តួនាទីដ៏សំខាន់នៃថ្មក្រានីតនៅក្នុងដំណាក់កាលជាក់លាក់នៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងរង្វាស់វិទ្យាកម្រិតខ្ពស់

ឧស្សាហកម្ម​អេឡិចត្រូនិក​សកល​បច្ចុប្បន្ន​កំពុង​ចូលរួម​ក្នុង​ការ​ខិតខំ​ប្រឹងប្រែង​ឥត​ឈប់ឈរ​នៃ "យុគសម័យ​អង់ស្ត្រូម" ដែល​វិមាត្រ​ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ​ត្រូវ​បាន​វាស់​ជា​ទទឹង​នៃ​អាតូម​តែ​ប៉ុន្មាន​ប៉ុណ្ណោះ។ នៅពេល​ដែល​ឧបករណ៍​លីចូក្រាហ្វី និង​ឧបករណ៍​ត្រួតពិនិត្យ​ផ្លាស់ប្តូរ​ទៅ​ជា​មាត្រដ្ឋាន​មីក្រូទស្សន៍​ទាំងនេះ តម្រូវការ​សម្រាប់​ស្ថេរភាព​រចនាសម្ព័ន្ធ​បាន​ផ្លាស់ប្តូរ​ពី "ម៉ាក្រូ" ទៅ "ណាណូ"។ នៅ​ចំកណ្តាល​នៃ​បដិវត្តន៍​នេះ​ស្ថិត​នៅ​លើ​សម្ភារៈ​មួយ​ដែល​មាន​អាយុកាល​ចំណាស់​ដូច​ផែនដី​ដែរ៖ ថ្មក្រានីត​ដ៏​ជាក់លាក់។

ខណៈពេលដែលមនុស្សជាច្រើនមើលឃើញថាថ្មក្រានីតជាថ្មសាមញ្ញមួយ នៅក្នុងបរិបទនៃដំណាក់កាលណាណូដាក់ទីតាំងឬប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វីល្បឿនលឿន វាគឺជាសេរ៉ាមិចវិស្វកម្មដ៏ទំនើបមួយ។ ការយល់ដឹងពីភាពខុសគ្នារវាងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់មូលដ្ឋាន និងវេទិកាចលនាកម្រិតខ្ពស់ គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតគ្រឿងបន្លាស់ដើម (OEM) ដែលកំពុងស្វែងរកការជំរុញព្រំដែននៃអ្វីដែលអាចធ្វើទៅបាននៅក្នុងការផលិតស៊ីលីកុន។

បន្ទះ​ផ្ទៃ​ថ្មក្រានីត CMM ធៀប​នឹង​បន្ទះ​ផ្ទៃ​ថ្មក្រានីត៖ ការយល់ដឹង​អំពី​ការផ្លាស់ប្តូរ​វិស្វកម្ម

នៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ត្រួតពិនិត្យគុណភាពជាច្រើន វបន្ទះផ្ទៃថ្មក្រានីតគឺជាគ្រឿងបរិក្ខារដែលមានគ្រប់ទីកន្លែង — ជាឯកសារយោងរាបស្មើ និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការវាស់វែងដោយដៃ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ មានការយល់ច្រឡំជាទូទៅថា បន្ទះផ្ទៃ និងមូលដ្ឋាន Granite CMM (Coordinate Measuring Machine) អាចផ្លាស់ប្តូរគ្នាបាន។ ពីទស្សនៈវិស្វកម្ម ពួកវាតំណាងឱ្យកម្រិតស្មុគស្មាញពីរផ្សេងគ្នា។

បន្ទះ​ផ្ទៃ​មួយ​ត្រូវ​បាន​រចនា​ឡើង​សម្រាប់​ស្ថេរភាព​ឋិតិវន្ត។ ការងារ​ចម្បង​របស់​វា​គឺ​រក្សា​លំនឹង​ក្រោម​បន្ទុក​ឋិតិវន្ត។ ផ្ទុយទៅវិញ មូលដ្ឋាន​ថ្ម​ក្រានីត​សម្រាប់ CMM ឬ​ដំណាក់កាល​ភាព​ជាក់លាក់​ត្រូវតែ​ដោះស្រាយ​បន្ទុក​ថាមវន្ត។ នៅពេល​ដែល​ស្ពាន​នៃ CMM ផ្លាស់ទី ឬ​ម៉ូទ័រ​លីនេអ៊ែរ​បង្កើនល្បឿន​ដំណាក់កាល wafer នៅ Gs ជាច្រើន ថ្ម​ក្រានីត​ត្រូវតែ​ទប់ទល់​មិន​ត្រឹមតែ​ការ​ពត់កោង​ប៉ុណ្ណោះ​ទេ ប៉ុន្តែ​ថែមទាំង​ការ​រមួល និង​សំឡេង​អាម៉ូនិក​ផងដែរ។

