មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនក្រានីតត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតជាពិសេសនៅក្នុងឧស្សាហកម្មកែច្នៃ wafer ។វាគឺជាផ្នែកសំខាន់មួយនៃគ្រឿងចក្រសម្រាប់ដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងត្រឹមត្រូវនៃ wafers ។ការផ្គុំ ការធ្វើតេស្ត និងការក្រិតតាមមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត ទាមទារការយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះព័ត៌មានលម្អិត និងជំនាញ។នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងពណ៌នាអំពីការណែនាំជាជំហាន ៗ សម្រាប់ការផ្គុំ ការធ្វើតេស្ត និងការក្រិតតាមខ្នាតមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតសម្រាប់ផលិតផលកែច្នៃ wafer ។
1. ការផ្គុំមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនក្រានីត
ជំហានដំបូងដើម្បីប្រមូលផ្តុំមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតគឺត្រូវរៀបចំសមាសធាតុចាំបាច់ទាំងអស់ និងធានាគុណភាពរបស់វា។សមាសធាតុសម្រាប់មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតអាចរួមបញ្ចូលបន្ទះថ្មក្រានីត ស៊ុមអាលុយមីញ៉ូម បន្ទះកម្រិត និងប៊ូឡុង។នេះគឺជាជំហានដើម្បីប្រមូលផ្តុំមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត:
ជំហានទី 1 - ដាក់បន្ទះថ្មក្រានីតលើផ្ទៃរាបស្មើ និងស្អាត។
ជំហានទី 2 - ភ្ជាប់ស៊ុមអាលុយមីញ៉ូមជុំវិញបន្ទះថ្មក្រានីតដោយប្រើប៊ូឡុង ហើយត្រូវប្រាកដថាស៊ុមត្រូវបានហូរជាមួយនឹងគែមរបស់ថ្មក្រានីត។
ជំហានទី 3 - ដំឡើងបន្ទះកម្រិតនៅផ្នែកខាងក្រោមនៃស៊ុមអាលុយមីញ៉ូម ដើម្បីធានាថាមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនមានកម្រិត។
ជំហានទី 4 - រឹតបន្តឹងប៊ូឡុងទាំងអស់ ហើយត្រូវប្រាកដថាមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតរឹងមាំ និងមានស្ថេរភាព។
2. ការធ្វើតេស្តមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនក្រានីត
បន្ទាប់ពីការផ្គុំមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតវាចាំបាច់ត្រូវធ្វើតេស្តដើម្បីធានាថាវាដំណើរការបានត្រឹមត្រូវ។ការធ្វើតេស្តមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតពាក់ព័ន្ធនឹងការពិនិត្យមើលកម្រិត ភាពរាបស្មើ និងស្ថេរភាពរបស់វា។នេះគឺជាជំហានដើម្បីសាកល្បងមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត៖
ជំហានទី 1 - ប្រើកម្រិតជាក់លាក់មួយដើម្បីពិនិត្យមើលកម្រិតនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនដោយដាក់វានៅលើចំណុចផ្សេងគ្នានៃបន្ទះថ្មក្រានីត។
ជំហានទី 2 - ប្រើគែមត្រង់ ឬបន្ទះផ្ទៃ ដើម្បីពិនិត្យមើលភាពរាបស្មើនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីន ដោយដាក់វានៅលើចំណុចផ្សេងគ្នានៃបន្ទះថ្មក្រានីត។ភាពធន់នឹងផ្ទៃរាបស្មើគួរតែតិចជាង 0.025mm ។
ជំហានទី 3 - អនុវត្តបន្ទុកទៅមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនដើម្បីពិនិត្យមើលស្ថេរភាពរបស់វា។ការផ្ទុកមិនគួរបណ្តាលឱ្យខូចទ្រង់ទ្រាយឬចលនាណាមួយនៅក្នុងមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីន។
3. ការក្រិតតាមខ្នាតមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនក្រានីត
ការតម្រឹមមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតពាក់ព័ន្ធនឹងការកែតម្រូវភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងរបស់ម៉ាស៊ីន និងការតម្រឹមវាជាមួយសមាសធាតុម៉ាស៊ីនផ្សេងទៀត ដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការល្អបំផុត។ខាងក្រោមនេះជាជំហានដើម្បីក្រិតខ្នាតមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត៖
ជំហានទី 1 - ដំឡើងឧបករណ៍វាស់ដូចជាវេទិកាអុបទិក ឬប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ interferometer នៅលើមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត។
ជំហានទី 2 - អនុវត្តការធ្វើតេស្ត និងការវាស់វែងជាបន្តបន្ទាប់ដើម្បីកំណត់កំហុស និងគម្លាតទីតាំងរបស់ម៉ាស៊ីន។
ជំហានទី 3 - កែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រទីតាំងរបស់ម៉ាស៊ីន ដើម្បីកាត់បន្ថយកំហុស និងគម្លាត។
ជំហានទី 4 - ធ្វើការពិនិត្យចុងក្រោយដើម្បីធានាថាមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនត្រូវបានក្រិតតាមខ្នាតត្រឹមត្រូវ ហើយមិនមានកំហុស ឬគម្លាតនៅក្នុងការវាស់វែងនោះទេ។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
សរុបសេចក្តី ការផ្គុំ ការធ្វើតេស្ត និងការក្រិតតាមខ្នាតមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតសម្រាប់ផលិតផលកែច្នៃ wafer គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការសម្រេចបាននូវភាពជាក់លាក់ និងភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ក្នុងដំណើរការផលិត។ជាមួយនឹងធាតុផ្សំ ឧបករណ៍ និងជំនាញចាំបាច់ ការធ្វើតាមជំហានដែលបានពិពណ៌នាខាងលើនឹងធានាថា មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតត្រូវបានផ្គុំ សាកល្បង និងក្រិតតាមខ្នាតត្រឹមត្រូវ។មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដែលបានសាងសង់យ៉ាងល្អ និងក្រិតតាមខ្នាតនឹងផ្តល់នូវលទ្ធផលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងត្រឹមត្រូវនៅក្នុងផលិតផលកែច្នៃ wafer ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី 07-07-2023