al alumina (al2o3)
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចជាក់លាក់ដែលផលិតដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឆ្លាតវៃរបស់ហ្សូហួយ (Zhhimg) អាចធ្វើបានពីវត្ថុធាតុដើមនៃសេរ៉ាមិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 92 ~ 97% alumina 99.5% alumina> 99,9% alumina និង cip eastatic ត្រជាក់។ ការធ្លាក់ថ្លៃភ័យរន្ធត់ខ្ពស់និងការធ្វើឱ្យមានភាពជាក់លាក់ភាពត្រឹមត្រូវវិមាត្រនៃការធ្វើឱ្យរលូនដល់ RA0.1 ប្រើសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 1600 ដឺក្រេ។ ពណ៌ខុសគ្នានៃសេរ៉ាមិចអាចត្រូវបានធ្វើឡើងយោងទៅតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជនដូចជា: ខ្មៅសបន៍ត្នោតខ្ចីការច្រេះការច្រេះការច្រេះនិងបរិក្ខាខ្ពស់ក្នុងបរិយាកាសប្រេងឥន្ធនៈខ្ពស់និងបរិយាកាសឧស្ម័នខ្ពស់។
ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកជាច្រើនប្រភេទ: ស៊ុម (ដង្កៀបសេរ៉ាមិច), ស្រទាប់ខាងក្រោម (មូលដ្ឋាន), ដៃ, ដៃ,, សមាសធាតុមេកានិចនិងម៉ាស៊ីនត្រជាក់សេរ៉ាមិច។
ឈ្មោះផលិតផល | ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99 alumina alumina alumina ceramic ការ៉េ / បំពង់ / ដំបង / ដំបង | |||||
លេខសមកាល់ | ឯកតា / រកុម | 85% al2o3 | 95% al2o3 | 99% al2o3 | 99.5% al2o3 | |
ដង់ចីវិត | g / សង់ទីម៉ែត្រ 3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
ការស្រូបយកទឹក | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
សីតុណ្ហភាពរួច | ឹម | អមយរ | 1650 | អនុយយរ | អនុយយរ | |
ផាបរស hone | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
ភាពពត់កោង (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
កម្លាំងបង្រួម | kgf / cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
សីតុណ្ហាភាពធ្វើការយូរ | ឹម | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាពការងារ | ឹម | 1450 | 1600 | អនុយយរ | អនុយយរ | |
ភាពធន់នឹងបរិមាណ | 20 ℃ | ω។ cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
ការអនុវត្តន៍សេរ៉ាមិចអាល់ហ្សេរីសុទ្ធស្អាត:
1 ។ អនុវត្តចំពោះឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចៈម៉ាស៊ីនបូមទឹកសេរ៉ាមិចកាត់ឌីសស៊ីសសំអាតឌីសឆាក់ស៊ីកស៊ីក។
2 ។ គ្រឿងបន្លាស់ការផ្ទេរ Wafer: ការដោះស្រាយ Chucks, Wafer កាត់ឌីស, ឌីសសំអាតការបណ្តេញចេញដោយប្រើការបណ្តេញចេញពានអុបទិកពែងការបណ្តេញចេញពានអុបទិកពែងបូមអង់អាចនៃអុបទិក។
3 ។ ឧស្សាហកម្មបន្ទះសំប៉ែត LED / LCD: បំពង់ខ្យល់ឌីសសេរ៉ាមិចឌីសកិនសេរ៉ាមិច, លើកម្ជុលផ្លូវដែក។
4 ។ ការប្រាស្រ័យទាក់ទងអុបទិកឧស្សាហកម្មពន្លឺព្រះអាទិត្យ: បំពង់សេរ៉ាមិចជែដសេរ៉ាមិចបោះពុម្ពអេក្រង់សៀគ្វីអគ្គីស្ទមៀរសៀរ៉ាមិចអេតចាយ។
5 ។ ធន់ទ្រាំនឹងកំដៅនិងផ្នែកអ៊ីសូឡង់អេឡិចត្រូនិចៈសត្វខ្លាឃ្មុំសេរ៉ាមិច។
នាពេលបច្ចុប្បន្នកាលបិសាចអុកស៊ីតកម្មអាលុយមីញ៉ូមអាចត្រូវបានបែងចែកទៅជាភាពបរិសុទ្ធនិងសេរ៉ាមិចធម្មតា។ ស៊េរីស៊ីដងអាលុយមីញ៉ូមសុទ្ធសុទ្ធសំដៅទៅលើវត្ថុធាតុដើមសេរ៉ាមិចដែលមានច្រើនជាង 99,9% អាល់ឡា។ ដោយសារតែសីតុណ្ហភាពសាយភាយឡើងរហូតដល់ 1650 - 1990 1990 មករាមករាវាត្រូវបានកែច្នៃជាធម្មតាចូលក្នុងកែវដែលមានរសជាតិឆ្ងាញ់: ដែលអាចត្រូវបានប្រើជាបំពង់សូដ្យូមដែលមានជាតិដែកអាល់កាលី។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចវាអាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ដែលមានប្រេកង់ខ្ពស់សម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម IC ។ យោងតាមខ្លឹមសារផ្សេងៗគ្នានៃអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមទូទៅអាចត្រូវបានបែងចែកជាសេរ៉ាមិច 99 សេរ៉ាមិច 95 សេរ៉ាមិច 90 សេរ៉ាមិចនិងសេរ៉ាមិច 85 សេរ៉ាមិច។ ពេលខ្លះសេរ៉ាមិចដែលមាន 80% ឬ 75% នៃអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមក៏ត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ផងដែរថាជាស៊េរីសេរ៉ាមិចអុកស៊ីតទូទៅ។ ក្នុងចំនោមពួកគេសម្ភារៈសេរ៉ាមិចអុកស៊ីតមានអាលុយមីញ៉ូមចំនួន 99 ត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់, បំពង់ពន្លកចង្រ្គាមឡចំហាយនិងវត្ថុធាតុដើមដែលធន់នឹងការពាក់ពិសេសដូចជាខ្លាឃ្មុំសេរ៉ាមិចត្រាសេរ៉ាម័រត្រាសេរ៉ាមនិងសន្ទះកញ្ចក់។ 95 សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូម 95 ត្រូវបានគេប្រើជាផ្នែកដែលធន់នឹងការទប់ទល់នឹងការច្រេះ។ សេរ៉ាមិច 85 ត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាជាញឹកញាប់ក្នុងលក្ខណៈសម្បត្តិមួយចំនួនដោយហេតុនេះធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការសម្តែងអគ្គិសនីនិងកម្លាំងមេកានិច។ វាអាចប្រើ molybdenum, niobium, tantalum និងត្រាដែកផ្សេងទៀតហើយមួយចំនួនត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍ខ្វះចន្លោះអគ្គិសនី។
ធាតុដែលមានគុណភាព (តម្លៃតំណាង) | ឈ្មោះផលិតផល | aes-12 | aes -11 | aes -11c | aes-11f | aes-22s | aes-23 | al-31-03 | |
សមាសភាពគីមីផលិតផលបាបដែលងាយនឹងមានជាតិសូដ្យូមដែលងាយស្រួលប្រើ | ហ៊ូ | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
សើច l ខ្លាំង | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe q Fe ₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
ស៊ីអូ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0,02 | 0.04 | 0.04 | |
na₂ | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0,02 | 0.04 | 0.03 | |
MgO * | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
អង្កត់ផ្ចិតភាគល្អិតមធ្យម (MT-3300 វិធីសាស្រ្តវិភាគឡាស៊ែរ) | μ | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2,2 | 3 | |
ទំហំគ្រីស្តាល់ | μ | មយ 2 0,3 | មយ 2 0,3 | មយ 2 0,3 | មយ 2 0,3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
ការបង្កើតដង់ស៊ីតេ ** | g / សង់ទីម៉ែត្រ | 2.22 | 2.22 | 2,2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
