ថ្មក្រានីតគឺជាវត្ថុធាតុដើមដែលប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតសមាសធាតុដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។បំណែកទាំងនេះ ជាទូទៅក្នុងទម្រង់ជាចង្កឹះ និងជើងទម្រ ផ្តល់នូវវេទិកាដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ការផ្លាស់ប្តូរ និងកំណត់ទីតាំងរបស់ wafers semiconductor ក្នុងដំណាក់កាលផ្សេងៗនៃដំណើរការផលិត។ការអនុវត្តនិងភាពជឿជាក់នៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតទាំងនេះត្រូវបានជះឥទ្ធិពលដោយកត្តាជាច្រើន រួមទាំងបរិស្ថានដែលពួកវាត្រូវបានប្រើ។
កត្តាបរិស្ថានដ៏សំខាន់បំផុតមួយដែលប៉ះពាល់ដល់សមាសធាតុថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor គឺសីតុណ្ហភាព។ថ្មក្រានីតមានមេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ ដែលមានន័យថា វាអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពដ៏ធំទូលាយដោយមិនមានការប៉ះទង្គិច ឬបំបែក។ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពខ្លាំងអាចបណ្តាលឱ្យមានភាពតានតឹងនៅក្នុងសម្ភារៈ ដែលនាំឱ្យមានការប្រេះ ឬ delamination នៃផ្ទៃ។លើសពីនេះ ការប៉ះពាល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងរយៈពេលយូរអាចបណ្តាលឱ្យសម្ភារៈទន់ ធ្វើឱ្យវាងាយនឹងខូចទ្រង់ទ្រាយ និងពាក់។
សំណើមគឺជាកត្តាបរិស្ថានដ៏សំខាន់មួយផ្សេងទៀតដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។កម្រិតសំណើមខ្ពស់អាចបណ្តាលឱ្យសំណើមជ្រាបចូលទៅក្នុងផ្ទៃ porous នៃថ្មក្រានីតដែលនាំឱ្យមាន delamination ឬបំបែក។លើសពីនេះសំណើមអាចបណ្តាលឱ្យមានចរន្តអគ្គិសនីដែលអាចធ្វើឱ្យខូចសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចដែលឆ្ងាញ់ដែលកំពុងដំណើរការលើផ្ទៃថ្មក្រានីត។ដើម្បីទប់ស្កាត់បញ្ហាទាំងនេះ វាមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការថែរក្សាបរិយាកាសស្ងួតកំឡុងពេលដំណើរការផលិតសារធាតុ semiconductor ។
ការប៉ះពាល់នឹងសារធាតុគីមីក៏ជាការពិចារណាដ៏សំខាន់ផងដែរនៅពេលប្រើសមាសធាតុថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។ថ្មក្រានីតជាទូទៅមានភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីភាគច្រើន ប៉ុន្តែសារធាតុរំលាយ និងអាស៊ីតមួយចំនួនអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតដល់ផ្ទៃរបស់វា។ភ្នាក់ងារសម្អាតទូទៅដូចជា អាល់កុល isopropyl ឬអាស៊ីត hydrofluoric អាច etch ឬ corrode ផ្ទៃថ្មក្រានីតដែលនាំឱ្យមានភាពរដុបនៃផ្ទៃនិងការថយចុះភាពរាបស្មើ។ដើម្បីជៀសវាងបញ្ហាទាំងនេះ គួរតែយកចិត្តទុកដាក់នៅពេលជ្រើសរើសភ្នាក់ងារសម្អាត និងនីតិវិធីដើម្បីការពារការខូចខាតសារធាតុគីមី។
កត្តាបរិស្ថានមួយទៀតដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតគឺការរំញ័រ។ការរំញ័រអាចបណ្តាលឱ្យ microcracks នៅលើផ្ទៃថ្មក្រានីតដែលនាំទៅដល់ការរិចរិលនៃផ្ទៃរាបស្មើ។ដើម្បីកាត់បន្ថយរំញ័រ វាចាំបាច់ក្នុងការចាត់វិធានការសមស្របដូចជា ការដំឡើងប្រព័ន្ធរំញ័រដាច់ដោយឡែក និងជៀសវាងចលនាដែលមិនចាំបាច់នៃសមាសធាតុថ្មក្រានីត។
សរុបមក ដំណើរការនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ត្រូវបានជះឥទ្ធិពលដោយកត្តាបរិស្ថានជាច្រើន រួមទាំងសីតុណ្ហភាព សំណើម ការប៉ះពាល់នឹងសារធាតុគីមី និងរំញ័រ។តាមរយៈការចាត់វិធានការសមស្រប ដើម្បីកាត់បន្ថយការប៉ះពាល់ទៅនឹងកត្តាទាំងនេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតអាចធានាបាននូវភាពជឿជាក់ និងអាយុកាលវែងនៃសមាសធាតុថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។ជាមួយនឹងការយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នចំពោះកត្តាបរិស្ថាន និងការថែទាំត្រឹមត្រូវ សមាសធាតុថ្មក្រានីតនឹងបន្តដើរតួយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មេសា-០៨-២០២៤