ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈដ៏ពេញនិយមនៅក្នុងឧស្សាហកម្មកែច្នៃ wafer ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចពិសេសនិងភាពធន់របស់វា។ វាគឺជាថ្មធម្មជាតិដែលត្រូវបានជីកយកចេញពីកន្លែងយកថ្មនៅទូទាំងពិភពលោក ហើយត្រូវបានប្រើប្រាស់អស់ជាច្រើនសតវត្សមកហើយសម្រាប់គោលបំណងសំណង់ផ្សេងៗ រួមទាំងការផលិតឧបករណ៍ semiconductor ផងដែរ។ នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងពិភាក្សាអំពីលក្ខណៈសម្បត្តិនៃថ្មក្រានីត និងកម្មវិធីផ្សេងៗរបស់វានៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ។
លក្ខណៈសម្បត្តិនៃថ្មក្រានីត
ថ្មក្រានីតគឺជាថ្មដែលមិនឆេះដែលមានសមាសធាតុ mica, feldspar និងរ៉ែថ្មខៀវ។ វាត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់កម្លាំងពិសេស ភាពរឹង និងភាពធន់របស់វា ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់។ ថ្មក្រានីតមានមេគុណទាបនៃការពង្រីកកំដៅដែលមានន័យថាវាមិនពង្រីកឬចុះកិច្ចសន្យាដោយសារតែការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពធ្វើឱ្យវាមានស្ថេរភាពខ្ពស់។ លើសពីនេះទៀត ថ្មក្រានីតមានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងការ corrosion និងសារធាតុគីមី ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់។
កម្មវិធីនៃថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃ Wafer
ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មកែច្នៃ wafer ដោយសារតែការរួមបញ្ចូលគ្នាតែមួយគត់នៃលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់វា។ ខាងក្រោមនេះគឺជាកម្មវិធីមួយចំនួននៃថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃ wafer:
1. ឧបករណ៍ Metrology
ថ្មក្រានីតត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ដូចជាម៉ាស៊ីនវាស់សំរបសំរួល (CMMs) និងប្រព័ន្ធវាស់អុបទិក។ ឧបករណ៍ទាំងនេះត្រូវការផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាពដែលអាចទប់ទល់នឹងរំញ័រនិងកំដៅ។ ភាពរឹងខ្ពស់ និងការពង្រីកកំដៅទាបនៃថ្មក្រានីតធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់កម្មវិធីបែបនេះ។
2. Wafer Chucks
បន្ទះសៀគ្វី wafer ត្រូវបានប្រើដើម្បីកាន់ wafers ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិត។ ចង្កឹះទាំងនេះត្រូវការផ្ទៃរាបស្មើ និងមានស្ថេរភាពដើម្បីការពារ wafer ពីការឡើងឬពត់។ ថ្មក្រានីតផ្តល់នូវផ្ទៃរាបស្មើដែលមានស្ថេរភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងការវាយលុក ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ចង្កឹះ wafer ។
3. ឧបករណ៍ប៉ូលាមេកានិកគីមី (CMP)
ឧបករណ៍ CMP ត្រូវបានប្រើដើម្បីប៉ូលា wafers កំឡុងពេលដំណើរការផលិត។ ឧបករណ៍ទាំងនេះត្រូវការវេទិកាដែលមានស្ថេរភាពដែលអាចទប់ទល់នឹងរំញ័រនិងកំដៅ។ ភាពរឹងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការពង្រីកកំដៅទាបនៃថ្មក្រានីតធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ CMP ។
4. ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ Wafer
ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ wafer ត្រូវបានប្រើដើម្បីត្រួតពិនិត្យ wafers សម្រាប់ពិការភាពនិងគុណវិបត្តិ។ ឧបករណ៍ទាំងនេះត្រូវការផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាព និងរាបស្មើ ដើម្បីធានាបាននូវការវាស់វែងត្រឹមត្រូវ។ ថ្មក្រានីតផ្តល់នូវផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាព និងសំប៉ែតដែលធន់នឹងការវាយលុក ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ wafer ។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
សរុបមក ថ្មក្រានីតគឺជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មកែច្នៃ wafer ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចពិសេស និងភាពធន់របស់វា។ វាត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ wafer chucks ឧបករណ៍ CMP និងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ wafer ។ ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃលក្ខណៈសម្បត្តិតែមួយគត់ធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់។ ជាមួយនឹងអត្ថប្រយោជន៍ជាច្រើនរបស់វា ថ្មក្រានីតនៅតែជាជម្រើសដ៏ពេញនិយមសម្រាប់ឧបករណ៍កែច្នៃ wafer ហើយការប្រើប្រាស់របស់វាទំនងជានឹងបន្តកើនឡើងនាពេលអនាគត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី២៧ ខែធ្នូ ឆ្នាំ២០២៣