នៅក្នុងការស្វែងរកឥតឈប់ឈរនៃការបង្រួមទំហំ និងដំណើរការដែលកំណត់បច្ចេកវិទ្យាទំនើប សម្ភារៈរចនាសម្ព័ន្ធលែងជាការពិចារណាបន្ទាប់បន្សំទៀតហើយ។ ចាប់ពីប្រព័ន្ធលីតូក្រាហ្វីពាក់កណ្តាលចរន្តដែលមានសមត្ថភាពកំណត់លក្ខណៈពិសេសសៀគ្វីនៅមាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រ រហូតដល់វេទិកាត្រួតពិនិត្យអុបទិកដែលផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រនៅកម្រិតមីក្រូម៉ែត្ររង គ្រឹះដែលប្រព័ន្ធទាំងនេះត្រូវបានសាងសង់ឡើងកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវសមត្ថភាពចុងក្រោយរបស់ពួកគេ។
ថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បានលេចចេញជាសម្ភារៈដែលត្រូវបានជ្រើសរើសសម្រាប់កម្មវិធីដែលមានតម្រូវការច្រើនបំផុតនៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងប្រព័ន្ធអុបទិក។ សម្ភារៈធម្មជាតិនេះ ដែលត្រូវបានចម្រាញ់អស់រយៈពេលរាប់ពាន់ឆ្នាំមកហើយ ផ្តល់នូវការរួមបញ្ចូលគ្នាតែមួយគត់នៃលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តដែលលោហធាតុវិស្វកម្មមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន — ស្ថេរភាពកម្ដៅដែលទប់ទល់នឹងការរសាត់នៃវិមាត្រ ការរំញ័រដែលញែកដំណើរការងាយរងគ្រោះចេញពីសំឡេងរំខានបរិស្ថាន និងភាពអសកម្មគីមីដែលទប់ទល់នឹងបរិស្ថានឈ្លានពាននៃការផលិតទំនើប។
អត្ថបទនេះពិនិត្យមើលពីរបៀបដែលដំណោះស្រាយថ្មក្រានីតដែលផលិតតាមតម្រូវការដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមសំខាន់ៗដែលក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងអុបទិកកំពុងប្រឈមមុខ ដោយផ្តល់ឱ្យវិស្វករ និងអ្នកឯកទេសផ្នែកលទ្ធកម្មនូវមូលដ្ឋានគ្រឹះបច្ចេកទេសសម្រាប់ការរចនាប្រព័ន្ធដ៏ល្អប្រសើរ។
បញ្ហាប្រឈមនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ភាពជាក់លាក់នៅមាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រ
ការយល់ដឹងអំពីតម្រូវការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទំនើបតំណាងឱ្យកំពូលនៃការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់។ ដោយសារតែធរណីមាត្របន្ទះឈីបបន្តរួញតូចជាងណូតដំណើរការ 7nm ឧបករណ៍ដែលប្រើដើម្បីផលិតឧបករណ៍ទាំងនេះត្រូវតែដំណើរការជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាពដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមក។
តម្រូវការភាពជាក់លាក់សំខាន់ៗ៖
| ដំណើរការ | ការអត់ឱនធម្មតា | ផលប៉ះពាល់លើទិន្នផល |
|---|---|---|
| ការដាក់លើលីថូក្រាហ្វី | ភាពត្រឹមត្រូវនៃការតម្រឹម <3nm | ទំនាក់ទំនងអត្រាពិការភាពដោយផ្ទាល់ |
| ការត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វី | ការរកឃើញលក្ខណៈពិសេស <10nm | សមត្ថភាពធានាគុណភាព |
| CMP (ការប៉ូលាដោយគីមីមេកានិច) | ឯកសណ្ឋាន <50nm | ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ស្រទាប់ |
| ការកំណត់ទីតាំងឆ្លាក់ | ភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់ <5nm | ភាពស្មោះត្រង់នៃលំនាំ |
| ការដាក់ស្រទាប់ស្តើង | ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ <1nm | ការអនុវត្តអគ្គិសនី |
នៅកម្រិតភាពជាក់លាក់ទាំងនេះ សូម្បីតែភាពមិនស្ថិតស្ថេរនៃរចនាសម្ព័ន្ធតូចតាចនៅក្នុងមូលដ្ឋានឧបករណ៍ និងវេទិកាចលនាក៏អាចប្រែក្លាយទៅជាពិការភាពដែលមានតម្លៃថ្លៃ និងការខាតបង់ទិន្នផលផងដែរ។ ដូច្នេះ គ្រឹះរចនាសម្ព័ន្ធនៃឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលចរន្តត្រូវតែផ្តល់ជូន៖
- ស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមលក្ខខណ្ឌកម្ដៅផ្សេងៗគ្នា
- ការញែករំញ័រចេញពីបរិស្ថានជាន់ផលិតកម្ម
- ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីចំពោះឧស្ម័នដំណើរការ និងសារធាតុសម្អាត
- ភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងជាមួយនឹងតម្រូវការថែទាំតិចតួចបំផុត
ថ្មក្រានីតក្នុងប្រព័ន្ធលីតូក្រាហ្វី
ម៉ាស៊ីនលីថូក្រាហ្វីតំណាងឱ្យកម្មវិធីដែលទាមទារបំផុតសម្រាប់ថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ ប្រព័ន្ធលីថូក្រាហ្វីអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង (EUV) ដែលមានលក្ខណៈពិសេសសៀគ្វីលំនាំក្នុងមាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រ ទាមទារវេទិការចនាសម្ព័ន្ធដែលរក្សាបាននូវស្ថេរភាពដាច់ខាតពេញមួយប្រតិបត្តិការដែលបានពង្រីក។
កម្មវិធីសមាសធាតុលីថូក្រាហ្វី៖
បន្ទះមូលដ្ឋាន និងស៊ុមសំខាន់ៗ៖
- គាំទ្រដល់ការផ្គុំជួរឈរអុបទិកទាំងមូល និងការផ្គុំដំណាក់កាល wafer
- រក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃធរណីមាត្រក្រោមបន្ទុកធ្ងន់ (រហូតដល់ច្រើនតោន)
- ផ្តល់ការការពាររំញ័រពីហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធនៃកន្លែង
- សម្រេចបាននូវភាពអត់ធ្មត់នៃផ្ទៃរាបស្មើក្នុងរង្វង់ 1-3 µm លើផ្ទៃធំៗ
ផ្លូវដែកណែនាំ និងដំណាក់កាលចលនា៖
- បើកភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងកម្រិតណាណូម៉ែត្រ
- គាំទ្រប្រព័ន្ធម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ឬប្រព័ន្ធម៉ូទ័រដែលមានខ្យល់ទ្រទ្រង់
- រក្សាភាពត្រង់ និងរាបស្មើក្រោមបន្ទុកថាមវន្ត
- ផ្តល់ផ្ទៃយោងដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ប្រព័ន្ធមតិប្រតិកម្មទីតាំង
រចនាសម្ព័ន្ធស្ពាន និង Gantry៖
- លាតសន្ធឹងលើបរិមាណការងារធំៗដោយគ្មានការបត់បែន
- គាំទ្រប្រព័ន្ធអុបទិកស្កេន និងប្រព័ន្ធបង្ហាញពន្លឺ
- រក្សាការតម្រឹមរវាងអ័ក្សចលនាច្រើន
- ទប់ទល់នឹងការប្រែប្រួលកម្ដៅពីដំណើរការប៉ះពាល់
វេទិកាដំណើរការ និងត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វី
ឧបករណ៍កែច្នៃបន្ទះឈើទាមទារវេទិកាថ្មក្រានីតដែលអាចទប់ទល់នឹងបរិស្ថានគីមីដ៏ខ្លាំងក្លា ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃធរណីមាត្រអនុមីក្រូន៖
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វី៖
- ការរកឃើញកំហុសនៅកម្រិតភាពច្បាស់ណាណូម៉ែត្រ
- ការថតរូបភាពអុបទិក និងធ្នឹមអេឡិចត្រុងដែលមានការពង្រីកខ្ពស់
- ចលនាជាក់លាក់សម្រាប់ការស្កេន និងការកំណត់ទីតាំងបន្ទះស្តើង
- ការញែករំញ័រសម្រាប់ស្ថេរភាពរូបភាព
តារាងកែច្នៃបន្ទះសៀគ្វី៖
- មូលដ្ឋានឧបករណ៍សម្រាប់កាត់ជាដុំៗ ឆ្លាក់ និងដាក់ស្រទាប់
- ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីចំពោះអាស៊ីត បាស និងសារធាតុរំលាយ
- ការរក្សាភាពរាបស្មើសម្រាប់លទ្ធផលដំណើរការឯកសណ្ឋាន
- ការព្យាបាលលើផ្ទៃប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តដើម្បីការពារការចម្លងរោគភាគល្អិត
ការប៉ូលាដោយគីមីមេកានិច (CMP)៖
- សមត្ថភាពផ្ទុកខ្ពស់សម្រាប់ក្បាលប៉ូលា
- ស្ថេរភាពរាបស្មើក្រោមសម្ពាធថាមវន្ត
- ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីចំពោះសារធាតុស្អិត និងសារធាតុសម្អាត
- ភាពធន់នឹងការពាក់រយៈពេលវែង
គុណសម្បត្តិនៃថ្មក្រានីត Semiconductor
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃនៅក្នុងកម្មវិធីឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក | អត្ថប្រយោជន៍ |
|---|---|---|
| ការពង្រីកកម្ដៅទាប | ≈៣×១០⁻⁶/°C (១/៣ នៃដែកថែប) | ស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព |
| ភាពរឹងខ្ពស់ និងការបន្ថយសំណើម | សមាមាត្រសំណើម 0.012-0.015 | ទប់ស្កាត់រំញ័រ ធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃមាត្រដ្ឋានណាណូ |
| ភាពអសកម្មគីមី | ស្ថេរភាព pH 1-14 | ទប់ទល់នឹងបរិស្ថានដំណើរការច្រេះ |
| ភាពរឹងខ្ពស់ | ម៉ូស ៦-៧ | ធន់នឹងការពាក់ ពន្យារអាយុកាលឧបករណ៍ |
| លក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់ | មិនចរន្តអគ្គិសនី មិនម៉ាញេទិក | ការពារការខូចខាតអេឡិចត្រូស្តាទិចចំពោះសមាសធាតុងាយប្រតិកម្ម |
ប្រព័ន្ធអុបទិក៖ កន្លែងដែលស្ថេរភាពអនុញ្ញាតឱ្យមានភាពជាក់លាក់
បញ្ហាប្រឈមនៃវេទិកាអុបទិក
ប្រព័ន្ធអុបទិក — មិនថាប្រើសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យ ការវាស់វែង ឬដំណើរការឡាស៊ែរទេ — ដំណើរការនៅចំនុចប្រសព្វនៃពន្លឺ និងមេកានិចភាពជាក់លាក់។ អស្ថិរភាពណាមួយនៅក្នុងវេទិកាអុបទិកបកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅជាកំហុសវាស់វែង ការរិចរិលរូបភាព ឬការប្រែប្រួលដំណើរការ។
ប្រភពនៃកំហុសប្រព័ន្ធអុបទិក៖
- ការរសាត់នៃកម្ដៅ៖ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រនៅក្នុងវេទិកាផ្លាស់ប្តូរប្រវែងផ្លូវអុបទិក និងការតម្រឹមសមាសធាតុ
- រំញ័រ៖ រំញ័របរិស្ថានបណ្តាលឱ្យមានចលនាទាក់ទងគ្នារវាងធាតុអុបទិក និងគំរូ
- ការរិចរិលរចនាសម្ព័ន្ធ៖ ការខូចទ្រង់ទ្រាយរយៈពេលវែងធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់ការតម្រឹមដែលបានក្រិតតាមខ្នាត
- ការជ្រៀតជ្រែកម៉ាញេទិក៖ ប៉ះពាល់ដល់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាពជាក់លាក់ និងឧបករណ៍បញ្ជានៅក្នុងប្រព័ន្ធអុបទិក
វេទិកាអុបទិកថ្មក្រានីត៖ គុណសម្បត្តិវិស្វកម្ម
ការរំញ័ររំញ័រកម្រិតខ្ពស់៖
ប្រព័ន្ធអុបទិកមានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការផ្លាស់ទីលំនៅតូចៗ។ រំញ័រខាងក្រៅពីឧបករណ៍រោងចក្រ ប្រព័ន្ធ HVAC ឬសូម្បីតែចរាចរណ៍ឆ្ងាយអាចបណ្តាលឱ្យមានចលនាទាក់ទងដែលធ្វើឱ្យរូបភាពព្រិលៗ ឬធ្វើឱ្យការវាស់វែងមិនត្រឹមត្រូវ។
ថ្មក្រានីតខ្មៅលំដាប់ខ្ពស់ដែលមានដង់ស៊ីតេ ≈3100 kg/m³ មានរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ក្នុងការរំសាយថាមពលមេកានិច។ មិនដូចមូលដ្ឋានលោហធាតុដែលបញ្ជូនរំញ័រទេ ថ្មក្រានីតស្រូបយកថាមពលនៅក្នុងម៉ាទ្រីសគ្រីស្តាល់របស់វា ដែលបង្កើតជាកម្រាលមេកានិចស្ងាត់សម្រាប់ប្រព័ន្ធអុបទិក។
ការអនុវត្តការរំញ័រ៖
| សម្ភារៈ | សមាមាត្រសំណើម | ការបន្ថយរំញ័រ (50-500Hz) |
|---|---|---|
| ថ្មក្រានីត | ០.០១២-០.០១៥ | ៩៥% |
| ដែកវណ្ណះ | ០,០០៣-០,០០៥ | ៦០-៧០% |
| ដែកថែប | ០,០០១-០,០០២ | ២០-៣០% |
| អាលុយមីញ៉ូម | ០.០០០១-០.០០០៥ | <១០% |
ស្ថេរភាពកម្ដៅខ្លាំង៖
ការវាស់វែងអុបទិកច្រើនតែលាតសន្ធឹងលើរយៈពេលយូរ - ម៉ោងសម្រាប់ការស្កេនអន្តរេរ៉ូម៉ែត្រិចស្មុគស្មាញ ឬលំដាប់រូបភាពវែង។ ក្នុងអំឡុងពេលទាំងនេះ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រណាមួយនៅក្នុងវេទិកានឹងបង្កឱ្យមានកំហុសជាប្រព័ន្ធ។
ម៉ាស់ខ្ពស់ និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាបរបស់ថ្មក្រានីតផ្តល់នូវនិចលភាពកម្ដៅដែលចាំបាច់ដើម្បីទប់ទល់នឹងការពង្រីក និងការកន្ត្រាក់តូចៗ។ ស្ថេរភាពនេះធានាថាចម្ងាយផ្តោតអារម្មណ៍ដែលបានក្រិតតាមខ្នាត និងការតម្រឹមអុបទិកនៅតែថេរពេញមួយលំដាប់វាស់ដែលបានពង្រីក។
សម្រេចបានភាពរាបស្មើកម្រិតណាណូម៉ែត្រ៖
ភាពខុសគ្នាដែលអាចមើលឃើញច្បាស់បំផុតរវាងវេទិកាថ្មក្រានីតថ្នាក់ឧស្សាហកម្ម និងថ្នាក់អុបទិក ស្ថិតនៅលើតម្រូវការរាបស្មើ។ ខណៈពេលដែលមូលដ្ឋានឧស្សាហកម្មស្តង់ដារអាចបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសថ្នាក់ទី 0 ឬថ្នាក់ទី 00 (វាស់វែងជាមីក្រូន) ប្រព័ន្ធអុបទិកទាមទារភាពរាបស្មើដែលអាចវាស់វែងបានជាណាណូម៉ែត្រ។
ការប្រៀបធៀបថ្នាក់រាបស្មើ៖
| ពាក្យសុំ | ភាពរាបស្មើដែលត្រូវការ | ថ្នាក់ធម្មតា |
|---|---|---|
| ស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម | ±៥-១០ មីក្រូម៉ែត្រ/ម៉ែត្រ | ថ្នាក់ ០/១ |
| រង្វាស់ភាពជាក់លាក់ | ±១-៣ មីក្រូម៉ែត្រ/ម៉ែត្រ | ថ្នាក់ទី ០០ |
| ការត្រួតពិនិត្យអុបទិក | ±0.5-1 មីក្រូម៉ែត្រ/ម៉ែត្រ | ថ្នាក់ ០០០ |
| អុបទិក/លីតូក្រាហ្វីកម្រិតខ្ពស់ | <0.5 មីក្រូម៉ែត្រ/ម៉ែត្រ | ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ |
កម្មវិធីវេទិកាអុបទិក
មូលដ្ឋានឡាស៊ែរអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ៖
- ការវាស់វែងនៃការផ្លាស់ទីលំនៅនៅមាត្រដ្ឋានមីក្រូន និងមីក្រូរង
- ស្ថេរភាពកម្ដៅសម្រាប់លំដាប់វាស់វែងដែលបានពង្រីក
- ការញែករំញ័រសម្រាប់ស្ថេរភាពអន្តរេរ៉ូម៉ែត្រិច
- ចំណុចប្រទាក់ម៉ោនច្បាស់លាស់សម្រាប់សមាសធាតុអុបទិក
ការត្រួតពិនិត្យអុបទិកដោយស្វ័យប្រវត្តិ (AOI):
- ប្រព័ន្ធថតរូបភាពដែលមានការពង្រីកខ្ពស់
- ចលនាជាក់លាក់សម្រាប់ការស្កេនសមាសធាតុ
- ស្ថេរភាពរូបភាពសម្រាប់ក្បួនដោះស្រាយរកឃើញកំហុស
- ភាពឯកោពីបរិស្ថានសម្រាប់លទ្ធផលដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា
ប្រព័ន្ធតម្រឹមអុបទិក៖
- ការតម្រឹម និងការកំណត់ទីតាំងធ្នឹមឡាស៊ែរ
- ការដំឡើង និងការលៃតម្រូវសមាសធាតុអុបទិក
- ប្លង់យោងសម្រាប់ការតម្រឹមច្រើនអ័ក្ស
- ស្ថេរភាពរយៈពេលវែងសម្រាប់ការរក្សាការក្រិតតាមខ្នាត
កម្មវិធីក្តារបន្ទះអុបទិក៖
- ភាពបត់បែននៃការដំឡើងអុបទិកម៉ូឌុល
- ក្រឡាចត្រង្គរន្ធម៉ោនដែលមានខ្សែស្រឡាយ
- វេទិកាដែលមានរំញ័រសម្រាប់អុបទិក
- ស្ថេរភាពកម្ដៅសម្រាប់ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃការពិសោធន៍
ការកែច្នៃថ្មក្រានីតតាមតម្រូវការ៖ រចនាឡើងសម្រាប់តម្រូវការជាក់លាក់
លើសពីការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធស្តង់ដារ
ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទំនើបៗ និងឧបករណ៍អុបទិកកម្រត្រូវការបន្ទះចតុកោណកែងស្តង់ដារណាស់។ ផ្ទុយទៅវិញ ក្រុមហ៊ុនផលិតទាមទាររចនាសម្ព័ន្ធថ្មក្រានីតដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្គូផ្គងនឹងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធប្រព័ន្ធជាក់លាក់ — ដោយរួមបញ្ចូលលក្ខណៈពិសេសនៃការម៉ោន ការដាក់ខ្សែ ផ្លូវសេវាកម្ម និងធរណីមាត្រស្មុគស្មាញដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពសម្រាប់កម្មវិធីនីមួយៗ។
សមត្ថភាពផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់
ការកែច្នៃ CNC 5 អ័ក្ស៖
- ធរណីមាត្របីវិមាត្រស្មុគស្មាញ
- លក្ខណៈពិសេសម៉ោនរួមបញ្ចូលគ្នា និងផ្ទៃទិន្នន័យ
- ការបញ្ចូលដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ រន្ធដែលមានខ្សែស្រឡាយ និងចង្អូរតម្រឹម
- ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំង៖ ≤±0.01មម
ការកិន និងការលាបថ្នាំដោយភាពជាក់លាក់៖
- ការកិនកង់ពេជ្រសម្រាប់ការបញ្ចប់ផ្ទៃ
- សមិទ្ធផលភាពរាបស្មើ៖ <1 µm សម្រាប់ភាពជាក់លាក់ស្តង់ដារ
- ការកិនដ៏ជាក់លាក់បំផុតសម្រាប់ផ្ទៃកម្រិតណាណូម៉ែត្រ
- ភាពរដុបនៃផ្ទៃ៖ Ra 0.1-0.4 µm
លក្ខណៈពិសេសរួមបញ្ចូលគ្នា៖
- ប៊ូសដែលមានខ្សែ និងបន្ទះដែកសម្រាប់តោង
- បណ្តាញខ្សែកាប និងបណ្តាញផ្លូវអាកាស
- ទិន្នន័យតម្រឹមភាពជាក់លាក់
- លំនាំរន្ធផ្ទាល់ខ្លួនសម្រាប់ការដំឡើងសមាសធាតុ
ការផ្ទៀងផ្ទាត់គុណភាព៖
- ការវាស់ស្ទង់អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូម៉ែត្រឡាស៊ែរ (Renishaw XL-80)
- ការផ្ទៀងផ្ទាត់កម្រិតអេឡិចត្រូនិច (ប្រព័ន្ធ Wyler)
- ការត្រួតពិនិត្យម៉ាស៊ីនវាស់ស្ទង់សម្របសម្រួល
- ការវិភាគទម្រង់ផ្ទៃ និងការវិភាគធរណីមាត្រ
ការជ្រើសរើសសម្ភារៈសម្រាប់កម្មវិធីបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់
លក្ខណៈពិសេសថ្មក្រានីតខ្មៅបុព្វលាភ៖
| អចលនទ្រព្យ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស | សារៈសំខាន់ |
|---|---|---|
| ដង់ស៊ីតេ | >3,000 គីឡូក្រាម/ម៉ែត្រគូប | ការរំញ័រ និងស្ថេរភាពម៉ាស់ |
| ភាពរឹង | ម៉ូស ៦-៧ | ភាពធន់នឹងការពាក់ និងភាពធន់ |
| ការស្រូបយកទឹក | <០.១% | ស្ថេរភាពវិមាត្រនៅក្នុងបរិស្ថានសើម |
| កម្លាំងបង្ហាប់ | >២០០ MPa | សមត្ថភាពផ្ទុកដោយគ្មានការខូចទ្រង់ទ្រាយ |
| ការពង្រីកកម្ដៅ | ៤-៩ ×១០⁻⁶/°C | ស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព |
ថ្នាក់សម្ភារៈ៖
- G350 (ថ្នាក់ស្តង់ដារ): សមស្របសម្រាប់កម្មវិធីភាពជាក់លាក់ទូទៅ រាបស្មើ ±0.005mm/m²
- G650 (ថ្នាក់ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់): រចនាឡើងសម្រាប់តម្រូវការភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់បំផុត រាបស្មើ ±0.0015mm/m²
ដំណើរការវិស្វកម្មផ្ទាល់ខ្លួន
ដំណាក់កាលទី 1: កិច្ចសហការរចនា
- ការពិគ្រោះយោបល់ផ្នែកវិស្វកម្មក្នុងដំណាក់កាលដំបូងនៃគម្រោង
- ការធ្វើគំរូ CAD ជាមួយនឹងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម
- លក្ខណៈបច្ចេកទេស និងសម្ភារៈ
- ការវិភាគបន្ទុក និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរចនាសម្ព័ន្ធ
ដំណាក់កាលទី 2: ការជ្រើសរើស និងកែច្នៃសម្ភារៈ
- ជម្រើសថ្មក្រានីតខ្មៅលំដាប់ខ្ពស់
- បំបាត់ភាពតានតឹងតាមរយៈភាពចាស់តាមធម្មជាតិ និងវដ្តកម្ដៅ
- ការកែច្នៃរដុបដំបូងរហូតដល់វិមាត្រជិតចុងក្រោយ
- ការផ្ទៀងផ្ទាត់វិមាត្រកម្រិតមធ្យម
ដំណាក់កាលទី 3: ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់
- ការកិន CNC 5 អ័ក្សសម្រាប់លក្ខណៈពិសេសស្មុគស្មាញ
- ការកិនដ៏ជាក់លាក់សម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ
- ការរួមបញ្ចូលលក្ខណៈពិសេសនៃការម៉ោន និងការបញ្ចូល
- លំនាំរន្ធផ្ទាល់ខ្លួន និងផ្ទៃទិន្នន័យ
ដំណាក់កាលទី 4: ដំណើរការចុងក្រោយ និងការត្រួតពិនិត្យ
- ការគៀបដ៏ជាក់លាក់សម្រាប់ភាពរាបស្មើចុងក្រោយ
- ការផ្ទៀងផ្ទាត់វិមាត្រដ៏ទូលំទូលាយ
- ការវាស់វែងផ្ទៃបញ្ចប់
- ការបញ្ជាក់ និងឯកសារ
ការអនុវត្តឧស្សាហកម្ម៖ ការអនុវត្តក្នុងពិភពពិត
កម្មវិធីផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ប្រព័ន្ធលីតូក្រាហ្វី EUV៖
- មូលដ្ឋានរចនាសម្ព័ន្ធដែលគាំទ្រដល់អុបទិកនៃការប៉ះពាល់
- ដំណាក់កាលចលនាសម្រាប់ការកំណត់ទីតាំង wafer
- ផ្លូវដែកណែនាំសម្រាប់ការស្កេនដែលមានភាពជាក់លាក់
- សម្រេចបាននូវភាពឯកោរំញ័រ 0.12nm
ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វី៖
- វេទិកាត្រួតពិនិត្យសម្រាប់ការរកឃើញកំហុស
- មូលដ្ឋានចលនាសម្រាប់ការគ្រប់គ្រង wafer
- ផ្ទៃយោងសម្រាប់ប្រព័ន្ធអុបទិក
- ផ្ទៃធន់នឹងសារធាតុគីមីសម្រាប់បរិស្ថានដំណើរការ
ឧបករណ៍ CMP៖
- វេទិកាប៉ូលាដែលមានសមត្ថភាពផ្ទុកធ្ងន់
- ការរក្សាភាពរាបស្មើក្រោមសម្ពាធថាមវន្ត
- ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីចំពោះសារធាតុស្អិត
- ភាពធន់នឹងការពាក់រយៈពេលវែង
កម្មវិធីអុបទិក និងឡាស៊ែរ
ប្រព័ន្ធដំណើរការឡាស៊ែរ៖
- វេទិកាចែកចាយធ្នឹម
- មូលដ្ឋានចលនាសម្រាប់កាត់ និងសម្គាល់ដោយឡាស៊ែរ
- ស្ថេរភាពកម្ដៅសម្រាប់ការតម្រឹមធ្នឹម
- ការរំញ័រសម្រាប់ដំណើរការជាក់លាក់
រង្វាស់អុបទិក៖
- មូលដ្ឋានអ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូម៉ែត្រ
- វេទិកាម៉ាស៊ីនវាស់សំរបសំរួល
- ប្រូហ្វីឡូម៉ែត្រ និងមូលដ្ឋានវាស់ផ្ទៃ
- ស្តង់ដារក្រិតតាមខ្នាត និងស្តង់ដារយោង
ឧបករណ៍វិទ្យាសាស្ត្រ៖
- មូលដ្ឋានឧបករណ៍ឌីផ្រាក់ស្យុងកាំរស្មីអ៊ិច (XRD)
- វេទិកាមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុង
- មូលដ្ឋានគ្រឹះឧបករណ៍ស្ពិចត្រូស្កូប
- តារាងអុបទិកមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវ
កម្មវិធីផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់
ការផលិតអេក្រង់រាបស្មើ៖
- វេទិកាឧបករណ៍អារេ a-Si
- ឧបករណ៍ដំណើរការអារេ LTPS
- ប្រព័ន្ធដោះស្រាយស្រទាប់ខាងក្រោមតំបន់ធំ
- ការគ្រប់គ្រងដំណើរការឯកសណ្ឋានលើផ្ទៃធំៗ
ស្វ័យប្រវត្តិកម្មភាពជាក់លាក់៖
- មនុស្សយន្តគ្រប់គ្រងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
- ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យដោយស្វ័យប្រវត្តិ
- ឧបករណ៍ផ្គុំភាពជាក់លាក់
- វេទិកាដែលឆបគ្នាជាមួយបន្ទប់ស្អាត
ការពិចារណាលើបរិស្ថាន និងប្រតិបត្តិការ
ភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត
បរិស្ថានផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងអុបទិកតម្រូវឱ្យមានឧបករណ៍ដែលបំពេញតាមស្តង់ដារអនាម័យយ៉ាងតឹងរ៉ឹង៖
គុណសម្បត្តិថ្មក្រានីតសម្រាប់ការប្រើប្រាស់បន្ទប់ស្អាត៖
- ផ្ទៃមិនជ្រុះដែលមិនបង្កើតភាគល្អិត
- ស្ថេរភាពគីមីដែលឆបគ្នាជាមួយពិធីការសម្អាត
- លក្ខណៈសម្បត្តិមិនមែនម៉ាញេទិកការពារការទាក់ទាញភាគល្អិត
- ការព្យាបាលលើផ្ទៃអាចរកបានសម្រាប់កម្មវិធីស្អាតខ្លាំង
ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី
ដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកពាក់ព័ន្ធនឹងការប៉ះពាល់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ខ្លាំងក្លា៖
| បរិស្ថានគីមី | ការសម្តែងថ្មក្រានីត | ការសម្តែងលោហៈ |
|---|---|---|
| អាស៊ីត (HCl, H₂SO₄, HF) | ធន់ទ្រាំល្អឥតខ្ចោះ | តម្រូវឱ្យមានថ្នាំកូតការពារ |
| បាស (NH₄OH, KOH) | ធន់ទ្រាំល្អឥតខ្ចោះ | ងាយនឹងច្រេះ |
| សារធាតុរំលាយ | គ្មានការរិចរិល | អាចប៉ះពាល់ដល់ថ្នាំកូត |
| ឧស្ម័នដំណើរការ | ប្រតិកម្មអសកម្ម | អាចត្រូវការសម្ភារៈពិសេស |
ភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង
អាយុកាលប្រតិបត្តិការរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍អុបទិកច្រើនតែមានរយៈពេលរាប់ទសវត្សរ៍។ គ្រឹះរចនាសម្ព័ន្ធត្រូវតែរក្សាបាននូវដំណើរការពេញមួយអាយុកាលសេវាកម្មដែលបានពង្រីកនេះ៖
គុណសម្បត្តិនៃអាយុកាលថ្មក្រានីត៖
- គ្មានការបន្ធូរភាពតានតឹងខាងក្នុង (មិនដូចលោហៈទេ)
- គ្មានការច្រេះ ឬអុកស៊ីតកម្ម
- ធរណីមាត្រដែលមានស្ថេរភាពលើសពី 20 ឆ្នាំនៃជីវិតសេវាកម្ម
- តម្រូវការថែទាំអប្បបរមា
- ភាពធន់នឹងការពាក់ពីចលនាសមាសធាតុ
គោលការណ៍ណែនាំអំពីការជ្រើសរើស និងការផ្គត់ផ្គង់
ការវាយតម្លៃពាក្យសុំ
នៅពេលបញ្ជាក់រចនាសម្ព័ន្ធថ្មក្រានីតផ្ទាល់ខ្លួនសម្រាប់កម្មវិធីអេឡិចត្រូនិច ឬអុបទិក សូមពិចារណា៖
តម្រូវការភាពជាក់លាក់៖
- ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃរាបស្មើ និងធរណីមាត្រដែលត្រូវការ
- សមត្ថភាពផ្ទុក និងការចែកចាយ
- ការរួមបញ្ចូលជាមួយប្រព័ន្ធចលនា
