♦ អាលុយមីញ៉ូម (Al2O3)
ផ្នែកសេរ៉ាមិចដែលមានភាពជាក់លាក់ផលិតដោយក្រុមហ៊ុន ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) អាចត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុដើមសេរ៉ាមិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina, > 99.9% alumina និង CIP cold isostatic pressing ។ការដុតកំដៅ និងម៉ាស៊ីនកំដៅខ្ពស់ ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ ± 0.001mm ភាពរលោងរហូតដល់ Ra0.1 ប្រើសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 1600 ដឺក្រេ។ពណ៌ផ្សេងគ្នានៃសេរ៉ាមិចអាចត្រូវបានធ្វើឡើងស្របតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជនដូចជា: ខ្មៅ, ស, បន៍ត្នោតខ្ចី, ក្រហមងងឹត, ល គ្រឿងសេរ៉ាមិចដែលមានភាពជាក់លាក់ផលិតដោយក្រុមហ៊ុនរបស់យើងគឺមានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ corrosion, ពាក់និងអ៊ីសូឡង់, និងអាចជា ប្រើបានយូរក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ កន្លែងទំនេរ និងបរិស្ថានឧស្ម័នដែលច្រេះ។
ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងភាពខុសគ្នានៃសម្ភារៈផលិត semiconductor: ស៊ុម (តង្កៀបសេរ៉ាមិច), ស្រទាប់ខាងក្រោម (មូលដ្ឋាន), ដៃ / ស្ពាន (ឧបាយកល), សមាសធាតុមេកានិចនិងសេរ៉ាមិចខ្យល់។
ឈ្មោះផលិតផល | ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99 Alumina Ceramic Square Tube / Pipe / Rod | |||||
សន្ទស្សន៍ | ឯកតា | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
ដង់ស៊ីតេ | g/cm3 | ៣.៣ | ៣.៦៥ | ៣.៨ | ៣.៩ | |
ការស្រូបយកទឹក។ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
សីតុណ្ហភាព Sintered | ℃ | ១៦២០ | ១៦៥០ | 1800 | 1800 | |
ភាពរឺង | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
កម្លាំងពត់កោង (20 ℃)) | Mpa | ២០០ | ៣០០ | ៣៤០ | ៣៦០ | |
កម្លាំងបង្ហាប់ | Kgf/cm2 | ១០០០០ | ២៥០០០ | ៣០០០០ | ៣០០០០ | |
សីតុណ្ហភាពការងារយូរ | ℃ | ១៣៥០ | ១៤០០ | ១៦០០ | ១៦៥០ | |
អតិបរមា។សីតុណ្ហភាពការងារ | ℃ | ១៤៥០ | ១៦០០ | 1800 | 1800 | |
ភាពធន់នឹងកម្រិតសំឡេង | 20 ℃ | Ωcm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | ១០១២-១០១៣ | ១០១២-១០១៣ | ១០១២-១០១៣ | ១០១២-១០១៣ | ||
៣០០ អង្សាសេ | > 109 | > 1010 | > ១០១២ | > ១០១២ |
ការប្រើប្រាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖
1. បានអនុវត្តចំពោះឧបករណ៍ semiconductor: ម៉ាស៊ីនបូមធូលីសេរ៉ាមិច, ឌីសកាត់, សម្អាតឌីស, CHUCK សេរ៉ាមិច។
2. ផ្នែកផ្ទេររបស់ wafer: chucks គ្រប់គ្រង wafer, wafer cutting discs, wafer cleaning discs, wafer optical suction cups.