ដង់ស៊ីតេនៃការឆាបឆេះ ** | g / សង់ទីម៉ែត្រ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
អត្រាការរួញតូចនៃខ្សែពួរ ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO មិនត្រូវបានរាប់បញ្ចូលក្នុងការគណនាភាពបរិសុទ្ធនៃអាល់ឡូទេ។
* មិនមានម្សៅជញ្ជីង 29,4mpa (300 គីឡូក្រាម / ស។ ម។ ) សីតុណ្ហភាពធ្លាក់ចុះគឺ 1600 អង្សាសេ។
AES-11 / 11C / 11F: បន្ថែម 0.05 ~ 0.1% MgO, ភាពអាចធ្វើទៅបានល្អណាស់ដូច្នេះវាអាចអនុវត្តបានចំពោះសេរ៉ាមិចអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធជាង 99% ។
AES-22s: កំណត់លក្ខណៈដោយដង់ស៊ីតេដែលបង្កើតបានខ្ពស់និងអត្រាបង្រួមទាបនៃបន្ទាត់ធ្វើបាបវាអាចអនុវត្តបានក្នុងការចាក់កំបោរនិងផលិតផលខ្នាតធំផ្សេងទៀតដែលមានភាពត្រឹមត្រូវវិមាត្រដែលត្រូវការ។
AES-23 / Aes-31-03: វាមានដង់ស៊ីតេដែលបានបង្កើតឡើងខ្ពស់ Thixotropy និង viscosity ទាបជាង AES-22s ។ អតីតត្រូវបានប្រើសម្រាប់សេរ៉ាមិចខណៈពេលដែលការកាត់បន្ថយទឹកចុងក្រោយត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍វាស់ទឹកសម្រាប់វត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចបំបែកបានការទទួលបានប្រជាប្រិយភាព។
♦លក្ខណៈស៊ីលីខនខាលីខន (អេសស៊ី)
ចរិតទូទៅ | ភាពបរិសុទ្ធនៃសមាសធាតុសំខាន់ៗ (WT%) | 97 | |
ប៍ន | ខ្ផោ | ||
ដង់ស៊ីតេ (ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ) | 3.1 | ||
ការស្រូបយកទឹក (%) | 0 | ||
លក្ខណៈមេកានិច | កម្លាំងបត់បែន (MPA) | 400 | |
ម៉ូឌុលវ័យក្មេង (GPA) | 400 | ||
វីកឃឺររឹង (GPA) | 20 | ||
លក្ខណៈកម្ដៅ | សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា (អង្សាសេ) | 1600 | |
មេគុណពង្រីកកម្ដៅ | rt ~ 500 អង្សាសេ | 3.9 | |
(1 / អង្សាសេ x 10-6) | RT ~ 800 អង្សាសេ | 4.3 | |
ចរន្តកំដៅ (W / M X X K) | 130 110 | ||
ភាពធន់ទ្រាំនឹងកម្ដៅδt (អង្សាសេ) | 300 | ||
លក្ខណៈអគ្គិសនី | ភាពធន់នឹងបរិមាណ | 25 អង្សាសេ | 3 x 106 |
300 អង្សាសេ | - | ||
500 អង្សាសេ | - | ||
800 អង្សាសេ | - | ||
Dielectric ថេរ | 10GHz | - | |
ការបាត់បង់ Dielectric (x 10-4) | - | ||
សំណួរ Q (x 104) | - | ||
តង់ស្យុងការបំបែក Dielectric (KV / មម / មម) | - |
♦ស៊ីលីកុននីក្រារីមសេរ៉ាមិច
សម្ការៈ | ឯកតា / រកុម | si₃n₄ |
វិធីសាស្ត្រធ្វើបាប | - | សម្ពាធឧស្ម័នបានកើតឡើង |
ដង់ចីវិត | g / សង់ទីម៉ែត្រ | 3.22 |
ប៍ន | - | ពណ៌ប្រផេះងងឹត |
អត្រាស្រូបយកទឹក | % | 0 |
ម៉ូឌុលវ័យក្មេង | GPA | 290 |
Vickers រឹង | GPA | 18 - 20 |
កម្លាំងបង្រួម | MPA | 2200 |
ពត់កោងកម្លាំង | MPA | 650 |
ចរិតកំដៅ | w / mk | 25 |
ភាពធន់ទ្រាំនឹងកម្ដៅ | δ (អង្សាសេ) | 450 - 650 |
សីតុណ្ហាភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | ° C | 1200 |
ភាពធន់នឹងបរិមាណ | ·សង់ | > 10 ^ 14 |
Dielectric ថេរ | - | 8.2 |
ភាពរឹងមាំរបស់ Diecrectric | kv / ម | 16 |