នៅក្នុងតំណភ្ជាប់សំខាន់នៃការផលិតបន្ទះឈីប - ការស្កេន wafer ភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍កំណត់គុណភាពនៃបន្ទះឈីប។ ក្នុងនាមជាសមាសធាតុសំខាន់មួយនៃឧបករណ៍ បញ្ហាពង្រីកកម្ដៅនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតបានទាក់ទាញការចាប់អារម្មណ៍យ៉ាងខ្លាំង។
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃថ្មក្រានីតជាធម្មតាស្ថិតនៅចន្លោះ 4 និង 8 × 10⁻⁶/℃ ដែលទាបជាងលោហៈ និងថ្មម៉ាប។ នេះមានន័យថា នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពផ្លាស់ប្តូរ ទំហំរបស់វាផ្លាស់ប្តូរតិចតួច។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ គួរកត់សម្គាល់ថា ការពង្រីកកម្ដៅទាបមិនមានន័យថាមិនមានការពង្រីកកម្ដៅនោះទេ។ ក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពខ្លាំង សូម្បីតែការពង្រីកតិចតួចបំផុតក៏អាចប៉ះពាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃមាត្រដ្ឋានណាណូនៃការស្កេនវ៉ាហ្វឺរ។
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការស្កេនបន្ទះសៀគ្វី មានហេតុផលជាច្រើនសម្រាប់ការកើតឡើងនៃការពង្រីកកម្ដៅ។ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងសិក្ខាសាលា កំដៅដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការនៃសមាសធាតុឧបករណ៍ និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ភ្លាមៗដែលបង្កឡើងដោយដំណើរការឡាស៊ែរ ទាំងអស់នេះនឹងធ្វើឱ្យមូលដ្ឋានថ្មក្រានីត "ពង្រីក និងរួមតូចដោយសារតែការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព"។ នៅពេលដែលមូលដ្ឋានឆ្លងកាត់ការពង្រីកកម្ដៅ ភាពត្រង់នៃផ្លូវដែកណែនាំ និងភាពរាបស្មើនៃវេទិកាអាចប្រែប្រួល ដែលបណ្តាលឱ្យមានគន្លងចលនាមិនត្រឹមត្រូវនៃតុបន្ទះសៀគ្វី។ សមាសធាតុអុបទិកទ្រទ្រង់ក៏នឹងផ្លាស់ប្តូរផងដែរ ដែលបណ្តាលឱ្យធ្នឹមស្កេន "ប្រែប្រួល"។ ការធ្វើការជាបន្តបន្ទាប់ក្នុងរយៈពេលយូរក៏នឹងកកកុញកំហុសផងដែរ ដែលធ្វើឱ្យភាពត្រឹមត្រូវកាន់តែអាក្រក់ទៅៗ។
ប៉ុន្តែកុំបារម្ភអី។ មនុស្សមានដំណោះស្រាយរួចហើយ។ ទាក់ទងនឹងសម្ភារៈ សរសៃថ្មក្រានីតដែលមានមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបនឹងត្រូវបានជ្រើសរើស និងទទួលរងនូវការព្យាបាលភាពចាស់។ ទាក់ទងនឹងការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព សីតុណ្ហភាពសិក្ខាសាលាត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់នៅ 23±0.5℃ ឬទាបជាងនេះ ហើយឧបករណ៍បញ្ចេញកំដៅសកម្មក៏នឹងត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់មូលដ្ឋានផងដែរ។ ទាក់ទងនឹងការរចនារចនាសម្ព័ន្ធ រចនាសម្ព័ន្ធស៊ីមេទ្រី និងការគាំទ្រដែលអាចបត់បែនបានត្រូវបានអនុម័ត ហើយការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងត្រូវបានអនុវត្តតាមរយៈឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាព។ កំហុសដែលបណ្តាលមកពីការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅត្រូវបានកែតម្រូវដោយថាមវន្តដោយក្បួនដោះស្រាយ។
ឧបករណ៍លំដាប់ខ្ពស់ដូចជាម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វី ASML តាមរយៈវិធីសាស្ត្រទាំងនេះ រក្សាប្រសិទ្ធភាពពង្រីកកម្ដៅនៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតក្នុងចន្លោះតូចមួយខ្លាំង ដែលអាចឱ្យភាពត្រឹមត្រូវនៃការស្កេនវ៉ាហ្វឺរឈានដល់កម្រិតណាណូម៉ែត្រ។ ដូច្នេះ ដរាបណាវាត្រូវបានគ្រប់គ្រងបានត្រឹមត្រូវ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៅតែជាជម្រើសដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧបករណ៍ស្កេនវ៉ាហ្វឺរ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១២ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៥