តើបច្ចេកវិទ្យាកែច្នៃផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor គឺជាអ្វី?

ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃបច្ចេកវិទ្យា ការប្រើប្រាស់ផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor កាន់តែមានប្រជាប្រិយភាព។ថ្មក្រានីតគឺជាជម្រើសដ៏ពេញនិយមសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងបច្ចេកវិទ្យាកែច្នៃឧបករណ៍ semiconductor ដោយសារតែអត្ថប្រយោជន៍ជាច្រើនរបស់វា។ថ្មក្រានីតគឺជាវត្ថុធាតុរឹងបំផុត និងប្រើប្រាស់បានយូរបំផុតដែលអាចប្រើបាន ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។វាគឺជាចំហាយកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងមានមេគុណទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងកម្មវិធីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

បច្ចេកវិទ្យាដំណើរការនៃផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ពាក់ព័ន្ធនឹងបច្ចេកទេស និងដំណើរការជាច្រើន។ជំហានសំខាន់ៗគឺ ប៉ូលា ឆ្លាក់ និងសម្អាតផ្ទៃថ្មក្រានីត។ប្រភេទនៃបច្ចេកវិទ្យាកែច្នៃដែលប្រើនឹងអាស្រ័យលើកម្មវិធី និងប្រភេទថ្មក្រានីតដែលកំពុងប្រើប្រាស់។

ការប៉ូលាគឺជាទិដ្ឋភាពសំខាន់នៃដំណើរការផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។ការប៉ូលាផ្ទៃថ្មក្រានីតឱ្យមានភាពរលោងខ្ពស់អាចជួយធានាថា wafer មិនខូចកំឡុងពេលដំណើរការ។នេះកាត់បន្ថយឱកាសនៃការចម្លងរោគដោយភាគល្អិតឬកោសនៅលើផ្ទៃនៃ wafer ។ការប៉ូលាអាចសម្រេចបានតាមរយៈវិធីសាស្រ្តផ្សេងៗដូចជា ការប៉ូលាមេកានិក ការប៉ូលាគីមី និងការប៉ូលាអេឡិចត្រូគីមីជាដើម។

Etching គឺជាទិដ្ឋភាពមូលដ្ឋានមួយផ្សេងទៀតនៃការកែច្នៃផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ។Etching ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតលំនាំដែលចង់បាននៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកថ្មក្រានីត។លំនាំត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិត និងដំណើរការនៃ wafers semiconductor ។មានវិធីជាច្រើនដើម្បីអនុវត្តការ etching រួមទាំងការ etching ប្លាស្មា ការ etching គីមីសើម និងការ etching គីមីស្ងួត ក្នុងចំណោម ផ្សេងទៀត។ប្រភេទនៃដំណើរការ etching ដែលត្រូវបានប្រើនឹងអាស្រ័យលើសម្ភារៈនិងលំនាំដែលចង់បាន។

ការសម្អាតផ្ទៃថ្មក្រានីតក៏សំខាន់ផងដែរ។ដំណើរការសម្អាតគឺចាំបាច់ដើម្បីយកសារធាតុកខ្វក់ចេញពីផ្ទៃ ដូចជាភាគល្អិត និងសារធាតុមិនបរិសុទ្ធផ្សេងទៀតដែលអាចរំខានដល់ដំណើរការផលិតសារធាតុ semiconductor ។ការសម្អាតអាចត្រូវបានធ្វើដោយប្រើវិធីសាស្រ្តផ្សេងៗដូចជាការសម្អាតអ៊ុលត្រាសោន ការសម្អាតសារធាតុគីមី ឬការសម្អាតប្លាស្មា ក្នុងចំណោមផលិតផលផ្សេងទៀត។

សរុបមក បច្ចេកវិទ្យាកែច្នៃផ្នែកថ្មក្រានីតនៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ។ការប្រើប្រាស់ផ្នែកថ្មក្រានីតជួយកែលម្អគុណភាពនិងភាពជឿជាក់នៃផលិតផលចុងក្រោយ។បច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃពាក់ព័ន្ធនឹងការប៉ូលា ការឆ្លាក់ និងការសម្អាតផ្ទៃថ្មក្រានីត។មានវិធីសាស្រ្តជាច្រើនដែលអាចរកបានសម្រាប់ជំហាននីមួយៗ ហើយប្រភេទនៃបច្ចេកវិទ្យាកែច្នៃដែលប្រើនឹងអាស្រ័យលើសម្ភារៈ និងលំនាំដែលចង់បាន។ដោយប្រើបច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃត្រឹមត្រូវ ដំណើរការផលិត semiconductor អាចត្រូវបានធ្វើឱ្យកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាព គួរឱ្យទុកចិត្ត និងសន្សំសំចៃ។