មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនក្រានីតគឺជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់នៅក្នុងម៉ាស៊ីនកែច្នៃ wafer ។ពួកគេផ្តល់នូវវេទិកាដែលមានស្ថេរភាព និងត្រឹមត្រូវសម្រាប់ម៉ាស៊ីនដើម្បីដំណើរការយ៉ាងរលូន និងច្បាស់លាស់។ទោះបីជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារតែការប្រើប្រាស់ញឹកញាប់ ពួកវាអាចខូច និងអស់រលីង ដែលប៉ះពាល់ដល់រូបរាង និងភាពត្រឹមត្រូវ។នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងនឹងពិភាក្សាអំពីរបៀបជួសជុលរូបរាងនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដែលខូច និងគណនាឡើងវិញនូវភាពត្រឹមត្រូវរបស់វា។
ជួសជុលរូបរាងនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដែលខូច:
ជំហានទី 1: សម្អាតផ្ទៃ- មុនពេលអ្នកចាប់ផ្តើមជួសជុលមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត ត្រូវប្រាកដថាផ្ទៃរបស់វាស្អាត និងគ្មានកំទេចកំទី ឬកខ្វក់។ជូតវាដោយក្រណាត់សើមហើយទុកឱ្យស្ងួត។
ជំហានទី 2: បំពេញបន្ទះសៀគ្វីឬស្នាមប្រេះ - ប្រសិនបើមានបន្ទះសៀគ្វីឬស្នាមប្រេះនៅលើផ្ទៃសូមបំពេញពួកវាជាមួយ epoxy ជួសជុលថ្មក្រានីតឬបិទភ្ជាប់។ត្រូវប្រាកដថាប្រើម្លប់ដែលត្រូវនឹងពណ៌នៃថ្មក្រានីត ហើយលាបវាឱ្យស្មើគ្នា។
ជំហានទី 3: បូមខ្សាច់លើផ្ទៃ - នៅពេលដែល epoxy ឬ paste ស្ងួតអស់ហើយ ខ្សាច់ផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដោយប្រើក្រដាសខ្សាច់ល្អិតល្អន់។នេះនឹងជួយធ្វើឱ្យផ្ទៃរលោងនិងលុបសំណល់លើស។
ជំហានទី 4: ប៉ូឡូញផ្ទៃ- ប្រើសមាសធាតុប៉ូលាថ្មក្រានីតដើម្បីប៉ូលាផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត។លាបសមាសធាតុលើក្រណាត់ទន់ ហើយបិតលើផ្ទៃក្នុងចលនារាងជារង្វង់។ធ្វើម្តងទៀតរហូតដល់ផ្ទៃរលោងនិងភ្លឺចាំង។
ការគណនាឡើងវិញនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដែលខូច៖
ជំហានទី 1: វាស់ភាពត្រឹមត្រូវ- មុនពេលអ្នកចាប់ផ្តើមគណនាភាពត្រឹមត្រូវឡើងវិញ វាស់ភាពត្រឹមត្រូវបច្ចុប្បន្ននៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដោយប្រើឡាស៊ែរ interferometer ឬឧបករណ៍វាស់ផ្សេងទៀត។
ជំហានទី 2: ពិនិត្យមើលកម្រិត - ត្រូវប្រាកដថាមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនក្រានីតមានកម្រិត។ប្រើកម្រិតវិញ្ញាណដើម្បីពិនិត្យមើលកម្រិត និងកែតម្រូវជើងកម្រិតប្រសិនបើចាំបាច់។
ជំហានទី 3: ពិនិត្យមើលភាពរាបស្មើ- ពិនិត្យមើលការប៉ះទង្គិចឬការបត់ជើងនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត។ប្រើរង្វាស់ភាពរាបស្មើច្បាស់លាស់ ដើម្បីវាស់ស្ទង់ភាពរាបស្មើ និងកំណត់តំបន់ណាមួយដែលត្រូវការការកែតម្រូវ។
ជំហានទី 4: ការកោស - នៅពេលដែលអ្នកបានកំណត់តំបន់ដែលត្រូវការការកែតម្រូវ ប្រើឧបករណ៍អេតចាយដោយដៃ ដើម្បីកោសផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីត។នេះនឹងជួយលុបចំណុចខ្ពស់ណាមួយលើផ្ទៃ ហើយធានាបាននូវផ្ទៃរលោង និងរាបស្មើ។
ជំហានទី 5: វាស់ភាពត្រឹមត្រូវឡើងវិញ- នៅពេលដែលការបោសសម្អាតត្រូវបានបញ្ចប់ សូមវាស់ឡើងវិញនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតដោយប្រើឡាស៊ែរ interferometer ឬឧបករណ៍វាស់។បើចាំបាច់ ដំណើរការកោសឡើងវិញរហូតទាល់តែភាពត្រឹមត្រូវបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់។
សរុបសេចក្តីមក មូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតគឺជាផ្នែកសំខាន់មួយនៃម៉ាស៊ីនកែច្នៃ wafer ហើយត្រូវការការថែទាំជាប្រចាំដើម្បីធានាបាននូវរូបរាង និងភាពត្រឹមត្រូវរបស់វា។ប្រសិនបើមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតរបស់អ្នកខូច សូមអនុវត្តតាមជំហានទាំងនេះ ដើម្បីជួសជុលរូបរាងរបស់វា និងគណនាភាពត្រឹមត្រូវរបស់វាឡើងវិញ។ជាមួយនឹងជំហានដ៏សាមញ្ញទាំងនេះ អ្នកអាចស្ដារមូលដ្ឋានម៉ាស៊ីនថ្មក្រានីតរបស់អ្នកទៅស្ថានភាពដើមរបស់វា និងធានាបាននូវដំណើរការល្អបំផុត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី 07-07-2023