វិស្វករ ZHHIMG ជ្រើសរើសជាពិសេស "ថ្មក្រានីតខ្មៅ" សម្រាប់កម្មវិធីថាមវន្តដោយសារតែដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងរចនាសម្ព័ន្ធគ្រាប់ធញ្ញជាតិល្អិតជាង។ ខណៈពេលដែលបន្ទះផ្ទៃស្តង់ដារអាចប្រើពូជដែលមានរន្ធច្រើន មូលដ្ឋាន CMM តម្រូវឱ្យមានម៉ូឌុល Young's Modulus ខ្ពស់បំផុតដើម្បីធានាថា "ការរោទ៍" នៃចលនាល្បឿនលឿនមិនបកប្រែទៅជាសំឡេងរោទ៍រចនាសម្ព័ន្ធដែលនឹងធ្វើឱ្យខូចទិន្នន័យវាស់វែង។

ដំណាក់កាលនៃភាពជាក់លាក់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ មូលដ្ឋានគ្រឹះនៃទិន្នផល

នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក បរិមាណ និងទិន្នផលគឺជារង្វាស់ពីរដ៏សំខាន់បំផុត។ ទាំងពីរនេះអាស្រ័យដោយផ្ទាល់ទៅលើដំណើរការរបស់ដំណាក់កាលភាពជាក់លាក់មិនថាវាជាដំណាក់កាល wafer នៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីចូក្រាហ្វី DUV/EUV ឬប្រព័ន្ធកំណត់ទីតាំងនៅក្នុងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យអុបទិកស្វ័យប្រវត្តិ (AOI) សម្ភារៈមូលដ្ឋានត្រូវតែសម្រួលដល់ការធ្វើម្តងទៀតនៃអនុណាណូម៉ែត្រ។

បញ្ហាប្រឈមចម្បងនៅក្នុងរោងចក្រនេះគឺកំដៅ។ ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងឧបករណ៍បញ្ជាបង្កើតថាមពលកម្ដៅយ៉ាងច្រើន។ ប្រសិនបើមូលដ្ឋានឆាកត្រូវបានផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម ឬដែកថែប ការពង្រីកកម្ដៅដែលជាលទ្ធផលនឹងបណ្តាលឱ្យបន្ទះសៀគ្វីរំកិលចេញពីការតម្រឹម ដែលនាំឱ្យមាន "កំហុសក្នុងការដាក់ស្រទាប់" ដែលបំផ្លាញបាច់បន្ទះឈីបទាំងមូល។

មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត (CTE) របស់ថ្មក្រានីតធានាថា សូម្បីតែពេលដែលម៉ូទ័រឡើងកំដៅក៏ដោយ «ផែនទី» រូបវន្តនៃឆាកនៅតែថេរ។ លើសពីនេះ ZHHIMG ផ្តល់ជូននូវសមាសធាតុថ្មក្រានីតដែលប្ដូរតាមបំណងជាមួយនឹងផ្លូវទ្រទ្រង់ខ្យល់រួមបញ្ចូលគ្នា។ ដោយសារតែថ្មក្រានីតអាចត្រូវបានគ្របដណ្ដប់ឱ្យរាបស្មើដូចកញ្ចក់ វាបម្រើជាផ្ទៃប្រឆាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ទ្រនាប់ខ្យល់ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យឆាក «អណ្តែត» លើស្រទាប់ខ្យល់ស្តើងដោយគ្មានការកកិត និងគ្មានការប៉ះទង្គិច។

រូបវិទ្យានៃមូលដ្ឋានដំណាក់កាលណាណូប៉ូស៊ីង

នៅពេលដែលយើងចូលទៅក្នុងពិភពនៃដំណាក់កាលណាណូដាក់ទីតាំងយើងកំពុងដោះស្រាយជាមួយចលនាតូចជាងសក់មនុស្សដល់ទៅ 10,000 ដង។ នៅកម្រិតនេះ រំញ័រគឺជាសត្រូវ។ កម្រាលឥដ្ឋឧស្សាហកម្មស្តង់ដារញ័រឥតឈប់ឈរដោយសារតែប្រព័ន្ធ HVAC ចរាចរណ៍ថ្មើរជើង និងគ្រឿងចក្រនៅក្បែរនោះ។

