"ខែលដែលមើលមិនឃើញ" នៃវេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសអ៊ីដ្រូស្តាទិចដែលមានភាពជាក់លាក់៖ តម្រូវការបរិស្ថានដ៏តឹងរ៉ឹងនៃមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត។

នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រដ៏ទំនើប វេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់គឺជាឧបករណ៍សំខាន់ដើម្បីសម្រេចបាននូវប្រតិបត្តិការដ៏ជាក់លាក់បំផុត។ មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតគឺជាផ្នែកគាំទ្រស្នូលនៃវេទិកា ហើយដំណើរការរបស់វាគឺទាក់ទងយ៉ាងជិតស្និទ្ធទៅនឹងបរិយាកាសការងារ។ ការយល់ដឹង និងការបំពេញតាមតម្រូវការបរិស្ថានទាំងនេះមិនត្រឹមតែអាចធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃវេទិកាប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏ជាផ្នែកសំខាន់នៃសហគ្រាសដើម្បីបង្កើនការប្រកួតប្រជែងរបស់ខ្លួននៅក្នុងវិស័យពាក់ព័ន្ធដែលត្រូវបានពិពណ៌នាលម្អិតខាងក្រោម។

1. សីតុណ្ហភាព៖ ការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពវិមាត្រ
ទោះបីជាថ្មក្រានីតត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ស្ថេរភាពរបស់វាក៏ដោយក៏មេគុណនៃការពង្រីកកំដៅរបស់វាមិនមែនជាសូន្យទេហើយការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពតិចតួចនៅតែអាចប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្ររបស់វា។ និយាយជាទូទៅមេគុណពង្រីកកំដៅនៃថ្មក្រានីតគឺ 5-7 × 10⁻⁶ / ℃។ នៅក្នុងសេណារីយ៉ូនៃកម្មវិធីនៃវេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ ការផ្លាស់ប្តូរបន្តិចបន្តួចនេះត្រូវបានពង្រីកដោយវេទិកាដែលអាចនាំទៅរកគម្លាតនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនា។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ដំណើរការ lithography សម្រាប់កំណត់ទីតាំងតម្រូវការភាពត្រឹមត្រូវនៃកម្រិត danami ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ 1 ° C ប្រវែងចំហៀងនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត 1 ម៉ែត្រអាចផលិត 5-7 microns នៃការពង្រីកលីនេអ៊ែរឬកន្ត្រាក់ដែលវាគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីធ្វើឱ្យ chip lithography គម្លាតលំនាំកាត់បន្ថយទិន្នផល។ ដូច្នេះវេទិកាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ដែលបំពាក់ដោយមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត សីតុណ្ហភាពបរិយាកាសការងារដ៏ល្អគួរត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៅ 20 ° C ± 1 ° C សហគ្រាសអាចដំឡើងប្រព័ន្ធម៉ាស៊ីនត្រជាក់សីតុណ្ហភាពថេរភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ តាមដាន និងកែតម្រូវសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញយ៉ាងត្រឹមត្រូវ រក្សាទំហំនៃស្ថេរភាពមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ដើម្បីធានាថាវេទិកាប្រតិបត្តិការមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
2.humidity: ការត្រួតពិនិត្យសមហេតុផល, ការពារការអនុវត្តមូលដ្ឋាន
សំណើមក៏មានឥទ្ធិពលយ៉ាងសំខាន់លើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ផងដែរ។ នៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសំណើមខ្ពស់ ថ្មក្រានីតងាយស្រូបចំហាយទឹក ហើយវាអាចមាន condensation លើផ្ទៃ ដែលមិនត្រឹមតែរំខានដល់ដំណើរការធម្មតានៃប្រព័ន្ធផ្លុំខ្យល់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងនាំទៅដល់ការសាយភាយផ្ទៃថ្មក្រានីតរយៈពេលយូរ កាត់បន្ថយភាពត្រឹមត្រូវ និងអាយុកាលសេវាកម្មរបស់វា។ យកសិក្ខាសាលាកិនកញ្ចក់អុបទិកជាឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើសំណើមខ្ពស់ជាង 60% RH រយៈពេលយូរ ចំហាយទឹកដែលជ្រាបលើផ្ទៃនៃថ្មក្រានីតនឹងបំផ្លាញឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តអណ្តែតខ្យល់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការថយចុះនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការកិនកញ្ចក់ និងពិការភាពលើផ្ទៃ។ ដូច្នេះសំណើមដែលទាក់ទងនៃបរិយាកាសការងារចាំបាច់ត្រូវគ្រប់គ្រងរវាង 40% -60% RH ។ សហគ្រាសអាចប្រើឧបករណ៍បំលែងសំណើម ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសំណើម និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីត្រួតពិនិត្យ និងគ្រប់គ្រងសំណើមក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង បង្កើតបរិយាកាសសំណើមសមរម្យសម្រាប់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតច្បាស់លាស់ និងធានាបាននូវប្រតិបត្តិការប្រកបដោយស្ថេរភាពនៃវេទិកាចលនាអណ្តែតទឹកសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់។

