នៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ ការរុករកលំហអាកាសជ្រៅ និងលីតូក្រាហ្វីអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង (EUV) ដែលកំពុងវិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័ស តម្រូវការសម្រាប់ភាពជាក់លាក់ខាងអុបទិកកំពុងឈានដល់កម្រិតអាតូម។ សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនអុបទិក និងហ្វូតូនិក គុណភាពនៃសមាសធាតុកញ្ចក់ដែលមានភាពជាក់លាក់មិនមែនគ្រាន់តែជាលក្ខណៈបច្ចេកទេសនោះទេ—វាគឺជាកត្តាកំណត់នៃដំណើរការប្រព័ន្ធ។
នៅ ZHHIMG Group យើងយល់ថាការផលិតគ្រឿងបន្លាស់ទាំងនេះទាមទារច្រើនជាងការកាត់សម្ភារៈ។ វាទាមទារឱ្យមានភាពស្ទាត់ជំនាញខាងរូបវិទ្យានៃពន្លឺ និងរូបធាតុ។ អត្ថបទនេះស្វែងយល់ពីការអនុវត្តសំខាន់ៗនៃកញ្ចក់អុបទិក និងបញ្ហាប្រឈមនៃការផលិតយ៉ាងម៉ត់ចត់ដែលយើងយកឈ្នះដើម្បីផ្តល់នូវមូលដ្ឋានអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
កម្មវិធីសំខាន់ៗ៖ កន្លែងដែលភាពជាក់លាក់មានសារៈសំខាន់
កញ្ចក់អុបទិកគឺជាឆ្អឹងខ្នងនៃហ្វូតូនិកទំនើប។ ចាប់ពីការទំនាក់ទំនងរហូតដល់ការការពារជាតិ តម្រូវការសម្រាប់សមាសធាតុទាំងនេះកាន់តែតឹងរ៉ឹងឡើងៗ។
១. ការរួមបញ្ចូលគ្នារវាងឡាស៊ែរ និងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរខ្លាំង
នៅក្នុងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ សមាសធាតុអុបទិកត្រូវតែទប់ទល់នឹងដង់ស៊ីតេថាមពលដ៏ច្រើនសន្ធឹកសន្ធាប់។ ពិការភាព ឬភាពមិនបរិសុទ្ធមីក្រូទស្សន៍ណាមួយនៅក្នុងកញ្ចក់អាចនាំឱ្យមានការខូចខាតដែលបង្កឡើងដោយឡាស៊ែរ ដែលធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់ប្រព័ន្ធទាំងមូល។ ការផ្តោតសំខាន់លើការផលិតនៅទីនេះគឺលើការលុបបំបាត់ការខូចខាតក្រោមផ្ទៃ និងធានាបាននូវភាពដូចគ្នាខ្ពស់ដើម្បីការពារការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយនៃធ្នឹម។
២. អុបទិកអវកាស និងការរកឃើញលំហអាកាសជ្រៅ
ដោយសារតេឡេស្កុបអវកាស និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាពីចម្ងាយមានទំហំបើក (ឥឡូវនេះលើសពី 4 ម៉ែត្រ) តម្រូវការសម្រាប់ទម្ងន់ស្រាល និងភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃកាន់តែខ្លាំងឡើង។ សមាសធាតុអុបទិកសម្រាប់លំហត្រូវតែរក្សារូបរាងរបស់វានៅក្នុងបរិយាកាសកម្ដៅខ្លាំង ដែលទាមទារសម្ភារៈដែលមានមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបបំផុត។
៣. មីក្រូកុងដុកទ័រ និង លីថូក្រាហ្វី EUV
នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ប្រព័ន្ធលីតូក្រាហ្វី EUV ពឹងផ្អែកលើកញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំងដែលមានភាពរដុបនៃផ្ទៃត្រូវបានគ្រប់គ្រងតិចជាង 0.1 nm (RMS)។ សូម្បីតែរលាក់កម្រិតអាតូមក៏អាចខ្ចាត់ខ្ចាយពន្លឺ និងបំផ្លាញគុណភាពបង្ហាញរបស់បន្ទះឈីបបានដែរ។ នេះតំណាងឱ្យកំពូលនៃការផលិតកញ្ចក់អុបទិក។
បញ្ហាប្រឈមនៃការផលិត៖ ភាពតានតឹង ភាពរាបស្មើ និងភាពរលោង
ការសម្រេចបាននូវគុណភាពចាំបាច់សម្រាប់កម្មវិធីទាំងនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការយកឈ្នះលើឧបសគ្គសំខាន់ៗចំនួនបីនៅក្នុងដំណើរការផលិត។
១. ការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងផ្ទៃក្នុង
ភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់គឺជាសត្រូវនៃស្ថេរភាពអុបទិក។ វាអាចបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ (birefringence) និងនាំឱ្យមានការប្រេះនៅក្រោមបន្ទុកកម្ដៅ។
