តើសម្ភារៈជំនួសសម្រាប់ផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor មានអ្វីខ្លះ?តើអ្វីជាគុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិនៃសម្ភារៈជំនួសទាំងនេះ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្មក្រានីត?

ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor សម្រាប់លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងមេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ។ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ជាមួយនឹងតម្រូវការកើនឡើងឥតឈប់ឈរសម្រាប់ភាពជាក់លាក់ និងផលិតភាពខ្ពស់ សម្ភារៈជំនួសបានលេចចេញជាជម្រើសដែលអាចសម្រេចបានសម្រាប់ការផលិតគ្រឿងបន្លាស់ឧបករណ៍ semiconductor ។នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងស្វែងយល់ពីសម្ភារៈជំនួសមួយចំនួនសម្រាប់ផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ហើយប្រៀបធៀបគុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិរបស់វា។

សម្ភារៈជំនួសសម្រាប់ផ្នែកថ្មក្រានីត

1. សម្ភារៈកញ្ចក់ - សេរ៉ាមិច

សមា្ភារៈសេរ៉ាមិចកញ្ចក់ដូចជា Zerodur និង Cervit បានទទួលការប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ដោយសារតែមេគុណនៃការពង្រីកកំដៅទាបរបស់វា ដែលជិតនឹងស៊ីលីកុន។អាស្រ័យហេតុនេះ វត្ថុធាតុទាំងនេះអាចផ្តល់នូវស្ថេរភាពកម្ដៅកាន់តែប្រសើរ និងភាពជាក់លាក់ដែលប្រសើរឡើងនៅក្នុងដំណើរការផលិតសារធាតុ semiconductor ។ជាពិសេស Zerodur មានកម្រិតខ្ពស់នៃភាពដូចគ្នានិងស្ថេរភាពដែលធ្វើឱ្យវាសមរម្យសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍ lithography ។

គុណសម្បត្តិ៖

- មេគុណទាបនៃការពង្រីកកំដៅ
- ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់និងស្ថេរភាព
- សាកសមសម្រាប់កម្មវិធីដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

គុណវិបត្តិ៖

- តម្លៃខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្មក្រានីត
- មានភាពផុយស្រួយ អាចបង្កបញ្ហាប្រឈមក្នុងម៉ាស៊ីន និងការគ្រប់គ្រង

2. សេរ៉ាមិច

សមា្ភារៈសេរ៉ាមិចដូចជាអាលុយមីញ៉ូអុកស៊ីដ (Al2O3) ស៊ីលីកុនកាបូន (SiC) និងស៊ីលីកុននីត្រាត (Si3N4) មានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប។លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យសេរ៉ាមិកល្អសម្រាប់ផ្នែកឧបករណ៍ semiconductor ដែលត្រូវការស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់ និងភាពជាក់លាក់ដូចជាដំណាក់កាល wafer និង chucks ។

គុណសម្បត្តិ៖

- ស្ថេរភាពកំដៅនិងកម្លាំងខ្ពស់។
- មេគុណពង្រីកកំដៅទាប
- ធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ និងភាពអសកម្មគីមី

គុណវិបត្តិ៖

- អាច​ផុយ និង​ងាយ​នឹង​ប្រេះ ជាពិសេស​កំឡុង​ពេល​ម៉ាស៊ីន និង​ការ​កាន់
- ការកែច្នៃ និងប៉ូលាសេរ៉ាមិច អាចជាបញ្ហាប្រឈម និងចំណាយពេលច្រើន។

3. លោហធាតុ

វត្ថុធាតុដែលមានមូលដ្ឋានលើលោហៈ ដូចជាដែកអ៊ីណុក និងទីតានីញ៉ូម ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់សម្រាប់ផ្នែកឧបករណ៍ semiconductor មួយចំនួនដោយសារតែម៉ាស៊ីនដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងកម្លាំងខ្ពស់។ពួកវាត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងកម្មវិធីដែលមិនមានតម្រូវការស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់ ដូចជាផ្នែកអង្គជំនុំជម្រះ ការភ្ជាប់ និងច្រកចូល។

គុណសម្បត្តិ៖

- មានម៉ាស៊ីនល្អ និងអាចផ្សារបាន។
- កម្លាំងនិងភាពបត់បែនខ្ពស់។
- តម្លៃទាបបើប្រៀបធៀបទៅនឹងសម្ភារៈជំនួសមួយចំនួន

គុណវិបត្តិ៖

- មេគុណពង្រីកកំដៅខ្ពស់។
- មិនស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយសារបញ្ហាការពង្រីកកម្ដៅ
- ងាយនឹងរលួយ និងការចម្លងរោគ

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖

សរុបមក ខណៈពេលដែលថ្មក្រានីតគឺជាជម្រើសដ៏ពេញនិយមមួយសម្រាប់ផ្នែកឧបករណ៍ semiconductor សម្ភារៈជំនួសបានលេចឡើង ដែលនីមួយៗមានគុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិតែមួយគត់។វត្ថុធាតុកញ្ចក់-សេរ៉ាមិចមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាព ប៉ុន្តែអាចផុយ។សេរ៉ាមិចមានភាពរឹងមាំ និងមានស្ថេរភាពកម្ដៅល្អ ប៉ុន្តែក៏អាចផុយផងដែរ ដែលធ្វើឲ្យពួកគេពិបាកក្នុងការផលិត។លោហធាតុមានតម្លៃថោក អាចកែច្នៃបាន និងអាចបត់បែនបាន ប៉ុន្តែពួកវាមានមេគុណខ្ពស់នៃការពង្រីកកម្ដៅ ហើយងាយនឹង corrosion និងការចម្លងរោគ។នៅពេលជ្រើសរើសសម្ភារៈសម្រាប់ឧបករណ៍ semiconductor វាមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការពិចារណាលើតម្រូវការជាក់លាក់នៃកម្មវិធី ហើយជ្រើសរើសសម្ភារៈដែលមានតុល្យភាពតម្លៃ ដំណើរការ និងភាពជឿជាក់។

ថ្មក្រានីតច្បាស់លាស់ ០៤


ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ១៩ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