3. ភាពស្អាត៖ គ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង លុបបំបាត់ការជ្រៀតជ្រែកនៃភាគល្អិត
ភាគល្អិតធូលីគឺជា "សត្រូវ" នៃវេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ និងបង្កគ្រោះថ្នាក់យ៉ាងខ្លាំងចំពោះមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត។ នៅពេលដែលភាគល្អិតតូចៗចូលទៅក្នុងគម្លាតនៃខ្សែភាពយន្តឧស្ម័នរវាងគ្រាប់រំកិលអណ្តែតឧស្ម័ន និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ពួកវាអាចបំផ្លាញឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តឧស្ម័ន បង្កើនការកកិត និងសូម្បីតែកោសផ្ទៃនៃមូលដ្ឋាន ដែលប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនាវេទិកា។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាម៉ាស៊ីនកាត់ភាពជាក់លាក់ជ្រុលនៃផ្នែកអវកាស ប្រសិនបើភាគល្អិតធូលីនៅលើអាកាសធ្លាក់លើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត នោះគន្លងចលនារបស់ឧបករណ៍ម៉ាស៊ីនអាចនឹងត្រូវវង្វេង ដែលប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្នែកម៉ាស៊ីន។ ដូច្នេះ កន្លែងធ្វើការគួរតែរក្សាអនាម័យខ្ពស់ និងឈានដល់ស្តង់ដារអនាម័យ 10,000 ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ សហគ្រាសអាចចម្រោះភាគល្អិតធូលីនៅក្នុងខ្យល់ដោយការដំឡើងតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ (HEPA) ហើយតម្រូវឱ្យបុគ្គលិកស្លៀកពាក់គ្មានធូលី គម្របស្បែកជើងជាដើម ដើម្បីកាត់បន្ថយធូលីដែលនាំមកដោយមនុស្ស និងរក្សាបរិយាកាសប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត និងវេទិកាចលនាអណ្តែតលើអាកាសដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្ត។
4. រំញ័រ: ភាពឯកោដ៏មានប្រសិទ្ធិភាពដើម្បីបង្កើតចន្លោះរលោង
ការរំញ័រខាងក្រៅនឹងរំខានយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភាពជាក់លាក់នៃវេទិកាអណ្តែតទឹកសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ ទោះបីជាមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតមានភាពជាក់លាក់មានសមត្ថភាពរំញ័រជាក់លាក់ក៏ដោយ ប៉ុន្តែការរំញ័រកម្លាំងខ្ពស់អាចនៅតែបំបែកដែនកំណត់សតិបណ្ដោះអាសន្នរបស់វា។ រំញ័រដែលបង្កើតឡើងដោយចរាចរជុំវិញរោងចក្រនិងប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍មេកានិចធំ ៗ ត្រូវបានបញ្ជូនទៅមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតតាមរយៈដីដែលនឹងរំខានដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនាវេទិកា។ នៅក្នុង CMM កម្រិតខ្ពស់ ការរំញ័រអាចបណ្តាលឱ្យទំនាក់ទំនងរវាងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ និងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់មិនស្ថិតស្ថេរ ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៃទិន្នន័យរង្វាស់។ ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហានេះ ចាំបាច់ត្រូវអនុវត្តវិធានការឯកោរំញ័រប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដូចជាការដាក់បន្ទះរំញ័រនៅកន្លែងដំឡើងឧបករណ៍ ការសាងសង់គ្រឹះរំញ័ររំញ័រ ឬប្រើប្រព័ន្ធរំញ័រសកម្ម ដើម្បីទូទាត់រំញ័រខាងក្រៅយ៉ាងសកម្ម និងបង្កើតបរិយាកាសការងារស្ងាត់ និងមានស្ថេរភាពសម្រាប់មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត និងវេទិកាចលនាអណ្តែតទឹកសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់។
បំពេញតាមតម្រូវការបរិស្ថានខាងលើ ដើម្បីផ្តល់នូវការលេងពេញលេញចំពោះគុណសម្បត្តិនៃមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីតនៅក្នុងវេទិកាចលនាអណ្តែតទឹកសម្ពាធឋិតិវន្តភាពជាក់លាក់ ដើម្បីធានាថាវេទិកានេះផ្តល់នូវសេវាកម្មគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ និងស្ថេរភាពខ្ពស់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ។ ប្រសិនបើសហគ្រាសអាចយកចិត្តទុកដាក់លើព័ត៌មានលម្អិតទាំងនេះនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម ពួកគេនឹងចាប់យកឱកាសក្នុងការផលិតភាពជាក់លាក់ ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត បង្កើនភាពប្រកួតប្រជែងរបស់ពួកគេ និងសម្រេចបានការអភិវឌ្ឍន៍ប្រកបដោយចីរភាព។