- តម្រូវការស្ថេរភាពកម្ដៅ
កត្តាបរិស្ថាន៖
- ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាព និងការប្រែប្រួល
- តម្រូវការចាត់ថ្នាក់បន្ទប់ស្អាត
- សក្តានុពលនៃការប៉ះពាល់នឹងសារធាតុគីមី
- លក្ខណៈបរិស្ថានរំញ័រ
តម្រូវការប្រតិបត្តិការ៖
- ការរំពឹងទុកអាយុកាលសេវាកម្ម
- ភាពងាយស្រួលនៃការថែទាំ
- ភាពស្មុគស្មាញនៃការរួមបញ្ចូល
- តម្រូវការឯកសារ និងការតាមដាន
លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យគុណវុឌ្ឍិរបស់អ្នកផ្គត់ផ្គង់
ជ្រើសរើសដៃគូកែច្នៃថ្មក្រានីតដែលមានសមត្ថភាពបង្ហាញឱ្យឃើញ៖
- បទពិសោធន៍៖ យ៉ាងតិច ១០ ឆ្នាំ ក្នុងវិស័យឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក/អុបទិក
- វិញ្ញាបនបត្រ៖ ការគ្រប់គ្រងគុណភាព ISO 9001, បរិស្ថាន ISO 14001
- សមត្ថភាព៖ ម៉ាស៊ីន CNC 5 អ័ក្សផ្ទាល់ខ្លួន ការកិនដោយភាពជាក់លាក់ ការក្រិតតាមខ្នាតឡាស៊ែរ
- ការគាំទ្រផ្នែកវិស្វកម្ម៖ សេវាកម្មសហការរចនា និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព
- ប្រព័ន្ធគុណភាព៖ ការតាមដានពេញលេញ និងឯកសារដ៏ទូលំទូលាយ
- ការដំឡើងឯកសារយោង៖ ការអនុវត្តដែលបានបង្ហាញឱ្យឃើញនៅក្នុងកម្មវិធីស្រដៀងគ្នា
តម្រូវការឯកសារគុណភាព
ឯកសារដ៏ទូលំទូលាយគាំទ្រដល់ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
ឯកសារស្តង់ដារ៖
- វិញ្ញាបនបត្រសម្ភារៈ និងឯកសារប្រភពដើម
- របាយការណ៍ត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ
- ការផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពរាបស្មើ និងការធរណីមាត្រ
- ការវាស់វែងផ្ទៃបញ្ចប់
ឯកសារកម្រិតខ្ពស់៖
- ទិន្នន័យវាស់ស្ទង់អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូម៉ែត្រឡាស៊ែរ
- វិញ្ញាបនបត្រជិះកង់កម្ដៅ
- ការធ្វើតេស្តភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី (បើអាចអនុវត្តបាន)
- វិញ្ញាបនបត្រភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត
និន្នាការទីផ្សារ និងទិសដៅនាពេលអនាគត
កំណើនឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ
ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រសកលបន្តពង្រីក ដែលជំរុញតម្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖
- ការសាងសង់រោងចក្រថ្មី៖ រោងចក្រថ្មីទំហំ 300 មីលីម៉ែត្រចំនួន 78+ កំពុងសាងសង់ទូទាំងពិភពលោក
- ណូតដំណើរការកម្រិតខ្ពស់៖ តម្រូវការកើនឡើងសម្រាប់ប្រព័ន្ធលីចូក្រាហ្វី EUV
- ការវិនិយោគលើឧបករណ៍៖ ការចំណាយដើមទុនកើនឡើងសម្រាប់ឧបករណ៍ផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
- តម្រូវការគុណភាព៖ ការរឹតបន្តឹងភាពអត់ធ្មត់នៅពេលដែលរូបរាងបន្ទះឈីបរួញតូច
ការវិវត្តន៍ប្រព័ន្ធអុបទិក
ប្រព័ន្ធអុបទិកកម្រិតខ្ពស់កំពុងផ្តល់លទ្ធភាពថ្មីៗនៅទូទាំងឧស្សាហកម្ម៖
- យានយន្តស្វ័យប្រវត្តិ៖ ប្រព័ន្ធ LIDAR និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិក
- ឧបករណ៍ជីវវេជ្ជសាស្ត្រ៖ ការថតរូបភាពអុបទិក និងការវាស់វែងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
- ការគណនាកង់ទិច៖ វេទិកាអុបទិកដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំងសម្រាប់ប្រព័ន្ធកង់ទិច
- ការផលិតកម្រិតខ្ពស់៖ ដំណើរការឡាស៊ែរ និងការត្រួតពិនិត្យអុបទិក
និន្នាការសមាហរណកម្មបច្ចេកវិទ្យា
ដំណោះស្រាយថ្មក្រានីតនាពេលអនាគតនឹងរួមបញ្ចូលជាមួយបច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗ៖
- រចនាសម្ព័ន្ធចម្រុះ៖ ការរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយសេរ៉ាមិច និងសមាសធាតុសម្រាប់ដំណើរការល្អបំផុត
- ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលបង្កប់៖ ការរួមបញ្ចូលការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព និងរំញ័រ
- លក្ខណៈពិសេសឆ្លាតវៃ៖ ប្រព័ន្ធសំណងសកម្មរួមបញ្ចូលជាមួយវេទិកាថ្មក្រានីត
- ការរចនាម៉ូឌុល៖ ប្រព័ន្ធដែលអាចកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធបានសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍឧបករណ៍យ៉ាងឆាប់រហ័ស
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បានក្លាយជាមូលដ្ឋានគ្រឹះដែលមិនអាចចរចាបានសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងប្រព័ន្ធអុបទិកដែលដំណើរការនៅដែនកំណត់នៃសមត្ថភាពវាស់វែង និងផលិត។ ដោយសារតែធរណីមាត្របន្ទះឈីបរួញតូចជាងថ្នាំងដំណើរការ 7nm ហើយប្រព័ន្ធអុបទិកទាមទារភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតមីក្រូម៉ែត្រ ជម្រើសនៃសម្ភារៈរចនាសម្ព័ន្ធផ្លាស់ប្តូរពីចំណង់ចំណូលចិត្តផ្នែកវិស្វកម្មទៅជាតម្រូវការប្រតិបត្តិការ។
ការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ពិសេសនៃស្ថេរភាពកម្ដៅ ការរំញ័រ ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងដែលផ្តល់ដោយថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់មិនអាចចម្លងដោយលោហធាតុវិស្វកម្ម ឬសម្ភារៈជំនួសបានទេ។ សម្រាប់ប្រព័ន្ធលីតូក្រាហ្វីពាក់កណ្តាលចរន្តដែលសម្រេចបានភាពត្រឹមត្រូវនៃការត្រួតលើគ្នាកម្រិតណាណូម៉ែត្រ សម្រាប់ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យបន្ទះសៀគ្វីដែលរកឃើញពិការភាពនៅមាត្រដ្ឋានអាតូម និងសម្រាប់ប្រព័ន្ធវាស់វែងអុបទិកដែលត្រូវការស្ថេរភាពដែលវាស់វែងជាណាណូម៉ែត្រ ថ្មក្រានីតផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះតែមួយគត់ដែលមានសមត្ថភាពធ្វើឱ្យសមត្ថភាពទាំងនេះសកម្ម។
ដំណោះស្រាយកែច្នៃថ្មក្រានីតតាមតម្រូវការបានវិវត្តន៍ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការទំនើបៗរបស់ឧបករណ៍បច្ចេកវិទ្យាទំនើប។ តាមរយៈការកែច្នៃ CNC 5 អ័ក្សទំនើប ការកិន និងការលាបដោយភាពជាក់លាក់ ព្រមទាំងការផ្ទៀងផ្ទាត់គុណភាពដ៏ទូលំទូលាយ គ្រឿងបង្គុំថ្មក្រានីតត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីធ្វើសមាហរណកម្មយ៉ាងរលូនជាមួយប្រព័ន្ធស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងប្រព័ន្ធអុបទិកស្មុគស្មាញ។
សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ ស្ថាប័នស្រាវជ្រាវ និងកន្លែងផលិតដែលដំណើរការនៅជួរមុខនៃបច្ចេកវិទ្យា ការជ្រើសរើសសមាសធាតុថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ គឺជាការសម្រេចចិត្តជាយុទ្ធសាស្ត្រដែលកំណត់ពីភាពត្រឹមត្រូវដែលអាចសម្រេចបាន ភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង និងសមត្ថភាពប្រកួតប្រជែង។ ក្នុងការស្វែងរកភាពជាក់លាក់នៅមាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រ ស្ថេរភាពមិនមែនជាជម្រើសទេ - វាជាមូលដ្ឋានគ្រឹះ។
ដោយសារបច្ចេកវិទ្យាស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអុបទិកបន្តរីកចម្រើន ថ្មក្រានីតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នឹងនៅតែជាស្នូលនៃឧបករណ៍ដែលអាចឱ្យមានសមត្ថភាពទាំងនេះ។ សម្ភារៈដែលបានវិវត្តន៍លើមាត្រដ្ឋានពេលវេលាភូគព្ភសាស្ត្រឥឡូវនេះបម្រើជាមូលដ្ឋានសម្រាប់សមិទ្ធផលផលិតកម្មដ៏ទំនើបបំផុតរបស់មនុស្សជាតិ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៧ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២៦