ពីការជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច រហូតដល់ភាពឆបគ្នាក្នុងកន្លែងទំនេរ៖ ភាពមិនអាចជំនួសបាននៃមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតនៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វី។

​
នៅក្នុងវិស័យផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ក្នុងនាមជាឧបករណ៍ស្នូលដែលកំណត់ភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប ស្ថេរភាពនៃបរិស្ថានខាងក្នុងរបស់ម៉ាស៊ីនថតចម្លងពន្លឺគឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់។ ចាប់ពីការរំញោចនៃប្រភពពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំងរហូតដល់ប្រតិបត្តិការនៃវេទិកាចលនាភាពជាក់លាក់ណាណូ មិនអាចមានគម្លាតបន្តិចបន្តួចនៅក្នុងតំណភ្ជាប់នីមួយៗឡើយ។ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិពិសេសៗជាច្រើន បង្ហាញពីគុណសម្បត្តិដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបានក្នុងការធានាបាននូវប្រតិបត្តិការដែលមានស្ថេរភាពនៃម៉ាស៊ីនថតចម្លងពន្លឺ និងបង្កើនភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបថត។
ប្រសិទ្ធភាពការពារអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
ផ្នែកខាងក្នុងនៃម៉ាស៊ីនថតចម្លងពន្លឺត្រូវបានបំពេញដោយបរិស្ថានអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចស្មុគស្មាញ។ ការជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច (EMI) ដែលបង្កើតឡើងដោយសមាសធាតុដូចជាប្រភពពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង ម៉ូទ័រជំរុញ និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់ខ្ពស់ ប្រសិនបើមិនត្រូវបានគ្រប់គ្រងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពទេ នឹងប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ដំណើរការនៃសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពជាក់លាក់ និងប្រព័ន្ធអុបទិកនៅក្នុងឧបករណ៍។ ឧទាហរណ៍ ការជ្រៀតជ្រែកអាចបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតបន្តិចបន្តួចនៅក្នុងលំនាំថតចម្លងពន្លឺ។ នៅក្នុងដំណើរការផលិតកម្រិតខ្ពស់ នេះគឺគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីនាំឱ្យមានការតភ្ជាប់ត្រង់ស៊ីស្ទ័រមិនត្រឹមត្រូវនៅលើបន្ទះឈីប ដែលកាត់បន្ថយទិន្នផលបន្ទះឈីបយ៉ាងខ្លាំង។
ថ្មក្រានីតគឺជាវត្ថុធាតុមិនមែនលោហៈ ហើយមិនចម្លងចរន្តអគ្គិសនីដោយខ្លួនឯងទេ។ មិនមានបាតុភូតអាំងឌុចស្យុងអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចដែលបណ្តាលមកពីចលនារបស់អេឡិចត្រុងសេរីនៅខាងក្នុងដូចនៅក្នុងវត្ថុធាតុលោហៈនោះទេ។ លក្ខណៈនេះធ្វើឱ្យវាក្លាយជាតួការពារអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចធម្មជាតិ ដែលអាចរារាំងផ្លូវបញ្ជូននៃការជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចខាងក្នុងបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ នៅពេលដែលដែនម៉ាញ៉េទិចឆ្លាស់គ្នាដែលបង្កើតឡើងដោយប្រភពជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចខាងក្រៅរីករាលដាលទៅកាន់មូលដ្ឋានថ្មក្រានីត ដោយសារថ្មក្រានីតមិនមែនជាម៉ាញ៉េទិច ហើយមិនអាចត្រូវបានម៉ាញ៉េទិចបាន ដែនម៉ាញ៉េទិចឆ្លាស់គ្នាពិបាកជ្រាបចូល ដោយហេតុនេះការពារសមាសធាតុស្នូលនៃម៉ាស៊ីនថតចម្លងរូបថតដែលបានដំឡើងនៅលើមូលដ្ឋាន ដូចជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាពជាក់លាក់ និងឧបករណ៍កែតម្រូវកែវអុបទិក ពីឥទ្ធិពលនៃការជ្រៀតជ្រែកអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច និងធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការផ្ទេរលំនាំក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការថតចម្លងរូបថត។

ភាពឆបគ្នានៃម៉ាស៊ីនបូមធូលីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
ដោយសារតែពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង (EUV) ងាយនឹងស្រូបយកដោយសារធាតុទាំងអស់ រួមទាំងខ្យល់ ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី EUV ត្រូវតែដំណើរការក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាស។ នៅចំណុចនេះ ភាពឆបគ្នានៃសមាសធាតុឧបករណ៍ជាមួយនឹងបរិយាកាសសុញ្ញកាសក្លាយជារឿងសំខាន់ជាពិសេស។ នៅក្នុងសុញ្ញកាស សម្ភារៈអាចរលាយ ស្រូបយក និងបញ្ចេញឧស្ម័ន។ ឧស្ម័នដែលបញ្ចេញមិនត្រឹមតែស្រូបយកពន្លឺ EUV ដែលកាត់បន្ថយអាំងតង់ស៊ីតេ និងប្រសិទ្ធភាពបញ្ជូនពន្លឺប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអាចបំពុលកញ្ចក់អុបទិកផងដែរ។ ឧទាហរណ៍ ចំហាយទឹកអាចធ្វើឱ្យកញ្ចក់អុកស៊ីតកម្ម ហើយអ៊ីដ្រូកាបូនអាចដាក់ស្រទាប់កាបូននៅលើកញ្ចក់ ដែលប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់គុណភាពនៃលីតូក្រាហ្វី។
ថ្មក្រានីតមានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីដែលមានស្ថេរភាព ហើយស្ទើរតែមិនបញ្ចេញឧស្ម័ននៅក្នុងបរិយាកាសកន្លែងទំនេរ។ យោងតាមការធ្វើតេស្តជំនាញវិជ្ជាជីវៈ នៅក្នុងបរិយាកាសកន្លែងទំនេររបស់ម៉ាស៊ីនថតចម្លងរូបថតក្លែងក្លាយ (ដូចជាបរិយាកាសកន្លែងទំនេរស្អាតខ្លាំង ដែលប្រព័ន្ធអុបទិកបំភ្លឺ និងប្រព័ន្ធអុបទិកថតរូបភាពនៅក្នុងបន្ទប់សំខាន់ស្ថិតនៅ ដែលតម្រូវឱ្យមាន H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa) អត្រាបញ្ចេញឧស្ម័នចេញពីមូលដ្ឋានថ្មក្រានីតគឺទាបបំផុត ទាបជាងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀតដូចជាលោហៈ។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យផ្នែកខាងក្នុងនៃម៉ាស៊ីនថតចម្លងរូបថតរក្សាកម្រិតកន្លែងទំនេរខ្ពស់ និងអនាម័យក្នុងរយៈពេលយូរ ដោយធានាបាននូវការបញ្ជូនពន្លឺ EUV ខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលបញ្ជូន និងបរិយាកាសប្រើប្រាស់ស្អាតខ្លាំងសម្រាប់កែវភ្នែក ពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ប្រព័ន្ធអុបទិក និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរួមរបស់ម៉ាស៊ីនថតចម្លងរូបថត។
ធន់នឹងរំញ័រខ្លាំង និងស្ថេរភាពកម្ដៅ
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ​បោះពុម្ព​រូបថត ភាពជាក់លាក់នៅកម្រិតណាណូម៉ែត្រតម្រូវឱ្យម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពរូបថតមិនត្រូវមានរំញ័រ ឬខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅតិចតួចបំផុតនោះទេ។ រំញ័របរិស្ថានដែលបង្កើតឡើងដោយប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ផ្សេងទៀត និងចលនាបុគ្គលិកនៅក្នុងសិក្ខាសាលា ក៏ដូចជាកំដៅដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពរូបថតខ្លួនឯងក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ ទាំងអស់អាចជ្រៀតជ្រែកជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃបោះពុម្ពរូបថត។ ថ្មក្រានីតមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងវាយនភាពរឹង ហើយវាមានភាពធន់នឹងរំញ័រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់រ៉ែខាងក្នុងរបស់វាមានទំហំតូច ដែលអាចកាត់បន្ថយថាមពលរំញ័របានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព និងទប់ស្កាត់ការសាយភាយរំញ័រយ៉ាងឆាប់រហ័ស។ ទិន្នន័យពិសោធន៍បង្ហាញថា នៅក្រោមប្រភពរំញ័រដូចគ្នា មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចកាត់បន្ថយទំហំរំញ័របានច្រើនជាង 90% ក្នុងរយៈពេល 0.5 វិនាទី។ បើប្រៀបធៀបជាមួយមូលដ្ឋានដែក វាអាចស្តារឧបករណ៍ឱ្យមានស្ថេរភាពបានលឿនជាងមុន ដោយធានាបាននូវទីតាំងទាក់ទងច្បាស់លាស់រវាងកែវបោះពុម្ពរូបថត និងបន្ទះ wafer និងជៀសវាងការព្រិលៗ ឬភាពមិនស្មើគ្នាដែលបណ្តាលមកពីរំញ័រ។
ទន្ទឹមនឹងនេះ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃថ្មក្រានីតគឺទាបបំផុត ប្រហែល (4-8) ×10⁻⁶/℃ ដែលទាបជាងវត្ថុធាតុលោហធាតុច្រើន។ ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការម៉ាស៊ីនថតចម្លងពន្លឺ ទោះបីជាសីតុណ្ហភាពខាងក្នុងប្រែប្រួលដោយសារកត្តាដូចជាការបង្កើតកំដៅពីប្រភពពន្លឺ និងការកកិតពីសមាសធាតុមេកានិចក៏ដោយ មូលដ្ឋានថ្មក្រានីតអាចរក្សាស្ថេរភាពវិមាត្រ ហើយនឹងមិនឆ្លងកាត់ការខូចទ្រង់ទ្រាយគួរឱ្យកត់សម្គាល់ដោយសារតែការពង្រីក និងការកន្ត្រាក់កម្ដៅនោះទេ។ វាផ្តល់នូវការគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាព និងអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ប្រព័ន្ធអុបទិក និងវេទិកាចលនាដែលមានភាពជាក់លាក់ ដោយរក្សាបាននូវភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបថត។