។
វាលវាស់វែងភាពជាក់លាក់៖ CMM គឺជាឧបករណ៍វាស់វែងភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងផលិតកម្មឧស្សាហកម្ម ដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់ទំហំ រូបរាង និងភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងនៃស្នាដៃ។ ម៉ូឌុលចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃអណ្តែតខ្យល់អ័ក្សតែមួយនៅលើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចត្រូវបានប្រើជាវេទិកាចលនារបស់ CMM ដែលអាចសម្រេចបាននូវចលនាលីនេអ៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងផ្តល់នូវគន្លងចលនាដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ឧបករណ៍វាស់។ ឧទាហរណ៍ CMM កម្រិតខ្ពស់របស់ Hexagon ប្រើប្រាស់ការរួមបញ្ចូលគ្នានេះដើម្បីវាស់ផ្នែកធំៗ និងស្មុគស្មាញជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងរហូតដល់កម្រិតមីក្រូ ដែលផ្តល់នូវការធានាយ៉ាងរឹងមាំសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងគុណភាពគ្រឿងបន្លាស់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មរថយន្ត អាកាសចរណ៍ និងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗទៀត។
វិស័យអាកាសចរណ៍៖ ក្នុងដំណើរការ និងការធ្វើតេស្តគ្រឿងបន្លាស់អាកាសចរណ៍ ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានទាមទារ។ ឧទាហរណ៍ ការកែច្នៃស្លាបម៉ាស៊ីនយន្តហោះតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃគន្លងចលនារបស់ឧបករណ៍ ដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃទម្រង់ស្លាប។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អណ្តែតខ្យល់អ័ក្សតែមួយអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅមជ្ឈមណ្ឌលម៉ាស៊ីនប្រាំអ័ក្ស និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀត ដើម្បីផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់សម្រាប់ឧបករណ៍ និងធានាថាភាពត្រឹមត្រូវនៃការកែច្នៃស្លាបអាចបំពេញតាមតម្រូវការរចនា។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ នៅក្នុងដំណើរការផ្គុំម៉ាស៊ីនយន្តហោះ វាក៏ចាំបាច់ផងដែរក្នុងការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដើម្បីរកឃើញភាពត្រឹមត្រូវនៃការផ្គុំផ្នែកនានា។ ម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតខ្យល់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចផ្តល់នូវការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាព និងចលនាត្រឹមត្រូវសម្រាប់ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាពនៃការផ្គុំ។
វិស័យត្រួតពិនិត្យអុបទិក៖ នៅក្នុងដំណើរការផលិត និងសាកល្បងសមាសធាតុអុបទិក ចាំបាច់ត្រូវអនុវត្តការកំណត់ទីតាំង និងការវាស់វែងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃសមាសធាតុអុបទិក។ ឧទាហរណ៍ នៅពេលផលិតសមាសធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដូចជាកញ្ចក់ និងកែវភ្នែក ចាំបាច់ត្រូវប្រើឧបករណ៍ interferometer និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀត ដើម្បីរកឃើញភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបរាងផ្ទៃ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អណ្តែតដោយខ្យល់អ័ក្សតែមួយអាចត្រូវបានប្រើជាវេទិកាចលនារបស់ឧបករណ៍ interferometer ដែលអាចសម្រេចបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងអនុមីក្រូន និងផ្តល់ការគាំទ្រទិន្នន័យត្រឹមត្រូវសម្រាប់ការរកឃើញសមាសធាតុអុបទិក។ លើសពីនេះ នៅក្នុងឧបករណ៍ដំណើរការឡាស៊ែរ វាក៏ចាំបាច់ផងដែរក្នុងការប្រើវេទិកាចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដើម្បីគ្រប់គ្រងគន្លងស្កេននៃធ្នឹមឡាស៊ែរ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៃម៉ូឌុលចលនាអណ្តែតដោយខ្យល់អាចបំពេញតាមតម្រូវការនេះ ដើម្បីសម្រេចបាននូវដំណើរការឡាស៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មេសា-០៧-២០២៥