ថ្មក្រានីតដើរតួជាតម្រងឆ្លងកាត់ទាបដ៏ធំមួយ។ ដោយសារតែម៉ាស់ខ្ពស់ និងការរំញ័រខាងក្នុងខ្ពស់របស់វា វាស្រូបយករំញ័រប្រេកង់ខ្ពស់ដោយធម្មជាតិ មុនពេលដែលពួកវាអាចទៅដល់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលងាយប្រតិកម្ម ឬបន្ទះសៀគ្វីខ្លួនឯង។ “ភាពឯកោអកម្ម” នេះគឺជាហេតុផលដែលអ្នកផ្គត់ផ្គង់លីតូក្រាហ្វីឈានមុខគេរបស់ពិភពលោកពឹងផ្អែកលើ ZHHIMG ដើម្បីផ្តល់នូវគ្រឹះធ្ងន់ និងរឹងមាំសម្រាប់ដំណាក់កាលដែលឆបគ្នាជាមួយកន្លែងទំនេររបស់ពួកគេ។ ថ្មក្រានីតរបស់យើងត្រូវបានព្យាបាលជាពិសេសដើម្បីធានាបាននូវការចេញឧស្ម័នសូន្យ ដែលធ្វើឱ្យវាសមស្របសម្រាប់បរិស្ថានកន្លែងទំនេរខ្ពស់ដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណើរការធ្នឹមអេឡិចត្រុង និង EUV។

ការ​បើកបរ​ដល់​កម្រិត​កំណត់៖ គុណសម្បត្តិ ZHHIMG

ការផ្លាស់ប្តូរពីដុំថ្មឆៅទៅជាសមាសធាតុថ្នាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រគឺជាដំណើរនៃការអត់ធ្មត់យ៉ាងខ្លាំង។ ខណៈពេលដែលការកិន CNC ធ្វើឱ្យយើងខិតជិតដល់កម្រិតចុងក្រោយ កម្រិត "ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់" ត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈការគៀបដោយដៃ។ នេះគឺជាដំណើរការមួយដែលអ្នកបច្ចេកទេស ZHHIMG ប្រើកាវបិទ និងចលនាដោយដៃដើម្បីកោរប្រភាគនៃមីក្រូនក្នុងពេលតែមួយ។

សម្រាប់ដំណាក់កាលណាណូដាក់ទីតាំងភាពរាបស្មើមិនមែនជាតម្រូវការតែមួយគត់នោះទេ។ ភាពស្របគ្នា និងភាពកាត់កែងនៃផ្ទៃណែនាំក៏មានសារៈសំខាន់ដូចគ្នាដែរ។ រោងចក្ររបស់យើងប្រើប្រាស់ឧបករណ៍តាមដានឡាស៊ែរ និងកម្រិតអេឡិចត្រូនិចដែលមានគុណភាពបង្ហាញ 0.1 arc-seconds ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ថាអ័ក្សនីមួយៗត្រូវបានតម្រឹមយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ។ កម្រិតនៃសិប្បកម្មនេះធានាថា នៅពេលដែលអតិថិជនដំឡើងម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងឧបករណ៍អ៊ិនកូដឌ័ររបស់ពួកគេ គ្រឹះមេកានិចគឺជិតដល់ "ល្អឥតខ្ចោះ" តាមដែលរូបវិទ្យាអនុញ្ញាត។

ការធ្វើឱ្យ Fab មានភាពរឹងមាំនាពេលអនាគត

នៅពេលដែលឧស្សាហកម្មនេះផ្លាស់ប្តូរឆ្ពោះទៅរកបច្ចេកវិទ្យា 2nm និងលើសពីនេះ តម្រូវការសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈ និងស្ថេរភាពវិមាត្រនឹងកាន់តែខ្លាំងឡើង។ ការរួមបញ្ចូលថ្មក្រានីតជាមួយសម្ភារៈជឿនលឿនផ្សេងទៀត ដូចជាស្ពានសរសៃកាបូន ឬប្រអប់បូមធូលីសេរ៉ាមិច គឺជាព្រំដែនបន្ទាប់ក្នុងការគ្រប់គ្រងចលនា។

ក្រុមហ៊ុន ZHHIMG នៅតែប្តេជ្ញាចិត្តក្នុងការធ្វើលើសពីគ្រាន់តែជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់។ យើងគឺជាដៃគូសហការនៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសកល។ តាមរយៈការផ្តល់មូលដ្ឋានគ្រឹះដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំងដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណាក់កាលភាពជាក់លាក់ជំនាន់ក្រោយ យើងកំពុងជួយកសាងម៉ាស៊ីនដែលកសាងអនាគត។