- បញ្ហាប្រឈម៖ ការកែច្នៃកញ្ចក់រឹង និងផុយស្រួយ ជារឿយៗបង្កឱ្យមានភាពតានតឹងតូចៗ។
- វិធីសាស្រ្តរបស់យើង៖ យើងប្រើប្រាស់ដំណើរការដុតកម្ដៅកម្រិតខ្ពស់ និងបច្ចេកទេសបង្កើតដែលមានការខូចខាតទាប។ តាមរយៈការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនូវអត្រាត្រជាក់ និងការប្រើប្រាស់យុទ្ធសាស្ត្រម៉ាស៊ីនបំបាត់ភាពតានតឹង យើងធានាថារចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុងនៃកញ្ចក់នៅតែអព្យាក្រឹត និងមានស្ថេរភាព។
2. សម្រេចបាននូវភាពរាបស្មើខ្ពស់ខ្លាំង (ភាពត្រឹមត្រូវនៃប្រេកង់ទាប)
សម្រាប់មូលដ្ឋានអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ “រូបរាង” នៃផ្ទៃគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់។
- បញ្ហាប្រឈម៖ ការកិនបែបប្រពៃណីអាចបន្សល់ទុកនូវរលក ឬបង្កើតជាកំហុសដែលធ្វើឱ្យខូចភាពត្រឹមត្រូវនៃរលក។
- វិធីសាស្រ្តរបស់យើង៖ យើងប្រើប្រាស់ផ្ទៃអុបទិកដែលគ្រប់គ្រងដោយកុំព្យូទ័រ (CCOS) ដែលមានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យយើងកែតម្រូវកំហុសប្រេកង់ទាប (គម្លាតរូបរាង) ដើម្បីសម្រេចបានតម្លៃកំពូលទៅជ្រលងភ្នំ (PV) ដែលជារឿយៗតិចជាង 1 nm ដោយធានាថាផ្លូវអុបទិកនៅតែតម្រឹមឥតខ្ចោះ។
៣. ភាពរដុបនៃផ្ទៃ (ភាពរលោងប្រេកង់ខ្ពស់)
ការខ្ចាត់ខ្ចាយកើតឡើងដោយសារវាយនភាពផ្ទៃដែលមានប្រេកង់ខ្ពស់។
- បញ្ហាប្រឈម៖ ការលុបបំបាត់ «អ័ព្ទ» និងស្នាមឆ្កូតតូចៗដែលបន្សល់ទុកដោយការកិនតម្រូវឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរពីការដកសម្ភារៈចេញទៅជាការធ្វើឱ្យផ្ទៃរលោង។
- វិធីសាស្រ្តរបស់យើង៖ យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាប៉ូលាកម្រិតខ្ពស់ រួមទាំងការបញ្ចប់ដោយជំនួយពីម៉ាញេទិក។ បច្ចេកទេសនេះអនុញ្ញាតឱ្យមានដំណើរការជាបាច់នៃរាងស្មុគស្មាញ (ដូចជាកែវថតសេរី) ខណៈពេលដែលសម្រេចបាននូវភាពរដុបនៃផ្ទៃក្រោមណាណូម៉ែត្រ (Ra < 0.6 nm) ដោយមិនចាំបាច់បង្កើតការខូចខាតថ្មីដល់ផ្ទៃក្រោម។
ZHHIMG៖ ដៃគូរបស់អ្នកក្នុងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ការផ្លាស់ប្តូរពីកញ្ចក់ឆៅទៅជាសមាសធាតុអុបទិកដែលមានមុខងារគឺជាដំណើរមួយតាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាណាណូ។ នៅ ZHHIMG Group យើងភ្ជាប់គម្លាតរវាងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ និងវិស្វកម្មភាពជាក់លាក់។
សមត្ថភាពរបស់យើងរួមមាន៖
- ធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ៖ ការកែច្នៃសមាសធាតុអុបទិកទម្រង់សេរី អាស្វ៊ែរ និងប្លង់។
- រង្វាស់វិទ្យា និងអធិការកិច្ច៖ ប្រើប្រាស់អន្តរហ្វេរ៉ូម៉ែត្រ និងប្រូហ្វីឡូម៉ែត្រ ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់គុណភាពផ្ទៃ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃទម្រង់ក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង។
- ជំនាញខាងសម្ភារៈ៖ មានបទពិសោធន៍យ៉ាងស៊ីជម្រៅជាមួយស៊ីលីការលាយ រ៉ែថ្មខៀវ និងវ៉ែនតាអុបទិកឯកទេសដែលល្បីថាមានការបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ និងការពង្រីកទាប។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
នៅពេលដែលប្រព័ន្ធអុបទិករុញច្រានព្រំដែននៃអ្វីដែលអាចធ្វើទៅបាន ការផលិតគ្រឿងបន្លាស់កញ្ចក់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
នៅពេលដែលប្រព័ន្ធអុបទិករុញច្រានព្រំដែននៃអ្វីដែលអាចធ្វើទៅបាន ការផលិតគ្រឿងបន្លាស់កញ្ចក់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មេសា-០៩-២០២៦