“ខែលមើលមិនឃើញ” នៃវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់អ៊ីដ្រូស្តាទិចដែលមានភាពជាក់លាក់៖ តម្រូវការបរិស្ថានដ៏តឹងរ៉ឹងនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់។

នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រទំនើបៗ វេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់ដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តជាក់លាក់ គឺជាឧបករណ៍សំខាន់ដើម្បីសម្រេចបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់នៃថ្មក្រានីត គឺជាផ្នែកទ្រទ្រង់ស្នូលនៃវេទិកា ហើយដំណើរការរបស់វាមានទំនាក់ទំនងយ៉ាងជិតស្និទ្ធទៅនឹងបរិយាកាសការងារ។ ការយល់ដឹង និងការបំពេញតាមតម្រូវការបរិស្ថានទាំងនេះ មិនត្រឹមតែអាចធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃវេទិកាប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងជាផ្នែកសំខាន់មួយនៃសហគ្រាស ដើម្បីបង្កើនភាពប្រកួតប្រជែងរបស់ខ្លួននៅក្នុងវិស័យពាក់ព័ន្ធ ដែលត្រូវបានពិពណ៌នាលម្អិតខាងក្រោម។

១. សីតុណ្ហភាព៖ ការគ្រប់គ្រងច្បាស់លាស់ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពវិមាត្រ
ទោះបីជាថ្មក្រានីតត្រូវបានគេស្គាល់ថាមានស្ថេរភាពក៏ដោយ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់វាមិនសូន្យទេ ហើយការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពតិចតួចអាចនៅតែប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្ររបស់វា។ ជាទូទៅ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់ថ្មក្រានីតគឺ 5-7 ×10⁻⁶/℃។ នៅក្នុងសេណារីយ៉ូនៃវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់ដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តជាក់លាក់ ការផ្លាស់ប្តូរបន្តិចបន្តួចនេះត្រូវបានពង្រីកដោយវេទិកា ដែលអាចនាំឱ្យមានគម្លាតនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនា។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ដំណើរការលីចូក្រាហ្វីសម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង តម្រូវការកម្រិត danami ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ 1°C ប្រវែងចំហៀងនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត 1 ម៉ែត្រអាចបង្កើតការពង្រីកលីនេអ៊ែរ 5-7 មីក្រូ ដែលគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីធ្វើឱ្យលំនាំលីចូក្រាហ្វីបន្ទះឈីបមានគម្លាត កាត់បន្ថយទិន្នផល។ ដូច្នេះ វេទិកាអណ្តែតខ្យល់ដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តជាក់លាក់ បំពាក់ដោយមូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់ថ្មក្រានីត សីតុណ្ហភាពបរិយាកាសការងារដ៏ល្អគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៅ 20°C ±1°C សហគ្រាសអាចដំឡើងប្រព័ន្ធម៉ាស៊ីនត្រជាក់សីតុណ្ហភាពថេរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ តាមដានជាបន្តបន្ទាប់ និងកែតម្រូវសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញបានត្រឹមត្រូវ រក្សាទំហំនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតឱ្យមានស្ថេរភាព ដើម្បីធានាថាវេទិកាមានប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
2.សំណើម៖ ការគ្រប់គ្រងសមហេតុផល ការពារដំណើរការមូលដ្ឋាន
សំណើមក៏មានឥទ្ធិពលគួរឱ្យកត់សម្គាល់លើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ផងដែរ។ នៅក្នុងបរិយាកាសសំណើមខ្ពស់ ថ្មក្រានីតងាយស្រូបយកចំហាយទឹក ហើយអាចមានការខាប់នៅលើផ្ទៃ ដែលមិនត្រឹមតែរំខានដល់ប្រតិបត្តិការធម្មតានៃប្រព័ន្ធអណ្តែតខ្យល់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏នាំឱ្យមានការហូរច្រោះរយៈពេលវែងនៃផ្ទៃថ្មក្រានីត ដែលកាត់បន្ថយភាពត្រឹមត្រូវ និងអាយុកាលសេវាកម្មរបស់វា។ ឧទាហរណ៍ សិក្ខាសាលាកិនកែវភ្នែក ប្រសិនបើសំណើមខ្ពស់ជាង 60%RH ក្នុងរយៈពេលយូរ ចំហាយទឹកដែលស្រូបយកនៅលើផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនឹងបំផ្លាញឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តអណ្តែតខ្យល់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការថយចុះនៃភាពត្រឹមត្រូវនៃការកិនកែវភ្នែក និងពិការភាពលើផ្ទៃ។ ដូច្នេះ សំណើមដែលទាក់ទងនៃបរិស្ថានការងារត្រូវការគ្រប់គ្រងរវាង 40%-60%RH។ សហគ្រាសអាចប្រើម៉ាស៊ីនសម្ងួតខ្យល់ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសំណើម និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីតាមដាន និងគ្រប់គ្រងសំណើមក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង បង្កើតបរិយាកាសសំណើមសមស្របសម្រាប់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ និងធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពនៃវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់ដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្តដែលមានភាពជាក់លាក់។