3. ឧស្សាហកម្មបង្ហាញបន្ទះ LED / LCD: nozzle សេរ៉ាមិច, ឌីសកិនសេរ៉ាមិច, LIFT PIN, ផ្លូវរថភ្លើង PIN ។
4. ការទំនាក់ទំនងអុបទិក ឧស្សាហកម្មថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ: បំពង់សេរ៉ាមិច កំណាត់សេរ៉ាមិច បន្ទះសៀគ្វីបោះពុម្ព បន្ទះសេរ៉ាមិច scrapers ។
5. ផ្នែកដែលធន់នឹងកំដៅ និងអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី៖ ទ្រនាប់សេរ៉ាមិច។
នាពេលបច្ចុប្បន្ន សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូអុកស៊ីតអាចបែងចែកទៅជាសេរ៉ាមិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងធម្មតា។ស៊េរីសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូអុកស៊ីដភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សំដៅទៅលើសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលមានច្រើនជាង 99.9% Al₂O₃។ដោយសារតែសីតុណ្ហភាព sintering របស់វាឡើងដល់ 1650 - 1990 ° C និងរលកបញ្ជូនរបស់វា 1 ~ 6μm ជាធម្មតាវាត្រូវបានកែច្នៃទៅជាកញ្ចក់ fused ជំនួសឱ្យ platinum crucible: ដែលអាចត្រូវបានប្រើជាបំពង់សូដ្យូម ដោយសារការបញ្ជូនពន្លឺ និងធន់នឹងការ corrosion លោហធាតុអាល់កាឡាំង។នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចវាអាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ប្រេកង់ខ្ពស់សម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម IC ។យោងតាមមាតិកាផ្សេងគ្នានៃអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមស៊េរីសេរ៉ាមិចអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមធម្មតាអាចបែងចែកជា 99 សេរ៉ាមិច 95 សេរ៉ាមិច 90 សេរ៉ាមិច និង 85 សេរ៉ាមិច។ជួនកាលសេរ៉ាមិចដែលមានអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម 80% ឬ 75% ក៏ត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជាស៊េរីសេរ៉ាមិចអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមធម្មតាផងដែរ។ក្នុងចំណោមនោះ សម្ភារៈសេរ៉ាមិចអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូចំនួន 99 ត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតបំពង់ចង្ក្រានដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បំពង់ការពារភ្លើង និងសម្ភារៈធន់នឹងការពាក់ពិសេសដូចជា ប្រដាប់សេរ៉ាមិច ការផ្សាភ្ជាប់សេរ៉ាមិច និងបន្ទះសន្ទះបិទបើក។សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូ 95 ត្រូវបានប្រើជាចម្បងជាផ្នែកដែលធន់នឹងការ corrosion ។85 សេរ៉ាមិចត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាជាញឹកញាប់នៅក្នុងលក្ខណៈសម្បត្តិមួយចំនួន ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការអគ្គិសនី និងកម្លាំងមេកានិច។វាអាចប្រើ molybdenum, niobium, tantalum និងការផ្សាភ្ជាប់លោហៈផ្សេងទៀត ហើយមួយចំនួនទៀតត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍បូមធូលីអគ្គិសនី។
ទំនិញគុណភាព (តម្លៃតំណាង) | ឈ្មោះផលិតផល | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
សមាសធាតុគីមី សូដ្យូមទាប ផលិតផលដុតងាយស្រួល | H₂O | % | ០.១ | ០.១ | ០.១ | ០.១ | ០.១ | ០.១ | ០.១ |
សើចឮខ្លាំង | % | ០.១ | ០.២ | ០.១ | ០.១ | ០.១ | ០.១ | ០.១ | |
Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
ស៊ីអូ₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
ណា₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
អាល់₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
អង្កត់ផ្ចិតភាគល្អិតមធ្យម (MT-3300 វិធីសាស្ត្រវិភាគឡាស៊ែរ) | μm | ០.៤៤ | ០.៤៣ | 0.39 | ០.៤៧ | ១.១ | ២.២ | 3 | |
α ទំហំគ្រីស្តាល់ | μm | ០.៣ | ០.៣ | ០.៣ | ០.៣ | 0.3 ~ 1.0 | ០.៣~៤ | ០.៣~៤ | |
ដង់ស៊ីតេបង្កើត ** | g/cm³ | ២.២២ | ២.២២ | ២.២ | ២.១៧ | ២.៣៥ | ២.៥៧ | ២.៥៦ | |
ដង់ស៊ីតេស៊ីរ៉ែន ** | g/cm³ | ៣.៨៨ | ៣.៩៣ | ៣.៩៤ | ៣.៩៣ | ៣.៨៨ | ៣.៧៧ | ៣.២២ | |
អត្រាបង្រួញនៃបន្ទាត់ sintering ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO មិនត្រូវបានរាប់បញ្ចូលក្នុងការគណនានៃភាពបរិសុទ្ធនៃAl₂O₃ទេ។
* គ្មានម្សៅធ្វើមាត្រដ្ឋាន 29.4MPa (300kg/cm²) សីតុណ្ហភាព sintering គឺ 1600°C ។
AES-11 / 11C / 11F: បន្ថែម 0.05 ~ 0.1% MgO ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាគឺល្អឥតខ្ចោះដូច្នេះវាអាចអនុវត្តបានចំពោះសេរ៉ាមិចអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធលើសពី 99% ។
AES-22S: លក្ខណៈដោយដង់ស៊ីតេទម្រង់ខ្ពស់ និងអត្រាបង្រួញទាបនៃបន្ទាត់ sintering វាអាចអនុវត្តបានក្នុងការបញ្ចូលទម្រង់រអិល និងផលិតផលខ្នាតធំផ្សេងទៀតជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវតាមវិមាត្រដែលត្រូវការ។
AES-23 / AES-31-03: វាមានដង់ស៊ីតេបង្កើតខ្ពស់ជាង thixotropy និង viscosity ទាបជាង AES-22S ។អតីតត្រូវបានគេប្រើសម្រាប់សេរ៉ាមិចខណៈដែលក្រោយមកទៀតត្រូវបានគេប្រើជាអ្នកកាត់បន្ថយទឹកសម្រាប់សម្ភារៈការពារភ្លើងដែលកំពុងទទួលបានប្រជាប្រិយភាព។
♦ លក្ខណៈស៊ីលីកុនកាបូន (SiC)
លក្ខណៈទូទៅ | ភាពបរិសុទ្ធនៃសមាសធាតុសំខាន់ៗ (wt%) | 97 | |
ពណ៌ | ខ្មៅ | ||
ដង់ស៊ីតេ (g/cm³) | ៣.១ | ||
ការស្រូបយកទឹក (%) | 0 | ||
លក្ខណៈមេកានិច | កម្លាំងបត់បែន (MPa) | ៤០០ | |
ម៉ូឌុលវ័យក្មេង (GPa) | ៤០០ | ||
ភាពរឹងរបស់ Vickers (GPa) | 20 | ||
លក្ខណៈកំដៅ | សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា (°C) | ១៦០០ | |
មេគុណពង្រីកកំដៅ | RT ~ 500 ° C | ៣.៩ | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | ៤.៣ | |
ចរន្តកំដៅ (W/m x K) | ១៣០ ១១០ | ||
ធន់នឹងការឆក់កំដៅ ΔT (°C) | ៣០០ | ||
លក្ខណៈអគ្គិសនី | ភាពធន់នឹងកម្រិតសំឡេង | ២៥ អង្សាសេ | ៣ x ១០៦ |
៣០០ អង្សាសេ | - | ||
500°C | - | ||
៨០០ អង្សាសេ | - | ||
ថេរ Dielectric | 10GHz | - | |
ការបាត់បង់ Dielectric (x 10-4) | - | ||
កត្តា Q (x 104) | - | ||
វ៉ុលបំបែក Dielectric (KV / mm) | - |
◆ស៊ីលីកុននីទ្រីតសេរ៉ាមិច
សម្ភារៈ | ឯកតា | ស៊ី₃N₄ |
វិធីសាស្រ្ត Sintering | - | សម្ពាធឧស្ម័ន Sintered |
ដង់ស៊ីតេ | g/cm³ | ៣.២២ |
ពណ៌ | - | ពណ៌ប្រផេះងងឹត |
អត្រាស្រូបយកទឹក។ | % | 0 |
ម៉ូឌុលវ័យក្មេង | ជីប៉ា | ២៩០ |
ភាពរឹងរបស់ Vickers | ជីប៉ា | ១៨-២០ |
កម្លាំងបង្ហាប់ | Mpa | ២២០០ |
កម្លាំងពត់កោង | Mpa | ៦៥០ |
ចរន្តកំដៅ | W/mK | 25 |
ភាពធន់នឹងការឆក់កំដៅ | Δ (°C) | ៤៥០ - ៦៥០ |
សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | °C | ១២០០ |
ភាពធន់នឹងកម្រិតសំឡេង | Ω·សង់ទីម៉ែត្រ | > 10 ^ 14 |
ថេរ Dielectric | - | ៨.២ |
កម្លាំង Dielectric | kV/mm | 16 |