៣. អនាម័យ៖ គ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង លុបបំបាត់ការជ្រៀតជ្រែកភាគល្អិត
ភាគល្អិតធូលីគឺជា "សត្រូវ" នៃវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តដែលមានភាពជាក់លាក់ ហើយបង្កគ្រោះថ្នាក់យ៉ាងខ្លាំងដល់មូលដ្ឋានភាពជាក់លាក់របស់ថ្មក្រានីត។ នៅពេលដែលភាគល្អិតតូចៗចូលទៅក្នុងគម្លាតខ្សែភាពយន្តឧស្ម័នរវាងឧបករណ៍រំកិលអណ្តែតឧស្ម័ន និងមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ពួកវាអាចបំផ្លាញឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តឧស្ម័ន បង្កើនការកកិត និងថែមទាំងកោសផ្ទៃនៃមូលដ្ឋាន ដែលប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនាវេទិកា។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃគ្រឿងបន្លាស់អាកាសចរណ៍ ប្រសិនបើភាគល្អិតធូលីនៅក្នុងខ្យល់ធ្លាក់លើមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត គន្លងចលនារបស់ឧបករណ៍ម៉ាស៊ីនអាចនឹងងាកចេញ ដែលប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីននៃគ្រឿងបន្លាស់។ ដូច្នេះ តំបន់ធ្វើការគួរតែត្រូវបានរក្សាឱ្យស្អាតខ្ពស់ និងឈានដល់ស្តង់ដារអនាម័យ 10,000 ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ សហគ្រាសអាចច្រោះភាគល្អិតធូលីនៅក្នុងខ្យល់ដោយដំឡើងតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ (HEPA) ហើយតម្រូវឱ្យបុគ្គលិកពាក់សម្លៀកបំពាក់ដែលគ្មានធូលី គម្របស្បែកជើង ជាដើម ដើម្បីកាត់បន្ថយធូលីដែលនាំមកដោយមនុស្ស និងរក្សាបរិយាកាសប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត និងវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តដែលមានភាពជាក់លាក់។
៤. រំញ័រ៖ អ៊ីសូឡង់ដ៏មានប្រសិទ្ធភាពដើម្បីបង្កើតលំហរលោង
រំញ័រខាងក្រៅនឹងជ្រៀតជ្រែកយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ភាពជាក់លាក់នៃវេទិកាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តដែលមានភាពជាក់លាក់ ទោះបីជាមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់មានសមត្ថភាពកាត់បន្ថយរំញ័រជាក់លាក់ក៏ដោយ ប៉ុន្តែរំញ័រកម្លាំងខ្ពស់អាចនៅតែបំបែកដែនកំណត់សតិបណ្ដោះអាសន្នរបស់វា។ រំញ័រដែលបង្កើតឡើងដោយចរាចរណ៍ជុំវិញរោងចក្រ និងប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍មេកានិចធំៗ ត្រូវបានបញ្ជូនទៅមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតតាមរយៈដី ដែលនឹងជ្រៀតជ្រែកដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនាវេទិកា។ នៅក្នុង CMM កម្រិតខ្ពស់ រំញ័រអាចបណ្តាលឱ្យទំនាក់ទំនងរវាងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ និងស្នាដៃដែលត្រូវបានវាស់វែងមិនស្ថិតស្ថេរ ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៃទិន្នន័យវាស់វែង។ ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហានេះ ចាំបាច់ត្រូវអនុវត្តវិធានការញែករំញ័រដែលមានប្រសិទ្ធភាព ដូចជាការដាក់បន្ទះញែករំញ័រនៅក្នុងតំបន់ដំឡើងឧបករណ៍ ការសាងសង់គ្រឹះញែករំញ័រ ឬការប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធញែករំញ័រសកម្មដើម្បីទប់ទល់នឹងរំញ័រខាងក្រៅយ៉ាងសកម្ម និងបង្កើតបរិយាកាសការងារស្ងប់ស្ងាត់ និងមានស្ថេរភាពសម្រាប់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ និងវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់សម្ពាធឋិតិវន្តដែលមានភាពជាក់លាក់។
បំពេញតាមតម្រូវការបរិស្ថានខាងលើ ដើម្បីផ្តល់អត្ថប្រយោជន៍ពេញលេញដល់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៅក្នុងវេទិកាចលនាអណ្តែតខ្យល់ដែលមានសម្ពាធឋិតិវន្ត ដើម្បីធានាថាវេទិកានេះផ្តល់នូវសេវាកម្មគ្រប់គ្រងចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាពខ្ពស់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ។ ប្រសិនបើសហគ្រាសអាចយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះព័ត៌មានលម្អិតទាំងនេះនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម ពួកគេនឹងចាប់យកឱកាសក្នុងការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត បង្កើនភាពប្រកួតប្រជែងរបស់ពួកគេ និងសម្រេចបាននូវការអភិវឌ្ឍប្រកបដោយចីរភាព។